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集成Ti/TiO_(2)敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器 被引量:2
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作者 黄旭东 张井合 +4 位作者 胡凯凯 蒋晨星 王振宇 郜晚蕾 金庆辉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期250-256,263,共8页
常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏... 常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏感电极。采用电化学氯化的方法对银电极进行阳极氯化,再将饱和KCl溶液(3 mol/L)注入参比槽制成Ag/AgCl参比电极。铂电阻丝作为测温元件用于对pH值进行校准,电阻灵敏度约为14.21Ω/℃。在室温下、溶液温度为(13±1)℃时,测试芯片在不同pH值(4~10)溶液中的电压。通过线性分析得到传感器的分辨率约为17.92 mV/pH。控制溶液温度不变,对芯片在不同pH值(4.00、6.00、8.00和10.00)溶液中的电压进行测试,并得到该温度下的传感器分辨率。在不同溶液温度下对传感器的分辨率进行测试。测得不同溶液温度(25、20、15和10℃)下传感器的分辨率分别为28.31、23.45、19.33和13.62 mV/pH。通过温度补偿公式对pH值进行校准,计算得到的理论pH值与实际测量值的偏差≤0.25。传感器芯片具有体积小且易于集成的特点,可应用于各种水环境的检测。 展开更多
关键词 pH微纳传感器 Ti/TiO_(2)敏感电极 液接式参比电极 集成制造 电化学氧化/氯化
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重金属检测微纳传感器芯片批量制备与测试
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作者 戴金莹 尹加文 +1 位作者 郜晚蕾 金庆辉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期359-364,共6页
设计并制备了一种基于玻璃-硅微纳米结构的重金属检测微纳传感器芯片用于检测铅。传感器芯片集成了Ag/AgCl参比电极、三维金微阵列工作电极、金对电极以及微检测腔。该传感器采用微电子机械系统(MEMS)批量制备工艺,一批次同时制备多片4... 设计并制备了一种基于玻璃-硅微纳米结构的重金属检测微纳传感器芯片用于检测铅。传感器芯片集成了Ag/AgCl参比电极、三维金微阵列工作电极、金对电极以及微检测腔。该传感器采用微电子机械系统(MEMS)批量制备工艺,一批次同时制备多片4英寸(1英寸=2.54 cm)晶圆,而每片晶圆上有20个芯片。在优化的实验条件下,即最优沉积电压为-1 V和最优沉积时间为240 s时,用方波溶出伏安法检测铅离子,信噪比为3时检测限达到0.82μg·L^(-1)。用同一批次制备的传感器,多次测量80μg·L^(-1)的铅离子,其重复性偏差为2.21%~3.35%,表明该新型微纳传感器具有良好的灵敏度和一致性,为水环境监测中大量布设重金属检测传感器节点提供了技术方案。 展开更多
关键词 米通道 微纳传感器 铅离子检测 三维阵列 检测腔 批量制备
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基于微纳传感器的复合材料单搭接结构循环载荷的监测
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作者 张东旭 吕伟 +3 位作者 卢少微 马克明 王晓强 马子昂 《沈阳航空航天大学学报》 2021年第2期35-43,共9页
为研究玻璃纤维复合材料单搭接结构搭接区域的应力情况以及搭接件不同位置残余应力情况,使用多壁碳纳米管(MWCNT)薄膜和类石墨烯/油墨(MXene/ink)两种微纳传感器实现对单向玻璃纤维复合材料单搭接结构在3、4.5和6 kN 3种不同循环载荷和... 为研究玻璃纤维复合材料单搭接结构搭接区域的应力情况以及搭接件不同位置残余应力情况,使用多壁碳纳米管(MWCNT)薄膜和类石墨烯/油墨(MXene/ink)两种微纳传感器实现对单向玻璃纤维复合材料单搭接结构在3、4.5和6 kN 3种不同循环载荷和0.1、1 mm/min 2种加载速率下加载情况的实时监测。结果表明,在循环载荷过程中,玻璃纤维复合材料单搭接结构搭接面的中部区域剪切应力比边缘的要大;试件上的残余应力会随着循环载荷的加载进程逐渐减小;两种传感器具有监测复材试件残余应力的潜力。 展开更多
关键词 微纳传感器 循环载荷 搭接结构 加载速率 复合材料
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可检测有害气体的微纳电离型传感器的研究 被引量:1
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作者 秦冲 《电子器件》 CAS 2024年第1期84-89,共6页
有害气体浓度超标无时无刻不影响着经济效益和人类生命财产安全。为了准确测出这些有害气体的浓度,提出了一种新型检测技术,该技术通过对微纳电离型传感器的设计和制造实现。在室温常压、相对湿度70%的实验条件对多个浓度的苯、甲苯气... 有害气体浓度超标无时无刻不影响着经济效益和人类生命财产安全。为了准确测出这些有害气体的浓度,提出了一种新型检测技术,该技术通过对微纳电离型传感器的设计和制造实现。在室温常压、相对湿度70%的实验条件对多个浓度的苯、甲苯气体展开了测试,并基于特征噪声强度识别气体的浓度,构建了对应的识别模型。实验结果表明:传感器对有害气体检测时测量值和真实值的拟合度可达99%以上,体现了较高的检测精度,且在检测有害气体时传感器处于可逆电离平衡状态,重复性良好,不需要进行预热、安全无毒,因此适合于应用到苯类气体的检测中,能够满足效率、精度的要求,具备了一定的实用性。 展开更多
