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Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining
被引量：
3
1
作者
Masayoshi Esashi
Takahito Ono
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第6期608-613,共6页
关键词
微纳电械系统
MEMS
体硅
微
加工工艺
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职称材料
题名
Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining
被引量：
3
1
作者
Masayoshi Esashi
Takahito Ono
机构
New Industry Creation Hatchery Center (NICHe)
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第6期608-613,共6页
关键词
微纳电械系统
MEMS
体硅
微
加工工艺
分类号
TH－39 [机械工程]
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题名
作者
出处
发文年
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1
Micro-nano electromechanical system by bulk silicon micromachining
Masayoshi Esashi
Takahito Ono
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002
3
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