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微/纳米定位平台的动态特性分析与试验被引量：11: 1; 作者林超俞松松 +3 位作者程凯崔新辉陶友淘王静超《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1375-1381,1396,共8页; 为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动... 展开更多; 关键词微/纳米定位平台柔性机构压电陶瓷驱动器动态特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

大行程磁阻驱动微定位平台及其轨迹跟踪控制: 2; 作者张旭陆晓伟赖磊捷《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期2852-2861,共10页; 麦克斯韦磁阻驱动器克服了传统压电陶瓷驱动器行程小及音圈电机推力密度和效率低等难题,在大行程高速微纳米定位中具有极大的应用潜力。设计了一种基于麦克斯韦磁阻驱动的大行程二自由度柔顺微定位平台,并对其进行了高性能轨迹跟踪控制... 展开更多; 关键词微纳米定位麦克斯韦磁阻驱动器柔性机构磁滞分数阶控制轨迹跟踪控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种实现纳米超微定位和超微加工的新方法: 3; 作者禹国强胡小唐刘安伟《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第3期308-311,共4页; 介绍了一种采用双单元扫描隧道显微镜实现纳米级超微定位和超微加工的新方法．双单元扫描隧道显微镜由两个Ｚ向同轴ＳＴＭ单元上下组合而成，分别作为样品测量加工单元与参考定位单元，两者共用一个ＸＹ扫描器．参考定位单元以规则的晶... 展开更多; 关键词扫描隧道显微镜超微加工纳米级超微定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

压电微纳定位平台自适应陷波滤波在线谐振抑制被引量：3: 4; 作者王雯雯赖磊捷《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期710-714,共5页; 压电驱动柔性微纳米定位平台通常呈现低阻尼谐振模态,高速运动时易激发机械谐振,从而严重影响控制系统稳定性、控制带宽和轨迹跟踪精度。为消除当前谐振控制器对平台动力学建模精度的依赖性,该文设计了一种自适应陷波滤波器来实现压电... 展开更多; 关键词微纳米定位平台压电陶瓷驱动器在线谐振抑制自适应陷波滤波器柔性机构; 在线阅读下载PDF 职称材料

电磁直驱柔性微定位平台谐振抑制控制器设计: 5; 作者陈云壮赖磊捷《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2023年第4期63-66,共4页; 针对音圈电机驱动柔性微定位平台的低阻尼谐振问题,利用零极点配置的根轨迹校正方法对其谐振振动模态进行有效抑制以满足其跟踪精度高、响应速度快、抗干扰能力强的性能要求。首先,搭建了音圈电机驱动柔性微定位平台系统并进行系统辨识... 展开更多; 关键词微纳米定位平台音圈电机零极点对消相位超前控制器; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型二维压电驱动微动工作台的设计分析被引量：13: 6; 作者刘品宽曲东升 +1 位作者王莉孙立宁《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第1期31-34,共4页; 研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析 ,推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式。采用有限元分析方法 ,对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分... 展开更多; 关键词压电驱动纳米级微定位柔性铰链有限元分析设计微动工作台; 在线阅读下载PDF 职称材料

大范围XY微位移平台的交叉耦合效应的研究: 7; 作者李晓春耿冬妮《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2019年第7期5-8,12,共5页; 为了减小柔性平台中的阿贝(Abbe)误差和最小化余弦误差。文章介绍了一种通过增材制造(AM)工艺以及立体光刻技术制造,基于聚合物的大范围XY纳米定位器的交叉耦合效应,设计了一种能够在±1.0mm范围运动的XY平台。对于XY和YX轴,AM平台... 展开更多; 关键词交叉耦合效应纳米级微定位柔性机构增材制造轨迹误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微/纳米定位平台的动态特性分析与试验被引量：11: 1; 作者林超俞松松程凯崔新辉陶友淘王静超; 机构重庆大学机械传动国家重点实验室; 出处《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1375-1381,1396,共8页; 基金重庆大学机械传动国家重点实验室资助项目(0301002109150) 重庆大学机械传动国家重点实验室2008年度开放基金资助项目(SKLMT-KFKT-200806); 文摘为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动态试验,结果表明,平台的开环调节时间为0.812s;驱动频率为100Hz时,发生共振现象;加载小于10N时,平台具有较好的稳定性;动态试验得到压电陶瓷、电容传感器和平台的分辨率分别为4、10和45nm,且平台的重复定位精度为0.6μm.; 