期刊文献+
共找到78篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
气压约束流场的微细电化学加工技术研究
1
作者 陶湛 李国栋 +2 位作者 王鹏举 陈彦秋 刘禹 《电加工与模具》 北大核心 2025年第3期33-36,共4页
为提高微细电化学加工的精度并减少加工中的杂散腐蚀,提出了一种基于气压约束加工间隙流场的新方法,通过调控气压可以精准约束间隙流场,实现高精度微细电化学加工。结果表明,该方法在不同喷嘴尺寸、不同类型电解液下,可对黄铜和304不锈... 为提高微细电化学加工的精度并减少加工中的杂散腐蚀,提出了一种基于气压约束加工间隙流场的新方法,通过调控气压可以精准约束间隙流场,实现高精度微细电化学加工。结果表明,该方法在不同喷嘴尺寸、不同类型电解液下,可对黄铜和304不锈钢实现较高的形状精度,有效约束杂散腐蚀,具有较好的适用性。 展开更多
关键词 微细电化学加工 杂散腐蚀 流场约束 气压控制
在线阅读 下载PDF
电化学放电线切割加工方法实验研究 被引量:5
2
作者 蒋毅 李其 +2 位作者 孔令蕾 赵万生 平雪良 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第11期88-92,共5页
针对非导电硬脆材料的微细线切割加工,设计并搭建了电化学放电线切割加工装置,对电化学放电线切割加工过程中的电压-电流曲线与电极丝放电长度之间的关系进行了实验研究。实验结果表明,随着直流电压的增大,电压-电流曲线呈现出线性区、... 针对非导电硬脆材料的微细线切割加工,设计并搭建了电化学放电线切割加工装置,对电化学放电线切割加工过程中的电压-电流曲线与电极丝放电长度之间的关系进行了实验研究。实验结果表明,随着直流电压的增大,电压-电流曲线呈现出线性区、饱和区、跃变区和放电区等明显的区域性特征变化,稳定放电仅在电压高于一定值的放电区内发生,且电极丝放电长度越大,发生跃变放电时的临界电压越高。对普通玻璃和石英玻璃的加工实验表明,通过增大放电能量,能够获得更高的材料去除率,但也会导致工件加工精度和表面质量的下降。 展开更多
关键词 微细加工 电化学放电线切割 硬脆材料
在线阅读 下载PDF
基于电流反馈信号的电化学放电线切割加工实验研究 被引量:1
3
作者 石子灿 蒋毅 +1 位作者 平雪良 赵万生 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第5期41-46,共6页
电化学放电加工(Electrochemical Discharge Machining,ECDM)作为一种新型特种加工方法,在加工非导电硬脆材料方面具有高柔性、低成本等诸多优势。针对电化学放电线切割加工(Wire Electrochemical Discharge Machining,WECDM)方法,在基... 电化学放电加工(Electrochemical Discharge Machining,ECDM)作为一种新型特种加工方法,在加工非导电硬脆材料方面具有高柔性、低成本等诸多优势。针对电化学放电线切割加工(Wire Electrochemical Discharge Machining,WECDM)方法,在基于润湿作用的供液方式下,设计了加工回路中电流信号的采集电路,并研究了电流信号与加工状态的对应关系;搭建了基于电流反馈信号控制进给的实验平台,对石英材料进行了稳定的加工;在此基础上,探究了不同电源输入、不同电压峰值、不同进给速度以及不同控制策略等加工条件对加工性能的影响。最终,在该实验平台上实现了具有优良加工表面的微槽,槽宽低至100μm,且加工出了具有复杂形状的微型结构,验证了该反馈控制加工方法的实用性、持续性和稳定性。 展开更多
关键词 电化学放电线切割 微细加工 非导电硬脆材料 电流反馈控制进给
在线阅读 下载PDF
模糊控制系统在电化学放电线切割加工的应用研究 被引量:1
4
