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微细直写掩膜电解加工非晶合金平面微线圈工艺研究
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作者 毕经新 彭子龙 +3 位作者 王萌杰 周帅 刘中皓 李一楠 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第8期55-61,共7页
针对掩膜电解加工工艺固化、流程复杂等问题,提出一种基于微细直写聚合物材料的图案化掩膜电解加工方法。对直写掩膜工艺应用于微细电解加工平面线圈工艺进行研究。采用单因素法获得了直写加工参数对掩膜的影响规律。采用正交实验获得... 针对掩膜电解加工工艺固化、流程复杂等问题,提出一种基于微细直写聚合物材料的图案化掩膜电解加工方法。对直写掩膜工艺应用于微细电解加工平面线圈工艺进行研究。采用单因素法获得了直写加工参数对掩膜的影响规律。采用正交实验获得了加工电压、阴极振动频率和占空比等工艺参数对成形精度的规律。建立了加工微结构尺寸的预测模型,利用优化的工艺参数在厚度30μm合金薄片上加工出宽度为300μm平面微线圈结构,通过网络分析仪对电流传感效应进行检测,获得了阻抗变化率为3.46%的响应。证明了直写掩膜应用于微细掩膜电解加工的可行性。 展开更多
关键词 直写掩膜 微细电解加工 非晶合金 工艺规律 参数优化
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超短脉冲电流微细电解加工技术研究 被引量:14
2
作者 张朝阳 朱荻 +1 位作者 王明环 曲宁松 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1295-1298,共4页
利用电化学腐蚀方法,在自制的电解加工机床上连续实现微细工具电极的制作和工件的加工,通过试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响。结果表明,减小脉冲宽度,降低加工电压,可以提高微细电解加工的精度。利用优化... 利用电化学腐蚀方法,在自制的电解加工机床上连续实现微细工具电极的制作和工件的加工,通过试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响。结果表明,减小脉冲宽度,降低加工电压,可以提高微细电解加工的精度。利用优化的加工参数,进行了微小孔加工、微细直写加工以及成形电极微细加工的实验。 展开更多
关键词 微细电解加工 超短脉冲 极间间隙 加工精度
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基于多功能加工平台的微细电解加工工艺 被引量:15
3
作者 李小海 王振龙 赵万生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期909-913,共5页
利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验... 利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验,研究电压、电解液浓度和进给速度等参数对加工间隙的影响,优化工艺参数.在优化加工条件下,在厚为100μm的不锈钢薄片上微细电解钻削出65μm的微小孔.针对成型电极在微细加工中暴露出的缺点,提出了利用旋转微细电极像微铣刀一样进行微细电解铣削新工艺,加工出高精度型孔和悬臂梁等微结构. 展开更多
关键词 多功能平台 微细加工 电解加工 高频 脉冲电源
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微螺旋电极在改善微细电解加工性能中的应用 被引量:24
4
作者 王明环 朱荻 徐惠宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第3期348-351,共4页
改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀... 改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀除加工间隙内的产物,加工效率、加工精度和稳定性得到了极大的提高。 展开更多
关键词 微细电解加工 微螺杆泵 加工精度 加工电极
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超声电解复合微细加工装置与试验研究 被引量:14
5
作者 朱永伟 王占和 云乃彰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期986-991,共6页
分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,... 分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,验证微细电解复合超声频振动实现微细加工的可行性及其在加工速度、精度、表面质量等方面的技术优势,探讨超声电解复合微细加工制作微结构的工艺规律。 展开更多
关键词 电解加工 超声振动 复合微细加工 微细加工系统
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三维微细电解铣削加工的实时控制与检测 被引量:10
6