关键词 有害气体 甲苯 电离传感器 重复性
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多参量微纳集成传感器 被引量:1
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作者 宋金龙 何常德 +2 位作者 王任鑫 薛晨阳 张文栋 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第2期119-125,共7页
为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个... 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个梁悬挂在边框上。为了减小集成传感器的面积,铂电阻温度传感器的形状为"蛇"形。对所设计的多参量微纳传感器进行了流片加工和性能测试,铂电阻温度传感器的灵敏度为1.04 mV/℃,量程为-20~80℃,振动传感器的灵敏度为49.89 mV/g,灵敏度幅值线性度为-0.33%,量程为50g。实验结果表明,研制的多参量微纳集成传感器满足对振动和温度信号测量的需求。 展开更多
关键词 多参量集成传感器 在线监测在线分析系统 小型化和集成化 压阻式振动传感器 铂电阻温度传感器
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海洋洋流/潜流测量热分布型微纳流速传感器
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作者 车啸婷 贾治森 +3 位作者 王振宇 管轶华 郜晚蕾 金庆辉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第11期1005-1013,共9页
设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术... 设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布型流速传感器,加热和测温电阻均采用铂电阻传感器。传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距分别为1和2 mm,完成了芯片的封装及测试。通过实验与分析得出流速和不同间距测温电阻的电压之间的变化关系曲线。两种不同测温电阻和中心加热电阻间距的传感器,可测量的最大流速分别为265和315 mm/s。 展开更多
关键词 流速传感器 微纳传感器 电子机械系统(MEMS) 热敏电阻 海洋洋流/潜流
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基于微纳电离的有毒有害气体传感器的研究
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作者 饶成明 杜伟略 蒋松昊 《电子器件》 CAS 北大核心 2023年第5期1275-1280,共6页
有害气体浓度超标无时无刻影响着经济效益和人类生命财产安全。为了准确测出这些有害气体的浓度,提出并设计了一种新型检测技术,该技术通过对微纳电离型传感器的设计和制造,展现了较强的抗弯能力及较快的响应-恢复能力。在室温常压、相... 有害气体浓度超标无时无刻影响着经济效益和人类生命财产安全。为了准确测出这些有害气体的浓度,提出并设计了一种新型检测技术,该技术通过对微纳电离型传感器的设计和制造,展现了较强的抗弯能力及较快的响应-恢复能力。在室温常压、相对湿度75%的实验条件对多个浓度的苯、甲苯气体展开了测试,并基于特征噪声强度识别气体的浓度构建了对应的识别模型。实验结果表明:传感器对有害气体检测时测量值和真实值的拟合度可达99%以上,体现了较高的检测精度,且在检测有害气体时传感器处于可逆电离平衡状态,重复性良好,不需要进行预热、安全无毒,因此适合于应用到苯类气体的检测中,能够满足效率、精度的要求,具备了一定的实用性。 展开更多
关键词 甲苯 电离传感器 米管 电流
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基于微纳耦合光纤传感器的模态声发射源线性定位研究 被引量:3
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作者 付文成 刘懿莹 +1 位作者 王霖洁 李凤梅 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期79-88,共10页
微纳耦合光纤由于其抗电磁干扰能力强,制作简单和解调成本低,在声发射检测领域具有良好的应用前景。但将其与模态声发射源定位技术相结合还未有报道。利用微纳耦合光纤传感器,通过S0/A0峰值定位方法和A0/A0阈值定位方法实现了对模态声... 微纳耦合光纤由于其抗电磁干扰能力强,制作简单和解调成本低,在声发射检测领域具有良好的应用前景。但将其与模态声发射源定位技术相结合还未有报道。利用微纳耦合光纤传感器,通过S0/A0峰值定位方法和A0/A0阈值定位方法实现了对模态声发射源的线性定位;分析了Gabor变换时间分辨率对S0/A0定位方法中模态识别准确度的影响规律,和A0/A0定位方法中等值线阈值对定位结果的影响规律;对比讨论了两种定位方式的定位精度、定位范围和定位重复性。本研究对微纳耦合光纤传感器在模态声发射源定位中的实际应用具有积极的指导意义。 展开更多
关键词 耦合光纤传感器 模态声发射 频散特性 线性定位
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采用纳微传感器和单片机对煤矿井下瓦斯浓度实现远程闭环监控 被引量:2
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作者 李海臣 《工矿自动化》 北大核心 2005年第5期21-22,共2页
研制了一种新型的煤矿井下瓦斯远程闭环监控系统。该系统采用单片机和纳微传感器技术,在煤矿井下对瓦斯进行测量监控,有着广阔的推广应用前景。
关键词 矿井 监控系统 瓦斯传感器 传感器 单片机