作者 石子灿 蒋毅 +1 位作者 平雪良 赵万生 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第12期80-85,共6页
针对电化学放电线切割加工方法,基于润湿的供液方式,搭建了基于力信号反馈控制进给的加工实验平台,设计了基于力信号反馈控制进给速度的模糊控制系统,并将模糊控制系统应用到力信号反馈控制进给的加工实验平台上,进行了微槽加工实验,发... 针对电化学放电线切割加工方法,基于润湿的供液方式,搭建了基于力信号反馈控制进给的加工实验平台,设计了基于力信号反馈控制进给速度的模糊控制系统,并将模糊控制系统应用到力信号反馈控制进给的加工实验平台上,进行了微槽加工实验,发现与PID控制算法相比较,模糊控制系统有效改善了微槽两侧的过切现象,显著提高了加工效率,验证了模糊控制系统在电化学放电线切割加工过程中的实用性。 展开更多
关键词 电化学放电线切割 微细加工 非导电硬脆材料 力信号反馈控制 模糊控制
在线阅读 下载PDF
锆基金属玻璃电化学特性及微细电解线切割实验研究
5
作者 于焱 孟岭超 +1 位作者 曾永彬 房晓龙 《电加工与模具》 2019年第2期31-35,共5页
针对金属玻璃的微加工特性,采用工件运动方式,利用微细电解线切割技术对锆基金属玻璃进行加工试验,探索锆基金属玻璃在不同溶液中的电化学特性,研究了电解质与溶液浓度对加工缝宽与质量的影响。结果表明:Cl-的加入提升了加工过程中钝化... 针对金属玻璃的微加工特性,采用工件运动方式,利用微细电解线切割技术对锆基金属玻璃进行加工试验,探索锆基金属玻璃在不同溶液中的电化学特性,研究了电解质与溶液浓度对加工缝宽与质量的影响。结果表明:Cl-的加入提升了加工过程中钝化膜破裂速率和材料去除速率;电解质浓度越高,所需脉宽越小,加工缝宽越大,但过低浓度的电解质会导致加工无法正常进行。经过筛选,在锆基金属玻璃0.1 mol/L的HCl溶液中加工效果最好,加工出的锆基金属玻璃微缝轮廓光滑,且裂缝单边间隙仅为1.35μm。 展开更多
关键词 微细电解线切割 锆基金属玻璃 电化学特性 电解质
在线阅读 下载PDF
阴极高速旋转对微细电化学钻孔加工精度的影响 被引量:4
6
作者 黄绍服 曾永彬 +2 位作者 朱荻 王维 刘勇 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期34-39,46,共7页
微小孔在航空航天领域有广泛应用,而微细电化学加工是一种比较理想的微小孔方法。对工具阴极高速旋转条件下,工具阴极表面形成具有一定绝缘效果气泡层的现象进行了研究。分析了工具阴极旋转速度对微小孔电化学加工时半径过切值和杂散腐... 微小孔在航空航天领域有广泛应用,而微细电化学加工是一种比较理想的微小孔方法。对工具阴极高速旋转条件下,工具阴极表面形成具有一定绝缘效果气泡层的现象进行了研究。分析了工具阴极旋转速度对微小孔电化学加工时半径过切值和杂散腐蚀的影响。结果表明,采用高旋转速度有利于减小微小孔电化学加工时半径过切值、表面粗糙度值和杂散腐蚀,对微小孔的加工精度提高起到了重要作用。 展开更多
关键词 微细电化学加工 工具阴极 气泡层 高速旋转
在线阅读 下载PDF
微细电化学加工纳秒脉冲电源的研制 被引量:3
7
作者 张建华 葛红宇 +1 位作者 李宏胜 方力 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2011年第10期37-40,共4页
根据微细电化学加工的工艺特点,采用CPLD器件EPM7160与8位单片机STC12C5A60S2,设计了微细电化学加工纳秒脉冲电源。脉冲参数设置通过专用键盘或RS232实现,参数显示采用国显电子的12864液晶模块实现,人机界面友好。通过RS232,电源可以接... 根据微细电化学加工的工艺特点,采用CPLD器件EPM7160与8位单片机STC12C5A60S2,设计了微细电化学加工纳秒脉冲电源。脉冲参数设置通过专用键盘或RS232实现,参数显示采用国显电子的12864液晶模块实现,人机界面友好。通过RS232,电源可以接受主控计算机的实时参数调整。测试表明,脉宽、脉间等脉冲参数可调,且调节方便,通用性强。输出脉宽、脉间可以调至20ns以下,适于微细电化学加工。 展开更多
