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面向MEMS谐振加速度计灵敏度提升的梯形微杠杆优化研究
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作者 赵文胜 李挺 +2 位作者 李蓉 何江波 周吴 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期11-15,共5页
灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元... 灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元方法建立了梯形微杠杆的优化模型,包含2个步骤:第1步,建立了以支点梁位置及支点梁、输出梁和输入梁的长度为变量的灵敏度优化模型,优化结果使灵敏度达到272.9 Hz/g;第2步,以第1步得到的优化尺寸为基础,对杠杆臂的梯形形状进行优化,使灵敏度提高到302.4 Hz/g。优化得到的单位质量块面积对应的灵敏度达到42.7 Hz/(g·mm^(2)),因此通过梯形微杠杆优化可以在紧凑空间内实现高灵敏度。 展开更多
关键词 机电系统 谐振速度计 梯形杠杆 灵敏度 结构优化
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基于MEMS微加速度计的无视觉传感器防摇控制系统研究 被引量:8
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作者 肖鹏 王冰 《机电工程》 CAS 2005年第1期1-5,共5页
通过建立起重机吊重摆动的数学模型,明确吊重摆角与小车运行加减速之间的关系, 并将MEMS微加速度计应用到起重机的防摇控制中,建立闭环控制系统,适时根据吊重摆角大小 修正小车速度指令,实现防摇控制。实验证明,这种方法简单、经济... 通过建立起重机吊重摆动的数学模型,明确吊重摆角与小车运行加减速之间的关系, 并将MEMS微加速度计应用到起重机的防摇控制中,建立闭环控制系统,适时根据吊重摆角大小 修正小车速度指令,实现防摇控制。实验证明,这种方法简单、经济,不需要安装视觉传感器测量吊 重摆角,可以有效地消除载荷的摇动。 展开更多
关键词 起重机 防摇控制 机电系统(mems) 速度计 视觉传感器
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基于MEMS加速度计的无陀螺惯导系统 被引量:19
3
作者 岳鹏 史震 +1 位作者 王剑 杨杰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期152-156,共5页
由于MEMS陀螺精度低、漂移大,使得MEMS陀螺和加速度计构成的微惯性导航系统(Micro-INS)的精度很低,导航定位误差发散很快,不能满足载体进行导航定位定姿的要求。而相对MEMS陀螺,MEMS加速度计精度较高,据此提出用MEMS加速度计来构成的无... 由于MEMS陀螺精度低、漂移大,使得MEMS陀螺和加速度计构成的微惯性导航系统(Micro-INS)的精度很低,导航定位误差发散很快,不能满足载体进行导航定位定姿的要求。而相对MEMS陀螺,MEMS加速度计精度较高,据此提出用MEMS加速度计来构成的无陀螺微惯性导航系统(Gyro Free Micro Inertial Navigation System,GFMINS),即通过将高精度的MEMS加速度计安放在载体非质心处,代替陀螺来测量载体角运动信息,实现在短时间内的载体角速度测量精度优于MEMS陀螺的精度,以满足某些短时间运行载体的导航定位定姿要求。最后,针对某型火箭弹的运动模型,对两种惯导系统进行了仿真,结果表明,由误差补偿后MEMS加速度计构成的无陀螺微惯导系统,在100 s内的导航误差等效于传统惯导系统中陀螺漂移0.1(°)/h的误差。 展开更多
关键词 mems 惯导系统 速度计 无陀螺惯导系统 误差补偿
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基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统研究 被引量:5
4
作者 尚晓星 蒋海涛 王传清 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期24-26,29,共4页
研究了一种基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统的实现方法。给出了系统的原理与整体框架,重点阐述了系统的硬件电路和软件的设计。与传统姿态指示系统相比较,该系统体积小,功耗低。试验表明:该系统具有较高的可靠性,可用于需要进行... 研究了一种基于MEMS加速度计的飞行器姿态指示系统的实现方法。给出了系统的原理与整体框架,重点阐述了系统的硬件电路和软件的设计。与传统姿态指示系统相比较,该系统体积小,功耗低。试验表明:该系统具有较高的可靠性,可用于需要进行姿态控制的各类飞行器的姿态指示。 展开更多
