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场致射流微细放电加工实验研究
被引量:
1
1
作者
韩宁
张亚欧
赵万生
《电加工与模具》
2015年第2期4-7,共4页
对场致射流微细放电加工单晶硅进行了工艺实验研究,分析在不同加工极性下的加工机理,发现在正极性加工时,蚀坑在工件表面存在电解液残留是由电火花蚀除和电化学蚀除共同作用的结果,而在充分放电的情形下,是由电火花放电来实现材料蚀除的...
对场致射流微细放电加工单晶硅进行了工艺实验研究,分析在不同加工极性下的加工机理,发现在正极性加工时,蚀坑在工件表面存在电解液残留是由电火花蚀除和电化学蚀除共同作用的结果,而在充分放电的情形下,是由电火花放电来实现材料蚀除的;在负极性加工时,蚀坑仅仅是由电火花蚀除作用的结果。通过单因素实验获取喷管内径、极间距离、极间电压及工作液浓度对单次放电蚀坑直径的影响曲线,通过优化工艺参数在单晶硅表面加工出宽度为1μm、长度为5μm的微细沟槽。研究结果充分证明了场致射流微细放电加工的加工能力。
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关键词
场致射流
微细放电加工
单晶硅
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职称材料
场致射流微细放电加工方法
被引量:
1
2
作者
许开仙
康小明
赵万生
《电加工与模具》
2013年第3期7-11,共5页
放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场...
放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。
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关键词
微细放电加工
场致射流
微细
工具电极
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职称材料
高电阻电极对微细电火花放电加工影响的研究
被引量:
4
3
作者
何春华
刘秀云
杨从斌
《科学技术与工程》
北大核心
2018年第2期237-241,共5页
微细电火花放电加工过程中,由于单位脉冲放电的材料去除率(放电凹坑直径)决定了最小加工尺寸以及微细电火花加工的加工表面粗糙度,所以减少单位脉冲放电的材料去除率具有重要作用。为达到此目的,采用具有高电阻材料如单晶硅作为工具电...
微细电火花放电加工过程中,由于单位脉冲放电的材料去除率(放电凹坑直径)决定了最小加工尺寸以及微细电火花加工的加工表面粗糙度,所以减少单位脉冲放电的材料去除率具有重要作用。为达到此目的,采用具有高电阻材料如单晶硅作为工具电极。分析结果显示,随着工具电极电阻提高,放电电流峰值逐渐降低,脉冲放电时间增加,放电能量减小。另外,研究并测试了硅电极加工不锈钢工件时电阻值对工件表面放电凹坑直径的影响。实验结果表明当硅工具电极电阻值提高时,放电凹坑直径逐渐降低;并达到最小值0.5μm;同时降低了工件表面粗糙度值0.03μm;提高了表面加工质量。
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关键词
微细
电火花
放电
加工
材料去除率
放电
凹坑
电阻
表面粗糙度
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职称材料
工具和模具制造中的放电微细加工
4
作者
HanspecterGrube
AndreWolf
+1 位作者
徐树兹
谭汝谋
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2001年第4期69-70,共2页
电加工(EDM)在微细技术的小型零件生产中正变得越来越重要,由于它的多功能性,其应用领域正日益广阔。
关键词
工具
模具
放电
微细
加工
电
加工
线切割
微细
成型
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职称材料
日本放电加工的新方法和新技术
5
作者
杜茂华
《机床与液压》
北大核心
2006年第10期223-227,共5页
综述了日本在放电加工领域的最新研究动态,包括成形放电加工、微细放电加工和线切割放电加工三部分内容。在成形放电加工方面,主要介绍一项新技术———气中放电高速三维空腔铣的原理、实验装置及加工效果;在微细放电加工方面,主要介绍...
