基于多功能加工平台的微细电解加工工艺 被引量：15

1

作者 李小海 王振龙 赵万生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期909-913,共5页

利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验... 利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验,研究电压、电解液浓度和进给速度等参数对加工间隙的影响,优化工艺参数.在优化加工条件下,在厚为100μm的不锈钢薄片上微细电解钻削出65μm的微小孔.针对成型电极在微细加工中暴露出的缺点,提出了利用旋转微细电极像微铣刀一样进行微细电解铣削新工艺,加工出高精度型孔和悬臂梁等微结构. 展开更多

关键词 多功能平台 微细加工 电解加工 高频 脉冲电源

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超声—电解复合微细加工阴极制作工艺研究 被引量：8

2

作者 朱永伟 徐玉明 齐金华 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期46-49,共4页

介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截... 介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截形的微细阴极;进行超声—电解复合微细加工试验,阴极可满足使用要求。 展开更多

关键词 超声 电解 复合微细加工 微细阴极制作 微细放电

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UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极 被引量：2

3

作者 胡洋洋 朱荻 +2 位作者 李寒松 曾永彬 明平美 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期106-110,共5页

采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min... 采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min、90℃保持30min;采用谐振式电火花电源,电压200V、峰值电流1.5A、脉宽3.2μs、脉间6.4μs、放电间隙12μm等,制备了直径85μm、长1.5mm,长径比达17.65的微细阵列电极.最后用制作出的微细阵列电极作为工具电极进行微细电解加工实验,在120μm厚不锈钢板上电解加工出直径150μm、形状均匀的微细阵列群孔结构.实验证明:UV-LIGA与微细电加工组合制造技术是一种可行的制作高深宽比微结构的方法;利用微细阵列电极进行电解加工,能实现高效和高精度加工. 展开更多

关键词 UV-LIGA 微细电火花加工 微细电解加工 组合加工

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超声电解复合微细加工硬质合金试验研究 被引量：12

4

作者 李红英 云乃彰 朱永伟 《航空制造技术》 2009年第1期78-82,共5页

超声电解复合微细加工工艺具有效率高、精度高、环保安全等优点,在硬质合金材料微结构加工方面具有一定的技术优势和发展潜力。本文阐述了超声电解复合微细加工机理和试验装置,对硬质合金材料进行了多组对比工艺试验,分析了加工电压、... 超声电解复合微细加工工艺具有效率高、精度高、环保安全等优点,在硬质合金材料微结构加工方面具有一定的技术优势和发展潜力。本文阐述了超声电解复合微细加工机理和试验装置,对硬质合金材料进行了多组对比工艺试验,分析了加工电压、进给压力、电解液等加工参数对加工效果的影响,优化了加工参数和加工条件,提高了硬质合金微结构的微细加工精度。 展开更多

关键词 超声加工 电解加工 复合加工 微细加工 试验研究

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不锈钢表面光纤激光掩膜微细电解复合加工 被引量：1

5

作者 李小海 王淑铭 +1 位作者 王冬 佟晗 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期458-463,共6页

为了实现不锈钢微细电解定域加工,提出激光掩膜表面改性微细电解复合加工技术。研发了激光掩膜微细电解复合加工装置,并进行样件加工试验。首先,采用光纤激光在304不锈钢表面扫描加热进行打标图案,利用X射线光电子能谱分析(XPS)对不锈... 为了实现不锈钢微细电解定域加工,提出激光掩膜表面改性微细电解复合加工技术。研发了激光掩膜微细电解复合加工装置,并进行样件加工试验。首先,采用光纤激光在304不锈钢表面扫描加热进行打标图案,利用X射线光电子能谱分析(XPS)对不锈钢表面激光打标图案进行分析,发现激光在不锈钢表面打标时被空气氧化生成铁、铬等氧化物,生成的打标图案具有耐腐蚀性,形成保护性掩膜。然后进行电解加工,由于掩膜图案在电解过程中起到保护作用,选择合适的电解加工参数,在不锈钢表面能加工复杂的微结构。最后利用SEM、光学轮廓仪来观测微结构形貌、粗糙度等。研究结果表明:利用激光表面改性,结合微细电解加工能实现304不锈钢微结构的快速加工,该工艺在微细加工领域具有很好的发展前景。 展开更多