作者 刘勇 曾永彬 +2 位作者 朱荻 黄绍服 王少华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1309-1318,共10页
为了实现三维微细电解铣削加工过程的实时监测,建立了基于Labwindows/CVI软件平台的控制与检测系统。对该系统所采用的三维轨迹生成及控制策略,数据采集及抗干扰算法,加工时间误差补偿算法等进行了研究。首先,根据微细电解铣削加工的特... 为了实现三维微细电解铣削加工过程的实时监测,建立了基于Labwindows/CVI软件平台的控制与检测系统。对该系统所采用的三维轨迹生成及控制策略,数据采集及抗干扰算法,加工时间误差补偿算法等进行了研究。首先,根据微细电解铣削加工的特点,分析了加工控制与检测系统的需求。接着,搭建了高精度的三维微细铣削加工实验硬件平台。然后,利用虚拟仪器平台建立了基于分层铣削加工方式的三维轨迹进给控制模块,并对刀具轨迹的优化进行了讨论。最后,介绍了数据采集及反馈控制模块以及实时控制的时间补偿函数。基于上述控制与检测系统,实验并成功加工出了单层尺寸为15μm×55μm×15μm的三层阶梯结构,结果表明,本系统可以满足微细电解铣削加工的高精度、快响应、稳定可靠等要求。 展开更多
关键词 微细电解铣削加工 LABWINDOWS/CVI 分层铣削 数据采集 反馈控制
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微细孔电解加工控制方法及试验研究 被引量:10
7
作者 王明环 朱荻 张朝阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期646-650,共5页
基于微细电解加工的特点,介绍了一种微细电解加工系统。该系统能够将加工间隙控制到几微米到几十微米的范围内。根据电解加工以离子形式对材料去除的特性,进行微细电极、微细群电极的制备研究,并将其用于微细孔、群孔的加工中。试验分... 基于微细电解加工的特点,介绍了一种微细电解加工系统。该系统能够将加工间隙控制到几微米到几十微米的范围内。根据电解加工以离子形式对材料去除的特性,进行微细电极、微细群电极的制备研究,并将其用于微细孔、群孔的加工中。试验分析了各工艺参数如电压、溶液浓度、加工间隙、进给速度等对微细孔电解加工精度的影响。结果表明,微细电解加工的侧面间隙随着加工电压的降低、溶液浓度的减小、脉宽变窄和初始加工间隙的减小而减小,改善了加工的定域性,加工精度得到提高。 展开更多
关键词 微细加工 微细电解加工 电极间间隙 微电极
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超声—电解复合微细加工阴极制作工艺研究 被引量:8
8
作者 朱永伟 徐玉明 齐金华 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期46-49,共4页
介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截... 介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截形的微细阴极;进行超声—电解复合微细加工试验,阴极可满足使用要求。 展开更多
关键词 超声 电解 复合微细加工 微细阴极制作 微细放电
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微细电解线切割加工的基础研究 被引量:13
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作者 王昆 朱荻 张朝阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期833-837,共5页
基于电化学原理,讨论了纳秒脉冲电流微细电解线切割加工的机理,建立了微细电解线切割加工数学模型;采用电化学腐蚀原理对微米尺度线电极进行在线制作,建立了微细电解线切割加工试验系统,并进行了微细电解线切割加工试验,切割出带90°... 基于电化学原理,讨论了纳秒脉冲电流微细电解线切割加工的机理,建立了微细电解线切割加工数学模型;采用电化学腐蚀原理对微米尺度线电极进行在线制作,建立了微细电解线切割加工试验系统,并进行了微细电解线切割加工试验,切割出带90°直角的微结构,其切缝宽度为30μm。 展开更多
关键词 微细电解线切割加工 纳秒脉冲 线电极 电化学腐蚀
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微细缝结构电解加工研究 被引量:4
10
作者 王少华 朱荻 +1 位作者 曲宁松 王昆 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期965-970,共6页
讨论了微细电解线切割加工的机制;针对加工中产生的短路现象,制定了进给运动控制方案;采用电化学腐蚀法在线制备了直径为10μm左右的钨丝线电极;设计了适合微细电解线切割加工特点的冲液系统;针对电解液、加工电压和加工速度等影响微细... 讨论了微细电解线切割加工的机制;针对加工中产生的短路现象,制定了进给运动控制方案;采用电化学腐蚀法在线制备了直径为10μm左右的钨丝线电极;设计了适合微细电解线切割加工特点的冲液系统;针对电解液、加工电压和加工速度等影响微细电解线切割加工精度的因素进行了参数对比试验,通过优化加工参数,在不锈钢(0Cr18Ni9)试件上加工出了小至30μm的微缝以及直径为10μm的探针和90°微直角结构,尺寸均匀,加工稳定性好。 展开更多
关键词 微细 线状电极 电解加工 加工精度