关键词 mems速度计 飞行器 姿态指示系统
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基于MEMS加速度计的输入系统的研究 被引量:3
5
作者 钱莉 陈文元 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期639-642,共4页
该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并... 该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并给出了输入系统的第一代实际PCB原型。并且在二维的基础上扩展了微加速度计在三维的应用,设计了一个新的三维模型,并进行了试验的验证。 展开更多
关键词 mems 输入系统 速度计 三维模型
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农业机械导航系统中MEMS加速度计的标定及应用 被引量:1
6
作者 陈瑜 张铁民 《农机化研究》 北大核心 2015年第12期33-37,共5页
MEMS三轴加速度计价格低廉但误差很大,因此在农业机械导航系统应用中需要对其进行测试和标定,以减少系统误差。为此,从工程应用实际出发,根据MEMS三轴加速度计的数学模型设计了加速度计的标定实验。通过静态情况下实验数据分析验证可知... MEMS三轴加速度计价格低廉但误差很大,因此在农业机械导航系统应用中需要对其进行测试和标定,以减少系统误差。为此,从工程应用实际出发,根据MEMS三轴加速度计的数学模型设计了加速度计的标定实验。通过静态情况下实验数据分析验证可知,经过标定后的加速度计输出值误差减小了1个数量级。同时还对MEMS加速度计多个位置测试的输出数据进行验证分析,实验证明:由MEMS加速度计输出值解算出的翻滚角和俯仰角的最大误差从校正前的约4.1°减小到校正后的约0.5°,可为后续精确的姿态角解算和导航应用奠定基础。 展开更多
关键词 农业机械导航系统 mems三轴速度计 标定 数学模型
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非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计
7
作者 张运奎 崔峰 +2 位作者 万镇 刘武 张卫平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第2期90-92,95,共4页
为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波... 为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成,反馈通道由低通滤波和加法电路组成。完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验,实验表明:检测通道的量程约为±6 pF,灵敏度为89.3 mV/pF,线性度为2.59%,满足加速度计检测通道的要求。 展开更多
关键词 机电系统 速度计 差分电容 测控电路 标定
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MEMS加速度计在线快速标定系统设计与实现 被引量:13
8
作者 刘伟 魏婷婷 杨清山 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第12期73-75,共3页
微机电系统(MEMS)加速度计的标定方法主要是利用高精度转台在重力场下进行翻转实验,通过采集存储不同位置下的加速度计输出,利用事后处理的方法得到待标定加速度计的标度因数和零位电压。然而事后处理的方法效率较低,数据处理较繁琐。... 微机电系统(MEMS)加速度计的标定方法主要是利用高精度转台在重力场下进行翻转实验,通过采集存储不同位置下的加速度计输出,利用事后处理的方法得到待标定加速度计的标度因数和零位电压。然而事后处理的方法效率较低,数据处理较繁琐。为了优化标定系统并提高标定效率,提出并设计一种MEMS加速度计在线快速标定系统,通过微控制器实时采集不同位置加速度计数据、处理后并传输至Lab VIEW设计的上位机,最后,实时快速拟合出标定曲线和标定参数,具有一定的工程利用价值。 展开更多
关键词 机电系统(mems)速度计 快速标定拟合 采集传输 系统设计
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基于小波包-神经网络的MEMS加速度计零漂补偿 被引量:7
9