关键词 微细电化学加工 电源 纳秒 脉冲参数
在线阅读 下载PDF
阴极跳跃进给的微细电化学加工 被引量:2
8
作者 刘壮 邱中军 +1 位作者 衡冲 曲宁松 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第15期1852-1856,共5页
提出了一种阴极跳跃进给的微细电化学加工方法,将微细阴极安装在直线电机推杆上,利用直线电机周期性高加速度跳跃所产生的泵吸、搅拌作用,更新加工间隙内的电解液,输运电解产物。在自制的加工装置上,实现了主轴电机进给运动、直线电机... 提出了一种阴极跳跃进给的微细电化学加工方法,将微细阴极安装在直线电机推杆上,利用直线电机周期性高加速度跳跃所产生的泵吸、搅拌作用,更新加工间隙内的电解液,输运电解产物。在自制的加工装置上,实现了主轴电机进给运动、直线电机跳跃运动、直流电源通断的匹配控制,在不锈钢(1Cr18Ni9Ti)板上进行了一系列微细孔加工试验。试验结果表明,采用阴极跳跃进给、较高的跳跃加速度、较大的跳跃高度、较短的周期加工时间有利于提高微细电化学加工精度。 展开更多
关键词 微细电化学加工 阴极周期跳跃 微孔加工 直线电机
在线阅读 下载PDF
用电化学方法进行纳米级微细加工的初探 被引量:2
9
作者 郭永丰 李旦 +1 位作者 赵家齐 姜兆华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期403-406,共4页
本文利用电化学中的电解过程是以原子为单位进行阳极溶解的原理,进行了纳米级微细加工的研究。分析了用电化学方法进行原子级加工的可能性和条件,分别用酸、碱、盐等多种电,解液进行了微细加工试验。
关键词 电化学微细加工 电化学方法 电解液 纳米级 电化学电解 阳极溶解 电流密度 电解加工 阳极极化曲线 金相组织
在线阅读 下载PDF
微细电化学加工研究新进展 被引量:14
10
作者 李小海 王振龙 赵万生 《电加工与模具》 2004年第2期1-5,共5页
结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加... 结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等。 展开更多
关键词 微细电化学加工 微细加工 LIGA 电化学隧道扫描显微镜 超短电压脉冲
在线阅读 下载PDF
电化学加工法制备微细工具电极试验研究 被引量:3
11
作者 王明环 彭伟 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期74-78,共5页
微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。... 微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。实验与分析的结果表明:采用液面下通电方式、适当浓度的电解液可以制得性能较好的探针;脉冲电源加工能够改善成形后微细电极的表面精度;电极的运动和脉冲电源由于破坏了腐蚀过程中的平衡,制备出的电极呈锥形。 展开更多
关键词 机械制造自动化 电化学加工 微细工具电极 微细加工
在线阅读 下载PDF
电化学微细加工监控系统的研究 被引量:5
12
作者 徐惠宇 朱荻 史先传 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第7期7-9,共3页
在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、... 在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点。 展开更多
关键词 电化学微细加工 霍尔电流传感器 定位精度