关键词 激光加工 电解加工 微细加工 表面改性 不锈钢

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超窄脉冲微细电解铣削加工机理和成型预测建模 被引量：1

6

作者 李小海 刘武奇 +4 位作者 孙赵宁 王新荣 丁海娟 张霞 王晓霞 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2014年第6期898-900,共3页

采用超窄脉冲电源,利用简单圆柱工具电极在数控系统控制下,实现三维微细电解铣削加工.本文探索了低浓度Na Cl O3溶液、超窄脉冲的微细电解铣削加工机理,进行微细电解铣削加工成型预测建模,并进行基于超窄脉冲微细电解铣削加工试验.

关键词 超窄脉冲电源 微细加工 电解加工 铣削

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超声辅助微细电解加工间隙空化微射流对材料蚀除的影响 被引量：1

7

作者 王明环 吕明 +2 位作者 何凯磊 郑劲松 许雪峰 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期2368-2380,共13页

为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化... 为探究超声辅助微细电解加工(UAEMM)间隙电解液内产生的空化微射流对材料蚀除的影响,建立微射流冲击工件表面流固耦合模型,通过数值仿真研究高速微射流冲击下工件表面微观塑性形变规律以及微变形对电场分布的影响规律,并进行了超声空化实验验证。研究结果表明:微射流冲击工件表面产生若干深度约0.12μm、凸起约0.04μm的空蚀坑;在外加电场下,空蚀坑凸起处的电流密度和蚀除深度较原始工件表面处提高1.2倍;进一步的凹坑成形加工实验结果表明,在超声振幅10μm、加工时间5 s、加工间隙50μm工况下,与微细电解加工相比,UAEMM凹坑蚀除深度从20μm提高到100μm,同时成形凹坑底部粗糙度R_(a)从290 nm降低到40 nm;超声能场下间隙大量空化微射流促进了微细电解加工效率、加工后工件表面质量。 展开更多

关键词 超声辅助 微细电解加工 空化微射流 空蚀坑 材料蚀除

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超短脉冲微细电解加工电源及工艺试验 被引量：1

8

作者 刘小康 李风 《华南理工大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期75-78,共4页

脉冲电源是实现高精度电解加工的关键技术之一.文中研制了一种用于微细电解加工的超短脉冲——纳秒级脉冲电源,其最小稳定输出脉宽为100 ns,额定电流为1A,占空比和频率均独立可调.该电源采用直流加斩波输出方案,直流部分采用稳压集成块... 脉冲电源是实现高精度电解加工的关键技术之一.文中研制了一种用于微细电解加工的超短脉冲——纳秒级脉冲电源,其最小稳定输出脉宽为100 ns,额定电流为1A,占空比和频率均独立可调.该电源采用直流加斩波输出方案,直流部分采用稳压集成块调压.设计的高频信号发生器工作频率范围宽;驱动信号具有陡峭的上升和下降沿,为斩波器提供了良好的驱动保证.斩波主器件采用快速互补功率场效应管,解决了波形失真问题.文中还针对微细电解加工工艺的特点设计了快速保护电路,实现了高精度的微细电解加工.最后,利用该电源样机加工出典型微细零件,验证了电源的有效性. 展开更多

关键词 超短脉冲电源 纳秒级脉冲 微细电解加工 斩波

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间歇回退对微细电解加工的影响分析及实验研究 被引量：3

9

作者 马晓宇 李勇 《航天制造技术》 2009年第6期6-11,共6页

微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定... 微细电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量。分析了电解产物对加工的影响机理,提出了利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定性、效率以及精度的影响规律,研究结果表明:对于加工稳定性和效率而言,工具电极的间歇回退时机存在最优值,此时加工较稳定、效率较高;对于加工精度而言,单次进给时间较短时有利于提高加工的尺寸精度。 展开更多