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High Sensitivity Submicron Scale Temperature Sensor Based on Perovskite Nanoplatelet Lasers
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作者 ZHAO Ruofan TAO Jianxun +7 位作者 XI Yuying CHEN Jiangzhao JI Ting WANG Wenyan WEN Rong CUI Yanxia CHEN Junsheng LI Guohui 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1511-1520,共10页
Submicron scale temperature sensors are crucial for a range of applications,particularly in micro and na-noscale environments.One promising solution involves the use of active whispering gallery mode(WGM)microresonato... Submicron scale temperature sensors are crucial for a range of applications,particularly in micro and na-noscale environments.One promising solution involves the use of active whispering gallery mode(WGM)microresonators.These resonators can be remotely excited and read out using free-space structures,simplifying the process of sensing.In this study,we present a submicron-scale temperature sensor with a remarkable sensitivity up to 185 pm/℃based on a trian-gular MAPbI3 nanoplatelet(NPL)laser.Notably,as temperature changes,the peak wavelength of the laser line shifts lin-early.This unique characteristic allows for precise temperature sensing by tracking the peak wavelength of the NPL laser.The optical modes are confined within the perovskite NPL,which measures just 85 nm in height,due to total internal reflec-tion.Our NPL laser boasts several key features,including a high Q of~2610 and a low laser threshold of about 19.8μJ·cm^(−2).The combination of exceptional sensitivity and ultra-small size makes our WGM device an ideal candidate for integration into systems that demand compact temperature sensors.This advancement paves the way for significant prog-ress in the development of ultrasmall temperature sensors,opening new possibilities across various fields. 展开更多
关键词 temperature sensor submicron scale perovskite nanoplatelet
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一种改进模态声发射源线性定位方法 被引量:3
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作者 魏建林 周阳 +3 位作者 杨晓辉 刘懿莹 张逸凡 付文成 《中国测试》 CAS 北大核心 2020年第11期10-15,共6页
基于微纳耦合光纤传感器(MFCS)的S0A0峰值定位法可以实现对模态声发射源的线性定位,但是定位范围和精度有待提高。首先,针对已有S0A0线性定位方法中计算频率的选择进行改进,不同于之前算法中两种模态采用同一频率,改进后算法是根据S0和A... 基于微纳耦合光纤传感器(MFCS)的S0A0峰值定位法可以实现对模态声发射源的线性定位,但是定位范围和精度有待提高。首先,针对已有S0A0线性定位方法中计算频率的选择进行改进,不同于之前算法中两种模态采用同一频率,改进后算法是根据S0和A0两种模式的最大能量分别选择计算频率。然后,基于改进后的方法进行定位实验,结果表明:与改进前的方法相对比,改进后的S0A0线性定位方法不仅具有较好的重复性,而且将定位范围从5~40 cm增加到5~60 cm,有效的定位角度范围从45°~135°扩大到22.5°~155.5°,同时相对误差也从原来的1.9%~20.9%降低到0.6%~4.65%。定位误差主要来源于Gabor时频变换的时间分辨率,以及实际铝板的群速度曲线与计算所得值之间存在偏差。 展开更多
关键词 耦合光纤传感器 模态声发射 线性定位 对比分析
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