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电化学加工法制备微细工具电极试验研究 被引量：3
1
作者 王明环 彭伟 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期74-78,共5页
微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。... 微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。实验与分析的结果表明:采用液面下通电方式、适当浓度的电解液可以制得性能较好的探针;脉冲电源加工能够改善成形后微细电极的表面精度;电极的运动和脉冲电源由于破坏了腐蚀过程中的平衡,制备出的电极呈锥形。 展开更多
关键词 机械制造自动化 电化学加工 微细工具电极 微细加工
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附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的工艺研究
2
作者 吴修娟 王道林 +1 位作者 胡孝昀 王赛甫 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第12期88-92,共5页
为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工... 为提高微细工具电极的微细程度,提出一种附加液膜电化学刻蚀法制备微细工具电极的新方法,进行相关工艺试验研究。对比试验结果表明,附加液膜电化学刻蚀法制备的工具电极尖端半径均比传统液膜电化学刻蚀法制备的半径小;附加液膜类型对工具电极尖端半径影响试验结果表明,(胶水)附加液膜制备的工具电极尖端半径尺寸和电极锥度最小,其次为(植物油)附加液膜,最大为(去离子水)附加液膜;而初始半径为250μm的钨棒在附加液膜(胶水)试验中出现特例,这是由于刻蚀时间过长胶水固化而引起的工具电极尖端过腐蚀所导致。 展开更多
关键词 微细工具电极 电化学刻蚀 附加液膜 制备工艺
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微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验
3
作者 刘国栋 李勇 +2 位作者 孔全存 佟浩 钟昊 《电加工与模具》 2017年第5期26-30,66,共6页
提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为... 提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。 展开更多
关键词 微细电解加工 微细硅工具电极 侧壁绝缘层 体硅湿法腐蚀
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微细电火花块反拷加工机床关键零部件设计与实验 被引量：2
4
作者 连海山 郭钟宁 +2 位作者 罗红平 何俊峰 王贺宾 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第3期146-149,共4页
设计并研制了一台微细电火花块反拷加工机床并对其关键零部件进行了详细的介绍,该机床主要由镶嵌陶瓷V型主轴系统、高精密的微三维运动平台、杯状工作液槽以及可转动的块电极辅助夹具构成。采用可转动的块电极辅助夹具可以在线修正工具... 设计并研制了一台微细电火花块反拷加工机床并对其关键零部件进行了详细的介绍,该机床主要由镶嵌陶瓷V型主轴系统、高精密的微三维运动平台、杯状工作液槽以及可转动的块电极辅助夹具构成。采用可转动的块电极辅助夹具可以在线修正工具电极与块电极之间的安装位置关系,减少块电极反拷平面与工具电极回转轴线之间的平行度误差。应用该机床并采用径向进给的反拷方式,成功的加工出了直径约为400μm,长度为18.2mm,长径比达到45的微细电极。 展开更多
关键词 微细电火花加工 V型主轴 块电极 微细工具 大长径比
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高弹性合金材料的微细电解铣削加工技术研究
5
作者 张长富 孙立力 +2 位作者 郑丕显 梁若云 贠康 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2018年第3期99-103,159,共6页
高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验... 高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验装置;研究了微细工具电极的在线制备方法和主要工艺参数对微细电解铣削加工精度的影响;并进行了两种典型微小结构的综合加工实例验证。研究表明,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术可以加工出具有良好质量的高弹性材料微小结构。 展开更多
关键词 高弹性材料 微细电解铣削加工技术 微细工具电极 纳秒脉冲电源
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场致射流微细放电加工方法 被引量：1
6
作者 许开仙 康小明 赵万生 《电加工与模具》 2013年第3期7-11,共5页
放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场... 放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。 展开更多
关键词 微细放电加工 场致射流 微细工具电极
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电化学微加工技术的新进展及关键技术 被引量：3
7
作者 张璧 罗红平 +1 位作者 周志雄 任莹晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页
将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。... 将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。 展开更多
关键词 电化学微加工 材料去除 复杂三维微结构 微细工具电极
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低冲击分离装置微孔电火花加工技术研究
8
作者 钟晓红 陈济轮 +3 位作者 张扬 张昆 张万刚 沈岩 《电加工与模具》 2013年第A01期30-35,共6页
采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微... 采用微细电火花加工技术,通过配备高速旋转轴和多级精密介质过滤系统,先后突破了微细工具电极的在线快速制作,不同的冲液压力、工具电极转速与微细放电规准的适配技术,高精度无毛刺剪切销孔微细电火花高效加工工艺参数的选择与优化,微细工具电极及高精度无毛刺剪切销孔的在线检测等技术,攻克了低冲击分离装置高精度剪切销孔的加工技术难题。 展开更多
关键词 微细电火花加工 锐边 无毛刺 微细工具电极
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摩擦副表面微结构及其超声复合电加工技术研究 被引量：4
9
作者 朱永伟 王占和 +1 位作者 范仲俊 云乃彰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第24期2965-2971,共7页
设计了圆形、正方形及菱形三种截面形状微结构;用微细电加工技术组合制作了微结构加工工具;构造、完善了超声复合微细电加工系统;进行了微结构超声复合电加工试验,并分析了其加工的工艺特性。进行了摩擦学特性试验,结果表明,具有规则形... 设计了圆形、正方形及菱形三种截面形状微结构;用微细电加工技术组合制作了微结构加工工具;构造、完善了超声复合微细电加工系统;进行了微结构超声复合电加工试验,并分析了其加工的工艺特性。进行了摩擦学特性试验,结果表明,具有规则形貌微结构的摩擦副表面摩擦因数及磨损量均减小,研究成果对提高重要摩擦副的使用性能与寿命具有理论意义和工程应用价值。 展开更多
关键词 微结构 摩擦分析 微细工具制作 超声复合电加工 摩擦试验
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间隙约束线电极电火花磨削加工方法加工区域线电极位置波动特性研究
10
作者 宋顺 李赞 +2 位作者 王燕青 贾建宇 杨胜强 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2023年第8期1-6,共6页
为实现各种异形微细工具的制造,提出了线电极双侧布置的间隙约束线电极电火花磨削加工方法,并设计了实验装置,加工区域内线电极的位置波动对微细工具的尺寸精度有直接影响。以加工区域内运丝稳定性为研究目标,进行田口实验,探究缓冲器... 为实现各种异形微细工具的制造,提出了线电极双侧布置的间隙约束线电极电火花磨削加工方法,并设计了实验装置,加工区域内线电极的位置波动对微细工具的尺寸精度有直接影响。以加工区域内运丝稳定性为研究目标,进行田口实验,探究缓冲器旋出长度、磁滞制动器电流和丝速对线电极位置波动和张力的影响。通过分析线电极张力可知,运丝过程中线电极位置波动和张力变化具有相关性;各实验因素对线电极位置波动量和张力波动量占比的影响规律相同。实验结果表明,丝速对运丝稳定性的影响程度最大;当缓冲器旋出长度为10.5 mm,磁滞制动器电流为0.09 A和丝速为1 mm/s时,线电极运行最稳定,并进行了实验验证。 展开更多
关键词 微细工具 线电极电火花磨削 运丝稳定性 位置波动
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