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基于块电极反拷法的工具电极在线制作与修正
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作者 邵伟平 李向洲 郝永平 《工具技术》 2013年第10期61-63,共3页
微细电火花技术在加工微小孔或具有复杂形状的零件时,由于工件尺寸较小,电极的制备比较困难。本文利用块电极反拷法在线制作和修正工具电极,所获得的电极同轴度较好,长径比L/R在30以上,平均直径为0.012mm,尖端直径在5μm左右。加工出了... 微细电火花技术在加工微小孔或具有复杂形状的零件时,由于工件尺寸较小,电极的制备比较困难。本文利用块电极反拷法在线制作和修正工具电极,所获得的电极同轴度较好,长径比L/R在30以上,平均直径为0.012mm,尖端直径在5μm左右。加工出了相应的微小孔,精度在±0.003mm。总结了反拷法的加工工艺特性和电参数的选择,为以后的MEMS器件加工提供好了有效的方法。 展开更多
关键词 微细电火花技术 电极制备 反拷法
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