Al_2O_3感光薄膜的制备及其微细图形化研究 被引量：1

1

作者 王哲哲 赵高扬 +2 位作者 林林 冯卓宏 郑志强 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期12079-12082,12087,共5页

提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al(O-SecBu)3为前驱物,β-二酮类配体H(C10H12O2)为化学修饰剂,合成了稳定的、具有良好感光性的含Al金属螯合物,进而制备出相应的感光薄膜。研究了薄膜的紫外... 提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al(O-SecBu)3为前驱物,β-二酮类配体H(C10H12O2)为化学修饰剂,合成了稳定的、具有良好感光性的含Al金属螯合物,进而制备出相应的感光薄膜。研究了薄膜的紫外和红外光谱特性及其在紫外光辐照条件下的变化过程,结果表明金属螯合物薄膜在251,321和368nm处各存在较强的紫外吸收峰。随着紫外光照时间的增加,吸收峰下降,Al2O3/H薄膜表现出明显的感光特性。结合紫外光刻技术,可制备出不同形状尺寸的Al2O3微细图形,其最小线宽可达437nm。 展开更多

关键词 AL2O3薄膜 感光溶胶-凝胶 化学修饰 激光干涉 微细图形

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溶胶-凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形 被引量：1

2

作者 张黄莉 赵高扬 彭海军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期192-194,共3页

以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其... 以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其峰值逐渐降低,凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化,显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基于这一特性,本文提出了一种YBCO超导薄膜图形制备新方法,即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,然后在甲醇中溶洗,进一步热处理,得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明,图形化的YBCO薄膜具有较强的c轴取向,超导转变温度TC达到92K. 展开更多

关键词 YBCO 溶胶-凝胶 感光性 微细图形

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激光驻波透镜聚焦原子束制作超微细图形研究

3

作者 陈元培 李展 +1 位作者 陈旭南 陈献忠 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期18-19,共2页

介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在原子束高度准直的情况下 ,原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ... 介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在原子束高度准直的情况下 ,原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。 展开更多

关键词 原子光学 光刻 原子束 驻波 透镜 激光准直技术 驻波聚焦沉积技术 超微细图形 微细加工

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高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展

4

作者 张黄莉 赵高扬 +1 位作者 彭海军 刘晓梅 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期96-99,共4页

高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修... 高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展。首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中。 展开更多

关键词 高温超导薄膜 微细图形 溶胶-凝胶法 化学修饰

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一种制作量子尺寸超微细图形的新方法

5

作者 傅绍军 夏安东 +1 位作者 洪义麟 田扬超 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期251-,259,共2页

一种制作量子尺寸超微细图形的新方法傅绍军，夏安东，洪义麟，田扬超（中国科技大学国家同步辐射实验室）０引言具有二维和三维量子限域作用的量子细线和量子点等量子微结构，目前已成为低维物理和材料科学中的一个最活跃的前沿工作。... 一种制作量子尺寸超微细图形的新方法傅绍军，夏安东，洪义麟，田扬超（中国科技大学国家同步辐射实验室）０引言具有二维和三维量子限域作用的量子细线和量子点等量子微结构，目前已成为低维物理和材料科学中的一个最活跃的前沿工作。如何产生这种具有量子尺寸的高质量超... 展开更多

关键词 超微细图形 量子尺寸 量子微结构 国家同步辐射实验室 光栅图形 新方法 透射光栅 中国科技大学 等离子体氧化 电子束曝光

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感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用

6

作者 赵高扬 赵桂荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期3003-3005,共3页

以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,... 以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,微细图形制备具有更大的难度.本研究结合功能薄膜的特点,研究了感光溶胶-凝胶技术,在薄膜的制备过程中就考虑到薄膜的微细加工.这种方法充分利用了溶胶-凝胶法可精确调控薄膜成分、按照需要对薄膜的结构进行化学裁剪的特点,用化学修饰法赋予薄膜以感光特性,利用薄膜自身的感光特性制备微细图形,简化了薄膜微细图形制备流程,并可以获得具有亚微米级的功能薄膜阵列或二维格子,在光电子或微电子领域有重要应用前景. 展开更多

关键词 微细图形 功能薄膜 感光性 阵列 溶胶一凝胶法

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超微细图形加工技术进展 被引量：2

7

作者 田如江 韩阶平 马俊如 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第2期83-94,共12页

自1959年集成电路发明以来，它已经对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小30％、集成规模增长1倍、芯片价格随之下降的惊人速度发展。光刻技术的发展始终是集成电路发展的决定因素。本文综... 自1959年集成电路发明以来，它已经对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小30％、集成规模增长1倍、芯片价格随之下降的惊人速度发展。光刻技术的发展始终是集成电路发展的决定因素。本文综述了深亚微米光刻和纳米光刻技术。在光学光刻部分，简要描述了光刻的历史演变，较详细综述了光学光刻的最新进展，如相移掩模、离轴照明及深紫外曝光。最后介绍了电子束曝光及X射线曝光的发展状况及SIM纳米加工的发展状况。 展开更多

