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电化学加工法制备微细工具电极试验研究被引量：3: 1; 作者王明环彭伟《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期74-78,共5页; 微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。... 展开更多; 关键词机械制造自动化电化学加工微细工具电极微细加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究: 2; 作者吴修娟王道林 +1 位作者胡孝昀王赛甫《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第12期88-92,共5页; 为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工... 展开更多; 关键词微细工具电极电化学刻蚀附加液膜制备工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验: 3; 作者刘国栋李勇 +2 位作者孔全存佟浩钟昊《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66,共6页; 提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为... 展开更多; 关键词微细电解加工微细硅工具电极侧壁绝缘层体硅湿法腐蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

高弹性合金材料的微细电解铣削加工技术研究: 4; 作者张长富孙立力 +2 位作者郑丕显梁若云贠康《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2018年第3期99-103,159,共6页; 高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验... 展开更多; 关键词高弹性材料微细电解铣削加工技术微细工具电极纳秒脉冲电源; 在线阅读下载PDF 职称材料

场致射流微细放电加工方法被引量：1: 5; 作者许开仙康小明赵万生《电加工与模具》 2013年第3期7-11,共5页; 放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场... 展开更多; 关键词微细放电加工场致射流微细工具电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

电化学微加工技术的新进展及关键技术被引量：3: 6; 作者张璧罗红平 +1 位作者周志雄任莹晖《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页; 将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。... 展开更多; 关键词电化学微加工材料去除复杂三维微结构微细工具电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

低冲击分离装置微孔电火花加工技术研究: 7; 作者钟晓红陈济轮 +3 位作者张扬张昆张万刚沈岩《电加工与模具》 2013年第A01期30-35,共6页; 采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微... 展开更多; 关键词微细电火花加工锐边无毛刺微细工具电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电化学加工法制备微细工具电极试验研究被引量：3: 1; 作者王明环彭伟; 机构浙江工业大学特种装备制造及先进加工技术教育部重点实验室; 出处《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期74-78,共5页; 基金国家自然科学基金项目(50905165); 文摘微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。实验与分析的结果表明:采用液面下通电方式、适当浓度的电解液可以制得性能较好的探针;脉冲电源加工能够改善成形后微细电极的表面精度;电极的运动和脉冲电源由于破坏了腐蚀过程中的平衡,制备出的电极呈锥形。; 关键词机械制造自动化电化学加工微细工具电极微细加工; Keywords mechanical manufacture and automation electrochemical machining micro-electrode micro-machining; 分类号 TN16 [电子电信—物理电子学] TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究: 2; 作者吴修娟王道林胡孝昀王赛甫; 机构南京工业职业技术学院机械工程学院南京航空航天大学机电学院; 出处《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第12期88-92,共5页; 基金中国航空科学基金项目(201907052002) 江苏高校“青蓝工程”资助项目南京工业职业技术学院校级科研基金项目(YK18-01-04)。; 文摘为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工具电极尖端半径影响试验结果表明,(胶水)附加液膜制备的工具电极尖端半径尺寸和电极锥度最小,其次为(植物油)附加液膜,最大为(去离子水)附加液膜;而初始半径为250μm的钨棒在附加液膜(胶水)试验中出现特例,这是由于刻蚀时间过长胶水固化而引起的工具电极尖端过腐蚀所导致。; 关键词微细工具电极电化学刻蚀附加液膜制备工艺; Keywords micro tool electrode electrochemical etching additional liquid membrane preparation process; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验: 3; 作者刘国栋李勇孔全存佟浩钟昊; 机构清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院; 出处《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(51775302 51675054); 文摘提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。; 关键词微细电解加工微细硅工具电极侧壁绝缘层体硅湿法腐蚀; Keywords micro ECM silicon-based electrode insulating film wet etching; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高弹性合金材料的微细电解铣削加工技术研究: 4; 作者张长富孙立力郑丕显梁若云贠康; 机构西安工业大学机电工程学院; 出处《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2018年第3期99-103,159,共6页; 基金兵器预研支撑基金项目(62201070712) 陕西省自然科学基金项目(2014JM2-5072) +2 种基金 2014SZS20-P06) 陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(13JS043); 文摘高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验装置;研究了微细工具电极的在线制备方法和主要工艺参数对微细电解铣削加工精度的影响;并进行了两种典型微小结构的综合加工实例验证。研究表明,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术可以加工出具有良好质量的高弹性材料微小结构。; 关键词高弹性材料微细电解铣削加工技术微细工具电极纳秒脉冲电源; Keywords high elastic material micro electrochemical milling machining technology micro electrode nanosecond-pulse power; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名场致射流微细放电加工方法被引量：1: 5; 作者许开仙康小明赵万生; 机构上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室; 出处《电加工与模具》 2013年第3期7-11,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51175336); 文摘放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。; 关键词微细放电加工场致射流微细工具电极; Keywords micro-EDM field induced jet micro tool electrode; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电化学微加工技术的新进展及关键技术被引量：3: 6; 作者张璧罗红平周志雄任莹晖; 机构湖南大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页; 文摘将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。; 关键词电化学微加工材料去除复杂三维微结构微细工具电极; Keywords electrochemical micromachining tool electrode material removal complex 3D micro- feature micro; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低冲击分离装置微孔电火花加工技术研究: 7; 作者钟晓红陈济轮张扬张昆张万刚沈岩; 机构首都航天机械公司; 出处《电加工与模具》 2013年第A01期30-35,共6页; 文摘采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微细工具电极及高精度无毛刺剪切销孔的在线检测等技术,攻克了低冲击分离装置高精度剪切销孔的加工技术难题。; 关键词微细电火花加工锐边无毛刺微细工具电极; Keywords micro EDM sharp-edge machining burr less micro tool electrode; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	电化学加工法制备微细工具电极试验研究	王明环彭伟	《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究	吴修娟王道林胡孝昀王赛甫	《现代制造工程》 CSCD 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验	刘国栋李勇孔全存佟浩钟昊	《电加工与模具》	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	高弹性合金材料的微细电解铣削加工技术研究	张长富孙立力郑丕显梁若云贠康	《现代制造工程》 CSCD 北大核心	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	场致射流微细放电加工方法	许开仙康小明赵万生	《电加工与模具》	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	电化学微加工技术的新进展及关键技术	张璧罗红平周志雄任莹晖	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	低冲击分离装置微孔电火花加工技术研究	钟晓红陈济轮张扬张昆张万刚沈岩	《电加工与模具》	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料