关键词 微细电解加工 工具电极 间歇回退 电解产物 电解液更新

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微细电解加工超窄脉冲电源的研发

10

作者 李小海 刘武奇 +2 位作者 孙赵宁 王德成 王晓霞 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2014年第4期555-558,共4页

超窄脉冲电源是实现微细电解加工的关键技术.本文设计了一种新型双路微细电解电源,包括超窄脉冲的产生和功放、加工过程中检测电路以及对脉冲电源保护的电路等,并能减小脉间期间的极化.通过基于超窄脉冲微细电解铣削加工试验,证实了该... 超窄脉冲电源是实现微细电解加工的关键技术.本文设计了一种新型双路微细电解电源,包括超窄脉冲的产生和功放、加工过程中检测电路以及对脉冲电源保护的电路等,并能减小脉间期间的极化.通过基于超窄脉冲微细电解铣削加工试验,证实了该电源在微细电解加工的可行性. 展开更多

关键词 超窄脉冲电源 微细加工 电解加工

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基于界面酸化的微细电解加工用脉冲电源设计 被引量：1

11

作者 田元波 刘桂礼 孔全存 《电子科技》 2021年第8期37-42,共6页

高频脉冲电源是实现精密微细电解加工的重要因素之一。为兼顾加工定域性及提升工件蚀除速率,基于界面酸化特性机理,文中研制了一种能实现脉间期内向工件/电解液界面加酸特性的高频脉冲电源。利用研制的高频脉冲电源,进行微细电解加工实... 高频脉冲电源是实现精密微细电解加工的重要因素之一。为兼顾加工定域性及提升工件蚀除速率,基于界面酸化特性机理,文中研制了一种能实现脉间期内向工件/电解液界面加酸特性的高频脉冲电源。利用研制的高频脉冲电源,进行微细电解加工实验。采用0.5 mol·L^(-1) NaNO3电解液,在0.5 mm厚的304不锈钢上加工阵列孔。实验结果显示,采用研制的高频脉冲电源加工阵列孔,蚀除速率由双电极脉冲电源的3.21×10^(-4) mm^(3)·s^(-1)提升到6.55×10^(-4) mm^(3)·s^(-1),工件蚀除速率得到明显提高,证明了所设计脉冲电源的可靠性。 展开更多

关键词 微细电解加工 界面酸化 脉冲电源 脉间期 加工定域性 蚀除速率 电解液 不锈钢 阵列孔

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304不锈钢微型环槽的微细电解铣削加工技术研究 被引量：1

12

作者 贠康 张长富 +1 位作者 艾海红 程培勇 《内燃机与配件》 2018年第3期108-109,共2页

针对304不锈钢薄壁件微小结构采用传统加工方法会产生变形的加工难题,基于分层铣削思想利用微细电解铣削加工技术对304不锈钢材料进行了微型环槽的加工实验,加工出了297×105×30μm的微型环槽结构,为金属材料薄壁件微小结构的... 针对304不锈钢薄壁件微小结构采用传统加工方法会产生变形的加工难题,基于分层铣削思想利用微细电解铣削加工技术对304不锈钢材料进行了微型环槽的加工实验,加工出了297×105×30μm的微型环槽结构,为金属材料薄壁件微小结构的加工制造提供了一种思路。 展开更多

关键词 304不锈钢 薄壁件 微型环槽 微细电解加工

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活塞环表面微坑电解加工技术的基础研究 被引量：8

13

作者 钱双庆 朱荻 +2 位作者 曲宁松 李寒松 宋曼 《内燃机学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期173-179,共7页