综述了日本在放电加工领域的最新研究动态,包括成形放电加工、微细放电加工和线切割放电加工三部分内容。在成形放电加工方面,主要介绍一项新技术———气中放电高速三维空腔铣的原理、实验装置及加工效果;在微细放电加工方面,主要介绍一种新近开发的可同时加工微细轴和微孔的自动微孔加工装置和目前已加工出的微细轴的最小尺寸;在线切割放电加工方面,主要介绍了提高圆角加工精度的新方法、提高放电位置可控性的新方法和新的硅锭切片方法。
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关键词
成形
放电
加工
微细放电加工
线切割
放电
加工
动态
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职称材料
题名
场致射流微细放电加工实验研究
被引量:
1
1
作者
韩宁
张亚欧
赵万生
机构
上海交通大学机械与动力工程学院/机械系统与振动国家重点实验室
出处
《电加工与模具》
2015年第2期4-7,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175336)
文摘
对场致射流微细放电加工单晶硅进行了工艺实验研究,分析在不同加工极性下的加工机理,发现在正极性加工时,蚀坑在工件表面存在电解液残留是由电火花蚀除和电化学蚀除共同作用的结果,而在充分放电的情形下,是由电火花放电来实现材料蚀除的;在负极性加工时,蚀坑仅仅是由电火花蚀除作用的结果。通过单因素实验获取喷管内径、极间距离、极间电压及工作液浓度对单次放电蚀坑直径的影响曲线,通过优化工艺参数在单晶硅表面加工出宽度为1μm、长度为5μm的微细沟槽。研究结果充分证明了场致射流微细放电加工的加工能力。
关键词
场致射流
微细放电加工
单晶硅
Keywords
electrostatic field-induced jet
micro EDM
single crystal silicon
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
场致射流微细放电加工方法
被引量:
1
2
作者
许开仙
康小明
赵万生
机构
上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室
出处
《电加工与模具》
2013年第3期7-11,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175336)
文摘
放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。
关键词
微细放电加工
场致射流
微细
工具电极
Keywords
micro-EDM
field induced jet
micro tool electrode
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
高电阻电极对微细电火花放电加工影响的研究
被引量:
4
3
作者
何春华
刘秀云
杨从斌
机构
青岛大学数据科学与软件工程学院
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2018年第2期237-241,共5页
基金
山东省重点研发计划(2016RKB01074)
文摘
微细电火花放电加工过程中,由于单位脉冲放电的材料去除率(放电凹坑直径)决定了最小加工尺寸以及微细电火花加工的加工表面粗糙度,所以减少单位脉冲放电的材料去除率具有重要作用。为达到此目的,采用具有高电阻材料如单晶硅作为工具电极。分析结果显示,随着工具电极电阻提高,放电电流峰值逐渐降低,脉冲放电时间增加,放电能量减小。另外,研究并测试了硅电极加工不锈钢工件时电阻值对工件表面放电凹坑直径的影响。实验结果表明当硅工具电极电阻值提高时,放电凹坑直径逐渐降低;并达到最小值0.5μm;同时降低了工件表面粗糙度值0.03μm;提高了表面加工质量。
关键词
微细
电火花
放电
加工
材料去除率
放电
凹坑
电阻
表面粗糙度
Keywords
the micro electrical discharge machining the material removal discharge crater resist-ance surface roughness
分类号
TM242 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
工具和模具制造中的放电微细加工
4
作者
HanspecterGrube
AndreWolf
徐树兹
谭汝谋
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2001年第4期69-70,共2页
文摘
电加工(EDM)在微细技术的小型零件生产中正变得越来越重要,由于它的多功能性,其应用领域正日益广阔。
关键词
工具
模具
放电
微细
加工
电
加工
线切割
微细
成型
分类号
TG7 [金属学及工艺—刀具与模具]
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
日本放电加工的新方法和新技术
5
作者
杜茂华
机构
昆明理工大学机电工程学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2006年第10期223-227,共5页
文摘
综述了日本在放电加工领域的最新研究动态,包括成形放电加工、微细放电加工和线切割放电加工三部分内容。在成形放电加工方面,主要介绍一项新技术———气中放电高速三维空腔铣的原理、实验装置及加工效果;在微细放电加工方面,主要介绍一种新近开发的可同时加工微细轴和微孔的自动微孔加工装置和目前已加工出的微细轴的最小尺寸;在线切割放电加工方面,主要介绍了提高圆角加工精度的新方法、提高放电位置可控性的新方法和新的硅锭切片方法。
关键词
成形
放电
加工
微细放电加工
线切割
放电
加工
动态
Keywords
Die - sinking EDM
Micro EDM
WEDM
Trend
分类号
TG506 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
场致射流微细放电加工实验研究
韩宁
张亚欧
赵万生
《电加工与模具》
2015
1
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职称材料
2
场致射流微细放电加工方法
许开仙
康小明
赵万生
《电加工与模具》
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
高电阻电极对微细电火花放电加工影响的研究
何春华
刘秀云
杨从斌
《科学技术与工程》
北大核心
2018
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
工具和模具制造中的放电微细加工
HanspecterGrube
AndreWolf
徐树兹
谭汝谋
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2001
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
日本放电加工的新方法和新技术
杜茂华
《机床与液压》
北大核心
2006
0
在线阅读
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职称材料
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