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高精度2×2阵列拼接光栅结构设计
被引量：
3
1
作者
周忆
申超
+2 位作者
张军伟
王逍
周海
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期1741-1745,共5页
提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题...
提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1 h。
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关键词
阵列拼接光栅
微纳调整
结构设计
快点火
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职称材料
题名
高精度2×2阵列拼接光栅结构设计
被引量：
3
1
作者
周忆
申超
张军伟
王逍
周海
机构
重庆大学机械传动国家重点实验室
重庆大学机械工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期1741-1745,共5页
基金
国家高技术发展计划项目
中央高校基本科研项目(CDJXS11111140)
重庆大学"211工程"三期创新人才培养计划建设项目(S-09106)
文摘
提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1 h。
关键词
阵列拼接光栅
微纳调整
结构设计
快点火
Keywords
tiled-grating
micro-nano adjusting unit
structural design
fast ignition
分类号
TB133 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高精度2×2阵列拼接光栅结构设计
周忆
申超
张军伟
王逍
周海
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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