在线阅读 下载PDF
纳秒脉冲电流提高微细电化学加工精度的研究 被引量:3
13
作者 张朝阳 朱荻 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1716-1719,1723,共5页
分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出... 分析了电极反应的暂态过程,探讨了超短脉冲电流提高电化学加工精度的机理,并根据法拉第定律和巴特勒伏尔摩方程建立了电化学暂态加工的数学模型。在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出了直径为20μm的微小孔。 展开更多
关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲电流 理论模型 加工精度
在线阅读 下载PDF
基于扫描离子电导显微术的电化学微细加工方法 被引量:4
14
作者 章海军 黄峰 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期90-93,共4页
提出了基于扫描离子电导显微术(SICM)的电化学微细加工方法。采用充满电解液并置有金属电极的微滴管作阳板,置于电解槽中的加工基板作阴极。由于微滴管与基板间离子电导随两者间距减少而减小,采用反馈系统可保持这一间距恒定。... 提出了基于扫描离子电导显微术(SICM)的电化学微细加工方法。采用充满电解液并置有金属电极的微滴管作阳板,置于电解槽中的加工基板作阴极。由于微滴管与基板间离子电导随两者间距减少而减小,采用反馈系统可保持这一间距恒定。利用电解机理,当微滴管在横向扫描基板时,可在基板表面加工出(析出)任意形状的点、线、面图案,加工线宽与微滴管尖端内径数量级相同。本文讨论电化学微细加工方法的原理、装置与可行性实验,用尖端内径1.5μm的微滴管,加工出线宽2.5μm的光栅,证明了这一微细加工方法的可行性。 展开更多
关键词 SICM 电化学 微细加工 微滴管 集成电路
在线阅读 下载PDF
基于润湿供液的电化学放电线切割实验研究 被引量:4
15
作者 李其 蒋毅 +2 位作者 赵万生 石子灿 平雪良 《电加工与模具》 2016年第3期16-19,26,共5页
针对非导电硬脆材料的微细线切割加工,设计并搭建了基于润湿供液的电化学放电线切割装置,实现了对石英材料的有效切割,确定了实现电化学放电线切割加工的临界电压。通过提取加工过程中能反映极间状态的电流信号作为控制加工的依据,实现... 针对非导电硬脆材料的微细线切割加工,设计并搭建了基于润湿供液的电化学放电线切割装置,实现了对石英材料的有效切割,确定了实现电化学放电线切割加工的临界电压。通过提取加工过程中能反映极间状态的电流信号作为控制加工的依据,实现了对石英材料的可控加工,实验表明加工速率及槽宽随着电压的增加而增大。通过对工件步进进给和匀速进给两种加工方式的比较表明,利用电流信号作为进给控制依据进行步进进给能更好地保证加工的连续性。 展开更多
关键词 电化学放电线切割 微细加工 电流信号 非导电硬脆材料
在线阅读 下载PDF
光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究 被引量:12
16
作者 李嘉珩 马保吉 范植坚 《电加工与模具》 2004年第6期17-19,共3页
对光刻胶掩膜微细电化学加工参数进行了试验分析研究 ,发现光刻胶厚度、开口角度、脉冲电源频率、脉宽及电解液配方对加工质量都有影响 ,在此基础上提出改善加工质量的可行性方案。
关键词 微细电化学加工 加工质量 开口 厚度 角度 试验分析 电解液 光刻胶 掩膜 脉宽
在线阅读 下载PDF
快速消除维持电压微细电化学加工脉冲电源 被引量:2
17
作者 曾伟梁 王振龙 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1410-1413,共4页