研究表明摩擦副表面的织构可以有效地改善表面摩擦学性能,提出了采用阴极掩模微细电解方法在活塞环表面加工阵列微坑的加工工艺。试验研究了不同绝缘层厚度和加工电压对曲面微坑尺寸的影响。选用优化的加工参数,进行了曲面微坑电解加工... 研究表明摩擦副表面的织构可以有效地改善表面摩擦学性能,提出了采用阴极掩模微细电解方法在活塞环表面加工阵列微坑的加工工艺。试验研究了不同绝缘层厚度和加工电压对曲面微坑尺寸的影响。选用优化的加工参数,进行了曲面微坑电解加工试验,在活塞环表面得到平均直径为250μm,深度为10μm的阵列微坑。参照发动机中活塞环/缸套摩擦副的工作原理,采用该加工方法加工出表面面积率不同,深度不同的多个活塞环试样进行摩擦试验。试验结果表明,与光滑曲面相比,带有适当面积率和深度的阵列微坑的试样表面可以有效地降低摩擦因数,起到抗磨减摩的作用。 展开更多

关键词 活塞环 阵列微坑 微细电解加工(emm) 加工电压 摩擦因数

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电解加工技术的应用和发展 被引量：28

14

作者 范植坚 杨森 唐霖 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第10期775-784,共10页

结合电解加工技术应用发展的关键,综述了促进电解加工技术进步的重要研究工作,列举了计算机技术在电解加工工艺、阴极设计、控制和设备方面的部分应用实例以及微细电化学加工的研究进展,阐述了复合、组合集成是拓宽电解加工应用范围的... 结合电解加工技术应用发展的关键,综述了促进电解加工技术进步的重要研究工作,列举了计算机技术在电解加工工艺、阴极设计、控制和设备方面的部分应用实例以及微细电化学加工的研究进展,阐述了复合、组合集成是拓宽电解加工应用范围的有效途径的理念.分析了目前航空、航天、兵器工业对电解加工需求增长以及石油采掘对电解加工的需求异军突起的情况,电解加工技术的日臻完善和新的发展机遇预示着电解加工的春天到了. 展开更多

关键词 电解加工 计算机技术 复合和组合 微细电化学加工

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基于微孔电解加工的新型阴极结构 被引量：3

15

作者 张辉 刘为东 +3 位作者 敖三三 解龑 刘祖明 罗震 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1000-1005,共6页

为了提高工件材料蚀除的定域性,对裸阴极、侧壁绝缘阴极和缩进阴极进行了研究.以阴阳两极间电解液为研究对象,建立电场模型,通过数值模拟获得加工间隙中电位和电流密度分布,研究阴极结构对微孔进口形状精度的影响.根据模拟结果,分析缩... 为了提高工件材料蚀除的定域性,对裸阴极、侧壁绝缘阴极和缩进阴极进行了研究.以阴阳两极间电解液为研究对象,建立电场模型,通过数值模拟获得加工间隙中电位和电流密度分布,研究阴极结构对微孔进口形状精度的影响.根据模拟结果,分析缩进阴极电解加工微孔时,工艺参数对加工精度和加工效率的影响,优选最佳工艺参数.结果表明,采用优选参数缩进深度50μm,加工电压5V,进给速度3μm/s,能获得良好的加工精度. 展开更多

关键词 微细电解加工 缩进阴极 电场数值模拟

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微细特种加工组合系统及应用 被引量：2

16

作者 贾宝贤 郭景哲 王冬生 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1117-1120,共4页

为了改善微细特种加工工艺,提出并研究了具有实体工具的微细特种加工的组合技术.对几种微细特种加工工艺进行分析,找出其共同特征.将微细电火花、微细超声、微细电解加工组合在同一系统中.采用了模块化设计,针对该系统研制了基本模块,... 为了改善微细特种加工工艺,提出并研究了具有实体工具的微细特种加工的组合技术.对几种微细特种加工工艺进行分析,找出其共同特征.将微细电火花、微细超声、微细电解加工组合在同一系统中.采用了模块化设计,针对该系统研制了基本模块,配备了视频显微系统.用微细电火花工艺加工出直径5μm的微细轴和直径6μm的微细孔以及形状复杂的微结构,用倒置式电火花-超声复合工艺加工出深径比>25的微细孔,用微细超声工艺加工出直径13μm的微细孔,用微细电解工艺加工出直径100μm的微细孔.这种组合扩大了微细特种加工的范围,提高了加工效率. 展开更多