作者 路永乐 潘英俊 +2 位作者 任春华 刘宇 彭慧 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期27-31,共5页
针对微机电系统(MEMS)加速度计零位漂移大的问题,研究了一种基于Birgé-Massert(BM)阈值小波包降噪的广义回归神经网络对MEMS加速度计零位漂移进行非线性抑制的新方法。该方法首先利用BM阈值小波包滤除零位漂移中的噪声,然后利用广... 针对微机电系统(MEMS)加速度计零位漂移大的问题,研究了一种基于Birgé-Massert(BM)阈值小波包降噪的广义回归神经网络对MEMS加速度计零位漂移进行非线性抑制的新方法。该方法首先利用BM阈值小波包滤除零位漂移中的噪声,然后利用广义回归网络对非线性数据的无限逼近原理,来建立MEMS加速度计的零漂模型。将实测数据代入模型,计算结果表明,经过该模型补偿后的零漂输出结果同未经补偿、最小二乘拟合补偿、未经滤波建模补偿相比,均值分别减小97.4%、67.8%、67.8%,均方差分别减小87.4%、87.5%、90.9%;利用训练后的模型进行实时补偿延迟时间为10-5 s。分析结果证明了基于BM阈值小波包降噪滤波技术的广义回归网络组合模型的有效性和合理性。 展开更多
关键词 机电系统(mems)速度计 小波包 广义回归网络 非线性建模 零位漂移
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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计 被引量:6
10
作者 刘民杰 刘云峰 +1 位作者 董景新 赵常德 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第2期236-239,共4页
介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS... 介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。 展开更多
关键词 mems速度计 通用电容读取芯片 MS3110 闭环系统
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四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析 被引量:4
11
作者 刘晓为 刘云涛 +1 位作者 姜一鸣 尹亮 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期38-41,共4页
为了降低Sigma-Delta(ΣΔ)微机械加速度计量化噪声,提高系统分辨率,完成了一种单环四阶ΣΔ微加速度计的分析与设计,建立了系统的线性模型,并在此基础上,采用根轨迹法分析了系统稳定性.理论分析表明所建立的四阶ΣΔ微加速度计系统在... 为了降低Sigma-Delta(ΣΔ)微机械加速度计量化噪声,提高系统分辨率,完成了一种单环四阶ΣΔ微加速度计的分析与设计,建立了系统的线性模型,并在此基础上,采用根轨迹法分析了系统稳定性.理论分析表明所建立的四阶ΣΔ微加速度计系统在噪声特性、死区、空闲音方面都具有优良的特性.在系统级的分析与讨论基础上,实现了传感器接口电路晶体管级的设计,该电路采用0.5μm 2层多晶2层金属CMOS工艺流片,系统测试结果表明该加速度计灵敏度为1.2 V/g,非线性度为0.2%,开环噪声密度12μg/Hz1/2,闭环噪声密度80μg/Hz1/2,整体功耗为40 mW. 展开更多
关键词 速度计 SIGMA-DELTA 系统 稳定性
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自适应MEMS加速度计滤波算法 被引量:14
12
作者 赵阳 娄小平 +1 位作者 刘锋 李伟仙 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第11期120-122,127,共4页
简要分析了微机电系统(MEMS)加速度计使用模型中的噪声来源,介绍了一种自适应平滑滤波器的设计方法,通过增设滤波阈值来调节滤波系数,实现了对MEMS加速度数据的动态降噪处理。实验结果表明:自适应平滑滤波器能有效抑制加速度计输出信号... 简要分析了微机电系统(MEMS)加速度计使用模型中的噪声来源,介绍了一种自适应平滑滤波器的设计方法,通过增设滤波阈值来调节滤波系数,实现了对MEMS加速度数据的动态降噪处理。实验结果表明:自适应平滑滤波器能有效抑制加速度计输出信号中的高频噪声,滤波前噪声信号均方根误差为2.32×10^(-5)m/s^2,经过滤波后,噪声信号均方根误差为4.79×10^(-7)m/s^2,提高了加速度计的测量精度,取得了良好的滤波效果。 展开更多
关键词 机电系统(mems)速度计 自适应平滑滤波器 滤波系数 动态降噪