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UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极 被引量:2
11
作者 胡洋洋 朱荻 +2 位作者 李寒松 曾永彬 明平美 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期106-110,共5页
采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min... 采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12h;三步后烘50℃保持5min、70℃保持10min、90℃保持30min;采用谐振式电火花电源,电压200V、峰值电流1.5A、脉宽3.2μs、脉间6.4μs、放电间隙12μm等,制备了直径85μm、长1.5mm,长径比达17.65的微细阵列电极.最后用制作出的微细阵列电极作为工具电极进行微细电解加工实验,在120μm厚不锈钢板上电解加工出直径150μm、形状均匀的微细阵列群孔结构.实验证明:UV-LIGA与微细电加工组合制造技术是一种可行的制作高深宽比微结构的方法;利用微细阵列电极进行电解加工,能实现高效和高精度加工. 展开更多
关键词 UV-LIGA 微细电火花加工 微细电解加工 组合加工
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微细电解加工的过程检测及精度控制 被引量:4
12
作者 张朝阳 毛卫平 +1 位作者 陈飞 王耀民 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期702-706,共5页
超短脉冲微细电解加工时,极间加工间隙很小,加工过程的稳定性是影响加工精度的重要因素。在所建立的加工控制系统中,采用两步短路对刀法精确定位电极初始间隙,利用霍尔电流传感器实时检测平均加工电流,动态控制电极的进给运动速度,从而... 超短脉冲微细电解加工时,极间加工间隙很小,加工过程的稳定性是影响加工精度的重要因素。在所建立的加工控制系统中,采用两步短路对刀法精确定位电极初始间隙,利用霍尔电流传感器实时检测平均加工电流,动态控制电极的进给运动速度,从而保持不同加工条件下稳定加工的最小加工间隙。进行了微细结构的电解加工试验,通过检测加工过程的状态,保证了加工的稳定性,实现了线宽只有25μm的微细结构加工。 展开更多
关键词 微细电解加工 控制系统 过程检测 极间间隙
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微细电解加工的精度及定域性研究 被引量:13
13
作者 张朝阳 朱荻 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第2期242-245,共4页
在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微... 在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微小孔的电解加工时,脉冲宽度和工具电极直径对加工定域性的影响。结果表明,减小脉冲宽度和占空比可以增强定域蚀除能力,提高加工精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 定域蚀除率 加工精度
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超声电解复合微细加工硬质合金试验研究 被引量:12
14
作者 李红英 云乃彰 朱永伟 《航空制造技术》 2009年第1期78-82,共5页
超声电解复合微细加工工艺具有效率高、精度高、环保安全等优点,在硬质合金材料微结构加工方面具有一定的技术优势和发展潜力。本文阐述了超声电解复合微细加工机理和试验装置,对硬质合金材料进行了多组对比工艺试验,分析了加工电压、... 超声电解复合微细加工工艺具有效率高、精度高、环保安全等优点,在硬质合金材料微结构加工方面具有一定的技术优势和发展潜力。本文阐述了超声电解复合微细加工机理和试验装置,对硬质合金材料进行了多组对比工艺试验,分析了加工电压、进给压力、电解液等加工参数对加工效果的影响,优化了加工参数和加工条件,提高了硬质合金微结构的微细加工精度。 展开更多
关键词 超声加工 电解加工 复合加工 微细加工 试验研究
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电解加工在微细制造技术中的应用研究 被引量:9
15
作者 李志永 季画 《机械设计与制造》 北大核心 2006年第6期77-79,共3页
电解加工是利用阳极金属电化学溶解原理来去除材料的制造技术,这种微去除方式使得电解具有微细加工的可能,这里着重探讨了高频窄脉冲微细电解加工技术、电液束微细电解加工技术和利用电解制备微细电极的工作原理,技术特点,应用领域和加... 电解加工是利用阳极金属电化学溶解原理来去除材料的制造技术,这种微去除方式使得电解具有微细加工的可能,这里着重探讨了高频窄脉冲微细电解加工技术、电液束微细电解加工技术和利用电解制备微细电极的工作原理,技术特点,应用领域和加工精度,并详细的讨论了目前微细电解加工脉冲电源和加工设备的研制和发展。 展开更多
关键词 电解 微细加工 电极 脉冲
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基于非水基电解液的钛合金微细电解加工工艺优化 被引量:2
16
