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微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究
被引量：
3
1
作者
张慧洁
尹韶辉
+4 位作者
贾红鹏
黄帅
刘璇
李建相
陈逢军
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第10期93-99,共7页
目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响。使用...
目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响。使用白光干涉仪测量了加工后表面的粗糙度,使用超景深三维显微系统测量了加工深度,并通过对结果的综合优化得出了最优工艺参数。结果在所选的25组工艺参数中,各参数的变化对表面粗糙度值影响不大,对材料加工深度影响最大的因素为扫描速度,影响最小的为激光功率。经过综合优化,最佳工艺参数组合为:扫描功率20 W,扫描速度200 mm/s,扫描层数25。结论随着飞秒激光功率的增大、扫描速度的减小和扫描层数的增加,加工深度都有显著增加。以最优加工参数加工而得的模具微凸起的上表面宽度为152μm,边缘整齐,通道深度为42.41μm,横压成形玻璃表面粗糙度值为0.164μm。研究结果为飞秒激光加工碳化钨微细流路提供了一定的参考。
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关键词
飞秒激光加工
微细流路
模压成形
模具
超硬材料
表面质量
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职称材料
题名
微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究
被引量：
3
1
作者
张慧洁
尹韶辉
贾红鹏
黄帅
刘璇
李建相
陈逢军
机构
湖南大学机械与运载工程学院
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第10期93-99,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2017YFE0116900)~~
文摘
目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响。使用白光干涉仪测量了加工后表面的粗糙度,使用超景深三维显微系统测量了加工深度,并通过对结果的综合优化得出了最优工艺参数。结果在所选的25组工艺参数中,各参数的变化对表面粗糙度值影响不大,对材料加工深度影响最大的因素为扫描速度,影响最小的为激光功率。经过综合优化,最佳工艺参数组合为:扫描功率20 W,扫描速度200 mm/s,扫描层数25。结论随着飞秒激光功率的增大、扫描速度的减小和扫描层数的增加,加工深度都有显著增加。以最优加工参数加工而得的模具微凸起的上表面宽度为152μm,边缘整齐,通道深度为42.41μm,横压成形玻璃表面粗糙度值为0.164μm。研究结果为飞秒激光加工碳化钨微细流路提供了一定的参考。
关键词
飞秒激光加工
微细流路
模压成形
模具
超硬材料
表面质量
Keywords
femtosecond laser
microfluid grooves
precision glass molding
mold-dies
super-hard material
surface quality
分类号
V261.8 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究
张慧洁
尹韶辉
贾红鹏
黄帅
刘璇
李建相
陈逢军
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
3
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