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MEMS加速度计混合误差标定补偿方案 被引量:10
13
作者 刘宇 余跃 +2 位作者 路永乐 邸克 郭俊启 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期589-593,共5页
针对微机电系统(MEMS)加速度计在实际使用过程中存在非正交零偏误差和温度漂移误差的问题,提出了一种混合误差标定补偿算法。算法通过分析加速度计温度与误差的关系,在不同温度区间下建立加速度计输出的误差模型,在每个温度区间采用十... 针对微机电系统(MEMS)加速度计在实际使用过程中存在非正交零偏误差和温度漂移误差的问题,提出了一种混合误差标定补偿算法。算法通过分析加速度计温度与误差的关系,在不同温度区间下建立加速度计输出的误差模型,在每个温度区间采用十二位置校准法对加速度计的非正交零偏误差进行标定补偿,得到精确的零偏和刻度因子,同时采用最小二乘法拟合零偏和刻度因子与温度的一维关系函数,最终实现不同温度区间下的动态误差补偿。实验结果表明,本算法可使加速度计输出的精度提高1个数量级,补偿效果明显。 展开更多
关键词 机电系统(mems)速度计 十二位置校准 最小二乘法 温度区间 动态误差补偿
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一种电容式闭环微加速度计系统 被引量:2
14
作者 陈伟平 王天阳 +3 位作者 尹亮 陈晓亮 郭玉刚 刘晓为 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1720-1723,共4页
为了提高闭环微加速度传感器的性能,对反馈系统实现更好的控制作用,引入了PID控制器,并建立了闭环系统数学模型,分析了系统的传输函数.利用SIMLINK对该模型进行了仿真分析,结果表明PID控制器很好的改善了系统的阻尼,减小了系统的响应时... 为了提高闭环微加速度传感器的性能,对反馈系统实现更好的控制作用,引入了PID控制器,并建立了闭环系统数学模型,分析了系统的传输函数.利用SIMLINK对该模型进行了仿真分析,结果表明PID控制器很好的改善了系统的阻尼,减小了系统的响应时间和调节时间.通过实验得到阶跃响应波形,证明PID控制的引入可以大大提高系统性能。 展开更多
关键词 mems 速度计 闭环系统 PID控制器
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侵彻武器用MEMS大g值加速度计 被引量:10
15
作者 屈新芬 苏伟 《兵工自动化》 2002年第3期7-10,共4页
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,... 侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,1个作检测电容,1个作参考电容,将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而实现。该加速度计由结构单元和信号处理电路组成。实验结果表明,尚需对2组成部分进一步集成,对机械静电阻尼进行优化,对封装深入研究。 展开更多
关键词 侵彻武器 mems 大g值速度计 电容传感器 机电系统
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Sigma-Delta微加速度计非理想因素建模与系统级设计 被引量:2
16
作者 刘云涛 王颖 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1532-1537,共6页
为了简化Sigma-Delta(ΣΔ)微加速度计接口电路晶体管级的仿真和优化,建立了系统中的非理想因素模型,并在此基础上完成了一种单环结构的ΣΔ微加速度计的系统级设计。分析了敏感结构中固定极板运动、时钟抖动、开关热噪声、运算放大器... 为了简化Sigma-Delta(ΣΔ)微加速度计接口电路晶体管级的仿真和优化,建立了系统中的非理想因素模型,并在此基础上完成了一种单环结构的ΣΔ微加速度计的系统级设计。分析了敏感结构中固定极板运动、时钟抖动、开关热噪声、运算放大器噪声等非理想因素对系统的影响,并分别建立了Simulink模型。基于所建模型,设计了一种ΣΔ微加速度计的精确的Simulink模型。系统级仿真结果表明:二阶系统的信号-噪声-谐波失真比(SNDR)为70.1dB,有效位(ENOB)为11.36位,四阶系统的SNDR为92.7dB,ENOB为15.7位。对比于晶体管级仿真结果,基于本文所建立的非理想因素模型的系统仿真可以准确地表述出系统性能,同时大大缩短了仿真时间,简化了传感器设计中的参数优化过程。 展开更多
关键词 速度计 SIGMA-DELTA 系统级建模 非理想因素