作者 敖三三 李康柏 +3 位作者 刘为东 张辉 张威 罗震 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期217-223,共7页
针对钛合金这种典型的难于传统机械加工的材料,电解加工能达到"以柔克刚"的目的,是解决钛合金加工难题的首选方案.但是钛存在自钝化的特性,如果使用常规的水基电解液进行钛合金的电解加工,其基体表面会持续生成氧化膜,降低加... 针对钛合金这种典型的难于传统机械加工的材料,电解加工能达到"以柔克刚"的目的,是解决钛合金加工难题的首选方案.但是钛存在自钝化的特性,如果使用常规的水基电解液进行钛合金的电解加工,其基体表面会持续生成氧化膜,降低加工精度,甚至导致加工无法进行.为了解决这一技术难点,本文尝试采用以乙二醇作为基体的电解液进行电解加工实验.并通过工艺优化实验探究了行走速度、初始加工间隙、脉冲峰值电压等参数对钛合金微细电解加工效果的影响.通过对比分析加工效果,最终确定出优化的工艺参数,并利用优选参数在钛板基体上加工出TJU字样,从而实现钛合金微细电解加工. 展开更多
关键词 钛合金 微细电解加工 乙二醇 非水基电解 工艺参数
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弹性材料微小方孔的微细电解铣削加工技术研究 被引量:5
17
作者 张长富 孙立力 张振羽 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第3期101-104,共4页
高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加... 高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加工、折线粗加工结合回形精加工2种方案进行了难加工材料3J21微小方孔的微细电解分层铣削加工研究,加工得到具有较高精度的微小方孔。研究表明,直流电源折线粗加工结合纳秒脉冲电源回形精加工方法所加工的微小方孔菱角分明、结构规整,具有较高的加工精度和表面质量,且无加工变质层和残余应力,是实现高弹性材料3J21微小结构加工成形的一种理想方法。 展开更多
关键词 弹性材料 微细电解铣削加工 微小方孔 加工精度
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微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验 被引量:12
18
作者 刘改红 李勇 +2 位作者 陈旭鹏 马晓宇 朱效谷 《电加工与模具》 2009年第4期28-31,39,共5页
介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参... 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数,通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5~10 μm的侧壁绝缘电极,采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度,提高微细电解加工尺寸精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 微细电极 侧壁绝缘 微细
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微细群缝的精密电解加工研究 被引量:5
19
作者 徐惠宇 朱荻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第21期1912-1915,共4页
以某辐射状分布微细群缝结构的电解加工为研究对象 ,讨论了电解液、工件材料、加工速度等因素对加工精度的影响 ,结合研制的加工电极设计流场分布 ,优化加工参数 ,实现了以较高的效率加工出缝宽小至0 2 7mm的微细群缝结构 ,缝宽一致均... 以某辐射状分布微细群缝结构的电解加工为研究对象 ,讨论了电解液、工件材料、加工速度等因素对加工精度的影响 ,结合研制的加工电极设计流场分布 ,优化加工参数 ,实现了以较高的效率加工出缝宽小至0 2 7mm的微细群缝结构 ,缝宽一致均匀 。 展开更多
关键词 微细群缝 精密电解 加工参数 加工精度
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微细电解加工机理探讨 被引量:15
20
作者 彭思平 徐家文 +1 位作者 李颖 杨倩 《电加工与模具》 2005年第2期26-29,共4页
介绍了微细电解加工技术的原理和特点,通过对其加工工艺的分析,简述了在微细电解加工过程中,影响其加工速度、精度、效率的主要因素,并通过对这些因素的综合分析,总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本... 介绍了微细电解加工技术的原理和特点,通过对其加工工艺的分析,简述了在微细电解加工过程中,影响其加工速度、精度、效率的主要因素,并通过对这些因素的综合分析,总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本条件。最后,针对微细电解加工技术的现状,对其发展提出了新的展望。 展开更多
关键词 电解加工 微细 机理探讨 加工技术 加工工艺 加工过程 加工速度 综合分析 基本条件 技术应用
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