以绝缘栅型场效应管(MOSFET)作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在脉间存在维持电压,使得微细电化学加工的散蚀增加,导致工件的形状精度降低.在分析维持电压存在特性的基础上,通过分析实验中采集到的波形,对脉冲电源进行改... 以绝缘栅型场效应管(MOSFET)作为开关元件的独立式单路微细电化学加工脉冲电源在脉间存在维持电压,使得微细电化学加工的散蚀增加,导致工件的形状精度降低.在分析维持电压存在特性的基础上,通过分析实验中采集到的波形,对脉冲电源进行改进,设计了双路控制的MOSFET开关电路,并根据MOSFET的开关特性,采用合理的电路参数.对比实验表明,改进后的电源快速消除了脉间维持电压,从而有效地降低了加工过程中的平均电压值,进而使加工表面痕迹的形貌得到了很大的改善,提高了加工的尺寸精度和表面质量. 展开更多
关键词 微细电化学加工 脉冲电源 维持电压
在线阅读 下载PDF
镍基金属玻璃电化学特性与线切割实验研究 被引量:2
18
作者 孟岭超 曾永彬 +1 位作者 房晓龙 朱荻 《电加工与模具》 2017年第6期23-26,31,共5页
金属玻璃具有独特的原子结构和优异的材料性能,在产品微小型化、精密化方面已展现出重要而广阔的应用前景。但金属玻璃对微加工过程中温度敏感,且现有的金属玻璃微加工技术还不成熟,在一定程度上阻碍其广泛应用。提出了金属玻璃微细电... 金属玻璃具有独特的原子结构和优异的材料性能,在产品微小型化、精密化方面已展现出重要而广阔的应用前景。但金属玻璃对微加工过程中温度敏感,且现有的金属玻璃微加工技术还不成熟,在一定程度上阻碍其广泛应用。提出了金属玻璃微细电解线切割加工方法,基于电化学阳极溶解原理对材料进行加工,加工温度低、无加工应力、材料不会晶化,是制造金属玻璃微结构零件理想的技术手段。研究了镍基金属玻璃Ni_(72)Cr_(19)Si_7B_2在不同溶液中的电化学特性,并优化微细电解线切割实验参数,加工出高质量的金属玻璃微结构。 展开更多
关键词 金属玻璃 电化学特性 微细电解线切割 微结构
在线阅读 下载PDF
电化学放电线切割电压-电流特性研究 被引量:1
19
作者 李其 蒋毅 +2 位作者 孔令蕾 赵万生 平雪良 《电加工与模具》 2015年第6期15-19,共5页
设计并搭建了基于水平走丝方式的电化学放电线切割加工装置,可用于非导电硬脆材料的微细线切割加工,研究了加工过程中的电压电流特性。当电压超过临界值后,电极丝表面会形成不稳定的气层并产生放电现象;随着电压升高,放电状态由火花放... 设计并搭建了基于水平走丝方式的电化学放电线切割加工装置,可用于非导电硬脆材料的微细线切割加工,研究了加工过程中的电压电流特性。当电压超过临界值后,电极丝表面会形成不稳定的气层并产生放电现象;随着电压升高,放电状态由火花放电向电弧放电过渡。对石英玻璃的加工实验结果显示,通过增加电压并使放电电压维持在火花区内,能在保证表面质量较好的同时提高加工效率,在电弧区加工可得到更高的材料去除率,但工件表面质量会下降。 展开更多
关键词 微细加工 水平走丝 电化学放电线切割 电压-电流特性
在线阅读 下载PDF
微细电化学加工电源的设计与研究 被引量:7
20
作者 杨光 郑云飞 李勇 《电加工与模具》 2002年第2期25-28,共4页
加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序... 加工电源的频率、波形等输出特性在很大程度上影响微细电化学加工的效果。本文提出的微细电化学加工电源系统包括硬件和软件两个模块 ,其中硬件模块包括计算机、接口电路、功率放大电路和信号检测电路 ;软件模块包括驱动程序和控制程序。该电源系统可产生多种波形 ,且能实现对加工过程的自适应控制 ,从而满足微细电化学加工工艺研究的需求。 展开更多
关键词 加工电源 状态检测 自适应控制 微细电化学加工 设计
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部