期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
微纳尺度结构动力学专刊序
1
作者 胡开明 李成 刘汝盟 《动力学与控制学报》 2024年第10期1-4,共4页
围绕微纳尺度结构跨尺度动力学建模、动力学分析、动力学控制、动力学设计与测量方法等研究主题,本专刊介绍了微纳尺度结构动力学与控制领域的一些最新研究成果.
关键词 尺度结构 尺度力学 器件动力学设计 力学测试
在线阅读 下载PDF
聚焦离子束在微纳尺度材料力学性能研究中的应用 被引量:6
2
作者 田琳 付琴琴 单智伟 《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期706-715,751,共11页
微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10 nm到10μm之间(以下简称微纳尺度)的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性:其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到,传统的力学测试工具和方法无法满足对... 微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10 nm到10μm之间(以下简称微纳尺度)的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性:其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到,传统的力学测试工具和方法无法满足对微纳尺度材料进行测试的要求,微纳尺度材料通常在多场耦合条件下服役。这些特性要求研究工作者持续不断地寻找和研发新的工具以期实现对微纳尺度材料的可控制备,高通量观测、操控和定量测量。双束聚焦离子束技术不仅因具有纳米级的空间分辨率而具备对微纳尺度材料的高质量成像和动态监测,而且具备纳米分辨率的定点刻蚀、诱导沉积等功能。因此,双束聚焦离子束成为研究微纳尺度材料力学性能的有力工具。综述了近年来聚焦离子束技术在微纳尺度材料类力学性能研究中的应用,并讨论了其局限性和发展趋势。 展开更多
关键词 聚焦离子束 力学 尺度 样品加工
在线阅读 下载PDF
FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍 被引量:23
3
作者 付琴琴 单智伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期81-89,共9页
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展... 聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。 展开更多
关键词 FIB-SEM双束系统 TEM样品制备 微纳尺度力学测试样品制备 三维成像及分析
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部