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轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响
1
作者
陈思宇
国凤林
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020年第9期112-117,共6页
针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力...
针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力对质量传感器的工作性能的影响机理。结果表明:轴向拉力会提高质量传感灵敏度;轴向拉力会降低谐振器的热弹性阻尼;轴向拉力可以使得质量传感器捕获更微小的检测质量。
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关键词
微纳米质量传感器
轴向预应力
检测灵敏度
热弹性阻尼
最小检测
质量
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职称材料
题名
轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响
1
作者
陈思宇
国凤林
机构
上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020年第9期112-117,共6页
基金
国家自然科学基金面上项目(11272206)。
文摘
针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力对质量传感器的工作性能的影响机理。结果表明:轴向拉力会提高质量传感灵敏度;轴向拉力会降低谐振器的热弹性阻尼;轴向拉力可以使得质量传感器捕获更微小的检测质量。
关键词
微纳米质量传感器
轴向预应力
检测灵敏度
热弹性阻尼
最小检测
质量
Keywords
micromechanical mass sensor
axial pretension
mass sensitivity
thermoelastic damping
minimum detectable mass
分类号
TH212 [机械工程—机械制造及自动化]
TH213.3 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
发文年
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1
轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响
陈思宇
国凤林
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020
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