关键词 微细加工 电火花加工 超声加工 电解加工 特种加工

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微细电解射流喷射装置研制与工艺试验 被引量：1

17

作者 黄巍 赵建社 +2 位作者 李昞晖 张立鑫 徐坤 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期67-69,共3页

为提高微细电解射流加工效率及加工质量,研制了专用喷射装置,并利用该装置进行了初步工艺试验。结果证明该装置保证了电解液在其腔体中能够得到充分"负极化",且能获得满足加工要求的稳定破碎长度,满足了电解射流加工试验要求。

关键词 电解射流加工 喷射装置 负极化 破碎长度 微细电解加工

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电解加工技术的现状与展望 被引量：10

18

作者 陈远龙 张正元 《航空制造技术》 2010年第5期47-50,共4页

相对传统加工和其他优势特种加工技术而言,电解加工的基础理论较为薄弱,工艺技术尚未成熟。正因如此,其有待研究、开发的空间也更为广阔。近期,电解加工工艺技术研究涉及的方向主要集中在微秒级脉冲电流加工、微细加工、数控展成加工、... 相对传统加工和其他优势特种加工技术而言,电解加工的基础理论较为薄弱,工艺技术尚未成熟。正因如此,其有待研究、开发的空间也更为广阔。近期,电解加工工艺技术研究涉及的方向主要集中在微秒级脉冲电流加工、微细加工、数控展成加工、加工间隙的检测与控制及磁场对电解加工的影响等重点领域。 展开更多

关键词 特种加工技术 电解加工 加工工艺技术 微秒级脉冲电流 展望 数控展成加工 基础理论 微细加工

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微凹坑超声电解滚蚀加工间隙多物理场特性及成形规律 被引量：2

19

作者 王明环 王嘉杰 +3 位作者 童文俊 陈侠 许雪峰 王芯蒂 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期783-791,共9页

针对径向超声能场滚蚀微细电解加工(RUR-EMM)间隙物理场变化复杂、能观性较差等问题,基于数值模拟方法,对加工中间隙多物理场耦合作用及变化规律进行研究。建立加工间隙内电场、两相流场、温度场、声场等多场耦合理论模型,通过数值仿真... 针对径向超声能场滚蚀微细电解加工(RUR-EMM)间隙物理场变化复杂、能观性较差等问题,基于数值模拟方法,对加工中间隙多物理场耦合作用及变化规律进行研究。建立加工间隙内电场、两相流场、温度场、声场等多场耦合理论模型,通过数值仿真分析得出多场耦合相互影响变化规律、多场耦合下凹坑成型规律。研究结果表明:在振动频率20 kHz、振幅10μm、加工间隙50μm、工具阴极旋转角速度0.6°/s、电解液电导率7.9 S/m工况下,超声能场激励微细电解加工中,间隙内电解液周期性流入、流出加工区;电流密度随振动周期发生周期性变化;电解液温度随超声激励与电化学反应的综合作用升高;与滚蚀微细电解加工相比,RUR-EMM间隙内温度上升3.63%、电流密度提高1.45倍,间隙脉动流场有效促进了产物排出,RUR-EMM凹坑深度最大增加14.21%;微凹坑加工试验结果验证了理论模型的正确性,仿真与实际加工试验深度误差在17.07%以内。 展开更多

关键词 微细电解加工 微凹坑 超声振动 滚蚀加工 多物理场

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微坑超声复合微细加工试验研究 被引量：1

20

作者 张磊 王占和 朱永伟 《徐州工程学院学报（自然科学版）》 CAS 2010年第2期22-28,共7页

提出用超声复合电加工方法制作微小结构,并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理;用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验.结果表明:超... 提出用超声复合电加工方法制作微小结构,并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理;用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验.结果表明:超声复合加工是制作硬脆材料微结构的有效方法;超声复合电火花加工金属材料微结构有良好的精度及稳定性;超声复合电解加工具有效率高、精度好的技术优势. 展开更多

关键词 超声加工 微细加工 电火花 电解

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