关键词 光刻 电子束曝光 纳米加工 超微细图形

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微细金属图形制作中的剥离技术 被引量：24

8

作者 王文如 杨正兵 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第1期68-73,共6页

介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求 ,同时简述了常用的几种剥离方法。

关键词 剥离 微细金属图形 半导体工艺

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钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 被引量：5

9

作者 张卫华 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期424-428,共5页

以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫... 以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相. 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 溶胶-凝胶法 感光性 微细图形 制备 微细加工 YSZ薄膜

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直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究 被引量：1

10

作者 张卫华 袁媛 +1 位作者 石春梅 赵高扬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期886-890,共5页

采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄... 采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO_2/SiO_2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03. 展开更多

关键词 BST薄膜 感光性 微细图形 溶胶-凝胶工艺

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用于三维超微图形复制加工的约束刻蚀剂层技术研究 被引量：3

11

作者 谢雷 罗瑾 +1 位作者 毛秉伟 田昭武 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期193-195,198,共4页

本文对用于三维超出图形复制加工的约束刻蚀剂层技术进行了可行性研究。分析了刻蚀剂的扩出过程对电化学微细加工分辨率的影响，证明对刻蚀剂层进行约束可使该方法具里高敏感性，并成功地在ＧａＡＳ单晶上进行了初步的复杂三维微细图形... 本文对用于三维超出图形复制加工的约束刻蚀剂层技术进行了可行性研究。分析了刻蚀剂的扩出过程对电化学微细加工分辨率的影响，证明对刻蚀剂层进行约束可使该方法具里高敏感性，并成功地在ＧａＡＳ单晶上进行了初步的复杂三维微细图形的复制。 展开更多

关键词 约束刻蚀剂层技术 微图形 电化学微细加工 微细图形 微柱电极 电化学方法 可行性研究 微盘电极 原子力显微镜 扫描电化学显微镜

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纳米表面工程基本问题及其进展 被引量：41

12

作者 徐滨士 欧忠文 马世宁 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2001年第3期6-12,共7页

阐述了纳米表面工程的产生背景、内涵、特点和科学问题,详细综述了纳米表面工程在纳米超薄膜的制备、超光滑表面的制备、表面超微细图形加工、纳米结构涂层的组装、制备纳米复合功能涂层方面的研究进展。

关键词 纳米表面工程 纳米材料 纳米超薄膜 超光滑表面 超微细图形 纳米结构涂层

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DXY-1型线宽轮廓测量仪的设计 被引量：2

13

作者 李庆祥 薛实福 +1 位作者 王伯雄 徐毓娴 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期162-168,共7页

微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02... 微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。 展开更多

关键词 线宽 轮廓测量仪 设计 微细图形

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一种新型的正胶剥离技术及其应用 被引量：2

14

作者 信思树 普朝光 +1 位作者 杨明珠 杨培志 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第2期105-107,共3页

介绍了在金属微细图形化制作中常用的两种方法：刻蚀和剥离,并比较了两者的优劣。开发了一种新型的正胶剥离技术,着重解决了传统的正胶剥离技术中所存在的较为严重的“二次污染”问题,提高了其剥离精度,达到2μm。最后介绍了新型的正胶... 介绍了在金属微细图形化制作中常用的两种方法：刻蚀和剥离,并比较了两者的优劣。开发了一种新型的正胶剥离技术,着重解决了传统的正胶剥离技术中所存在的较为严重的“二次污染”问题,提高了其剥离精度,达到2μm。最后介绍了新型的正胶剥离技术在实际工作中的应用。 展开更多

关键词 正胶 剥离技术 金属微细图形化 二次污染

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感光溶胶-凝胶法制备光波导研究 被引量：4

15

作者 彭新玲 赵高扬 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1098-1102,共5页

采用溶胶-凝胶技术与化学修饰相结合的方法,制备了具有紫外感光特性的SiO2/Al2O3溶胶及其凝胶薄膜,并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构,经一次提拉制膜就可获得18μm厚的感光性凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,使紫外... 采用溶胶-凝胶技术与化学修饰相结合的方法,制备了具有紫外感光特性的SiO2/Al2O3溶胶及其凝胶薄膜,并通过在溶胶中加入聚乙二醇使其形成有机-无机复合结构,经一次提拉制膜就可获得18μm厚的感光性凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,再经过溶洗和200℃、1h的热处理,就可获得厚度达到15μm、线宽约为100μm的波导阵列.对这种波导薄膜的折射率和的透射率进行了研究. 展开更多

关键词 光波导 有机-无机复合 微细图形 溶胶一凝胶 化学修饰

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