关键词微/纳米定位平台柔性机构压电陶瓷驱动器动态特性; Keywords micro/nano-positioning platform flexible mechanism piezoelectric actuator dynamic per-formances; 分类号 TH139 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大行程磁阻驱动微定位平台及其轨迹跟踪控制: 2; 作者张旭陆晓伟赖磊捷; 机构上海工程技术大学机械与汽车工程学院华立科技股份有限公司; 出处《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期2852-2861,共10页; 基金国家自然科学基金(U2013211) 上海市自然科学基金(21ZR1426000) 机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(MSV202210)。; 文摘麦克斯韦磁阻驱动器克服了传统压电陶瓷驱动器行程小及音圈电机推力密度和效率低等难题,在大行程高速微纳米定位中具有极大的应用潜力。设计了一种基于麦克斯韦磁阻驱动的大行程二自由度柔顺微定位平台,并对其进行了高性能轨迹跟踪控制。该定位平台由2个永磁偏置的麦克斯韦磁阻驱动器和二自由度并联解耦柔性导向机构组成,平台利用磁阻驱动器的非线性负刚度来部分补偿柔性导向机构的弹性恢复力,有效提高了运动行程和能量传递效率,使其在±2 mm行程范围内的所需推力从±120 N减少至±24 N。轨迹跟踪控制方面,为补磁阻驱动器偿驱动器软磁材料冲磁带来的磁滞非线性,利用逆Prandtl-Ishlinskii磁滞模型构建了率相关磁滞补偿控制器并将其置于前馈回路中。为解决平台低阻尼谐振及动力学模型不一致等问题,设计了含分数阶相位超前环节的PI反馈控制器以完成对系统开环频率特性的灵活调整,实现了对平台的高精度轨迹跟踪控制,有效减小了系统的跟踪误差。对2 mm幅值、1 Hz和10 Hz频率的三角波信号进行轨迹跟踪所得到的均方根误差分别为0.013 mm和0.017 mm。; 关键词微纳米定位麦克斯韦磁阻驱动器柔性机构磁滞分数阶控制轨迹跟踪控制; Keywords micro/nanoposition Maxwell reluctance actuator flexible mechanism hysteresis fractional order control trajectory tracking control; 分类号 TM352 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种实现纳米超微定位和超微加工的新方法: 3; 作者禹国强胡小唐刘安伟; 机构天津大学精密仪器与光电子工程学院; 出处《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第3期308-311,共4页; 基金国家自然科学基金微米/纳米技术国防预研-微机理研究专项青年基金; 文摘介绍了一种采用双单元扫描隧道显微镜实现纳米级超微定位和超微加工的新方法．双单元扫描隧道显微镜由两个Ｚ向同轴ＳＴＭ单元上下组合而成，分别作为样品测量加工单元与参考定位单元，两者共用一个ＸＹ扫描器．参考定位单元以规则的晶格空间为参考，采用原子阵列伺服寻踪和针尖锁定到原子的技术，可以实现纳米级超微定位；; 关键词扫描隧道显微镜超微加工纳米级超微定位; Keywords dual tunneling unit STM servo tracking of atomic arrays position lock of a tip over an atom ultra micropositioning in nm order method of applying voltage pulses between the tip and the sample; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压电微纳定位平台自适应陷波滤波在线谐振抑制被引量：3: 4; 作者王雯雯赖磊捷; 机构上海工程技术大学机械与汽车工程学院; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期710-714,共5页; 基金国家自然科学基金项目(51605275)。; 文摘压电驱动柔性微纳米定位平台通常呈现低阻尼谐振模态,高速运动时易激发机械谐振,从而严重影响控制系统稳定性、控制带宽和轨迹跟踪精度。为消除当前谐振控制器对平台动力学建模精度的依赖性,该文设计了一种自适应陷波滤波器来实现压电微纳定位平台的在线实时抑制谐振。首先,搭建了压电驱动柔性微纳定位平台系统并建立其机电耦合动力学模型;其次,利用快速傅里叶变换方法在线分析了闭环系统误差信号,设计平台频率特性提取算法,实现了对陷波滤波器参数的在线自适应整定;最后,利用所设计的自适应陷波滤波器对阶跃信号和三角波信号进行轨迹跟踪实验。实验结果表明,自适应陷波滤波器可以很好地实现谐振的在线抑制,能够有效提升平台的稳定性和轨迹跟踪精度。; 关键词微纳米定位平台压电陶瓷驱动器在线谐振抑制自适应陷波滤波器柔性机构; Keywords micro/nano positioning platform piezoelectric ceramic driver online resonance suppression adaptive notch filter flexible mechanism; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电磁直驱柔性微定位平台谐振抑制控制器设计: 5; 作者陈云壮赖磊捷; 机构上海工程技术大学机械与汽车工程学院; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2023年第4期63-66,共4页; 基金上海自然科学基金资助项目(21ZR1426000)。