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智能化的微细台阶测量系统
1
作者
王云庆
李庆祥
+1 位作者
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大...
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
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关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶
测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
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题名
智能化的微细台阶测量系统
1
作者
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
文摘
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶
测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
分类号
TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
智能化的微细台阶测量系统
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
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