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用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据
被引量：
1
1
作者
李同保
翁浚婧
+3 位作者
雷李华
李源
蔡潇雨
马艳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期230-236,共7页
由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率...
由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。
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关键词
快速傅里叶变换法
线节距
一维线间隔标准样板
微纳米计量
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职称材料
题名
用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据
被引量：
1
1
作者
李同保
翁浚婧
雷李华
李源
蔡潇雨
马艳
机构
同济大学物理科学与工程学院
上海市计量测试技术研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期230-236,共7页
基金
上海市科委纳米专项基金资助项目(No.11nm0506800)
文摘
由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。
关键词
快速傅里叶变换法
线节距
一维线间隔标准样板
微纳米计量
Keywords
Fast Fourier Transforms（FFT） method
pitch
one dimensional grating
micro-nano scale metrology
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
O438.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据
李同保
翁浚婧
雷李华
李源
蔡潇雨
马艳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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