; 文摘针对音圈电机驱动柔性微定位平台的低阻尼谐振问题,利用零极点配置的根轨迹校正方法对其谐振振动模态进行有效抑制以满足其跟踪精度高、响应速度快、抗干扰能力强的性能要求。首先,搭建了音圈电机驱动柔性微定位平台系统并进行系统辨识,获得平台的动态特性;其次,为改善系统的响应特性,在原系统根轨迹上加入共轭零点消除低阻尼共轭极点带来的振荡;此外,在闭环系统基础上加入前置的相位超前前馈控制器以消除闭环系统的相位误差;最后,利用所设计控制器对频率为1 Hz、2 Hz、5 Hz的正弦信号和三角波信号进行跟踪实验,最大跟踪误差分别为轨迹幅值的7.08%和6.05%。实验结果表明,系统能够较好的复现所跟踪的信号,跟踪误差得到了较好的抑制,证明了所设计控制器的准确性、有效性。; 关键词微纳米定位平台音圈电机零极点对消相位超前控制器; Keywords micro-positioning stage voice coil motor zero pole cancellation phase advance controller; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TG66 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型二维压电驱动微动工作台的设计分析被引量：13: 6; 作者刘品宽曲东升王莉孙立宁; 机构哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨工业大学分析测试中心; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第1期31-34,共4页; 基金国家自然科学基金重点项目 (2 983 3 0 70 ) 国家自然科学基金资助项目 (5 0 175 0 19); 文摘研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析 ,推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式。采用有限元分析方法 ,对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分析 ,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试。理论分析。; 关键词压电驱动纳米级微定位柔性铰链有限元分析设计微动工作台; Keywords piezo actuator(PZT) nanopositioning flexure hinge FEM; 分类号 TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大范围XY微位移平台的交叉耦合效应的研究: 7; 作者李晓春耿冬妮; 机构吉林大学工程训练中心; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2019年第7期5-8,12,共5页; 文摘为了减小柔性平台中的阿贝(Abbe)误差和最小化余弦误差。文章介绍了一种通过增材制造(AM)工艺以及立体光刻技术制造,基于聚合物的大范围XY纳米定位器的交叉耦合效应,设计了一种能够在±1.0mm范围运动的XY平台。对于XY和YX轴,AM平台的交叉耦合率分别为3.4%和8.1%,比有限元法估算值1.0%要大得多,这也是造成AM制造公差或材料特性局部不规则的原因。因此AM平台应该定位为反馈控制,以避免交叉耦合效应。实验结果表明,在半径1.0mm和1Hz圆周运动条件下,均方根径向轨迹误差为3.62mm。因此,AM平台可用于大范围纳米精密应用。; 关键词交叉耦合效应纳米级微定位柔性机构增材制造轨迹误差; Keywords cross-coupling-effect nano-positioning flexures additive-manufacturing trajectory error; 分类号 TH122 [机械工程—机械设计及理论] TG506 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微/纳米定位平台的动态特性分析与试验	林超俞松松程凯崔新辉陶友淘王静超	《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	11	在线阅读下载PDF 职称材料
2	大行程磁阻驱动微定位平台及其轨迹跟踪控制	张旭陆晓伟赖磊捷	《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种实现纳米超微定位和超微加工的新方法	禹国强胡小唐刘安伟	《天津大学学报》 EI CAS CSCD	1999	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	压电微纳定位平台自适应陷波滤波在线谐振抑制	王雯雯赖磊捷	《压电与声光》 CAS 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电磁直驱柔性微定位平台谐振抑制控制器设计	陈云壮赖磊捷	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	新型二维压电驱动微动工作台的设计分析	刘品宽曲东升王莉孙立宁	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2002	13	在线阅读下载PDF 职称材料
7	大范围XY微位移平台的交叉耦合效应的研究	李晓春耿冬妮	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料