-
题名微纳尺度结构动力学专刊序
- 1
-
-
作者
胡开明
李成
刘汝盟
-
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
常州工学院汽车工程学院
南京航空航天大学航空航天结构力学及控制全国重点实验室
-
出处
《动力学与控制学报》
2024年第10期1-4,共4页
-
基金
国家自然科学基金项目(12032015,12121002,12172216)
上海市学术/技术研究带头人计划(19XD1421600)
+2 种基金
上海交通大学双一流建设项目(WH220402002)
上海交通大学“深蓝计划”基金项目(SL2023MS005)
国家重点研发计划重点专项(2021YFB3202200)。
-
文摘
围绕微纳尺度结构跨尺度动力学建模、动力学分析、动力学控制、动力学设计与测量方法等研究主题,本专刊介绍了微纳尺度结构动力学与控制领域的一些最新研究成果.
-
关键词
微纳尺度结构
跨尺度动力学
器件动力学设计
动力学测试
-
Keywords
micro/nanoscale structures
cross-scale dynamics
device dynamics design
dynamics measurement
-
分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
TB34
[一般工业技术—材料科学与工程]
-
-
题名聚焦离子束在微纳尺度材料力学性能研究中的应用
被引量：6
- 2
-
-
作者
田琳
付琴琴
单智伟
-
机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
-
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013年第12期706-715,751,共11页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(51231005)
国家杰出青年基金(50925104)
-
文摘
微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10 nm到10μm之间(以下简称微纳尺度)的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性:其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到,传统的力学测试工具和方法无法满足对微纳尺度材料进行测试的要求,微纳尺度材料通常在多场耦合条件下服役。这些特性要求研究工作者持续不断地寻找和研发新的工具以期实现对微纳尺度材料的可控制备,高通量观测、操控和定量测量。双束聚焦离子束技术不仅因具有纳米级的空间分辨率而具备对微纳尺度材料的高质量成像和动态监测,而且具备纳米分辨率的定点刻蚀、诱导沉积等功能。因此,双束聚焦离子束成为研究微纳尺度材料力学性能的有力工具。综述了近年来聚焦离子束技术在微纳尺度材料类力学性能研究中的应用,并讨论了其局限性和发展趋势。
-
关键词
聚焦离子束
纳米力学
微纳尺度
样品加工
-
Keywords
focused Ion beam
micro/nanomaterials
mechanical properties
micro-fabrication
-
分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
-
-
题名FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍
被引量：23
- 3
-
-
作者
付琴琴
单智伟
-
机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
-
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第1期81-89,共9页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
-
文摘
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。
-
关键词
FIB-SEM双束系统
TEM样品制备
微纳尺度力学测试样品制备
三维成像及分析
-
Keywords
FIB-SEM dual-beam system
TEM sample preparation
micro and nano-scale mechanical test sample preparaiton
three-dimensional characterization
-
分类号
TH83
[机械工程—精密仪器及机械]
-