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基于自适应遗传算法的MEMS加速度计快速标定方法 被引量:13
17
作者 高爽 张若愚 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1982-1989,共8页
微惯性测量单元(MIMU)的标定技术是低精度惯性导航领域中的重要研究方向,传统标定方法操作复杂,标定精度严重依赖转台精度。为解决大批量MIMU快速标定的问题,提出了一种基于自适应遗传算法(GA)的微机电系统(MEMS)加速度计快速标定方法,... 微惯性测量单元(MIMU)的标定技术是低精度惯性导航领域中的重要研究方向,传统标定方法操作复杂,标定精度严重依赖转台精度。为解决大批量MIMU快速标定的问题,提出了一种基于自适应遗传算法(GA)的微机电系统(MEMS)加速度计快速标定方法,将加速度计标定问题转化为参数优化问题。首先,利用模观测原理构造目标优化函数;然后,分析系统可观测度确定最优标定编排方案;最后,采用全局搜索的自适应遗传算法优化标定参数。实验结果表明:与牛顿迭代法相比,标定精度提升1~3个数量级,运算速度提高61%。标定后解算的水平姿态角误差小于0. 1°,可实现与传统标定方法相同量级的姿态精度,验证了所提方法的优越性和实用性。 展开更多
关键词 机电系统(mems) 速度计 遗传算法(GA) 模观测 标定 可观测度分析
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基于交流反馈的电容式加速度计闭环数字系统
18
作者 汤浙 丁徐锴 黄丽斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第10期27-31,50,共6页
针对加速度计系统中普遍存在的信号零偏漂移与低频噪声,文中采用一种基于交流反馈的闭环系统,结合结构参数和电路参数,对加速度计系统进行仿真,设计FPGA数字电路。搭建模拟直流反馈与数字交流反馈的闭环系统测试平台,在相同环境下进行... 针对加速度计系统中普遍存在的信号零偏漂移与低频噪声,文中采用一种基于交流反馈的闭环系统,结合结构参数和电路参数,对加速度计系统进行仿真,设计FPGA数字电路。搭建模拟直流反馈与数字交流反馈的闭环系统测试平台,在相同环境下进行对比实验。实验结果表明:交流反馈相较于直流反馈信号输出零偏稳定性与噪声水平改善约45%,产生了较好的效果。 展开更多
关键词 速度计 闭环系统 交流反馈 噪声水平
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新型车载MEMS加速度计的设计及性能优化 被引量:11
19
作者 李玲聪 张伟 张学松 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期14-16,20,共4页
为了能够实时检测车辆的姿态,设计了一种基于单片机(MSC1214)的MEMS加速度计。前端敏感元件感知加速度,由数字电路提取信号和输出,采用硬件均值滤波和软件卡尔曼滤波有效滤除随机噪声,提高信号曲线的平滑度及响应速度。针对零偏问题设... 为了能够实时检测车辆的姿态,设计了一种基于单片机(MSC1214)的MEMS加速度计。前端敏感元件感知加速度,由数字电路提取信号和输出,采用硬件均值滤波和软件卡尔曼滤波有效滤除随机噪声,提高信号曲线的平滑度及响应速度。针对零偏问题设计了软件消除零位误差算法,有效地减少零偏,数字输出收敛时间缩短了约16倍。针对系统零位漂移问题,设计了软件算法进行跟踪,有效地抑制了零位随时间的漂移问题。经过测试,加速度计能够实现载体在-60^+60 g n范围内的线加速度测量,滤波后的数字输出稳定性提高了8.77倍,并满足线性度≤1%FS。 展开更多
关键词 机电系统(mems)速度计 卡尔曼滤波 零位漂移抑制 线速度
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基于PSO优化SVM的MEMS加速度计温度补偿方法研究 被引量:1
20
作者 刘滔 徐大诚 赵鹤鸣 《现代电子技术》 北大核心 2018年第10期58-62,66,共6页
温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明,... 温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明,补偿后加速度计的标度因数温度系数、全温零偏极差、非线性度分别由补偿前的264 ppm/℃,71.98 mg,2.07%降低到105 ppm/℃,10.31 mg,0.25%,可见补偿后加速度计的性能得到比较明显的改进,能证明该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 mems速度计 扭摆式硅速度计 粒子群优化算法 自适应权重 支持向量机 温度补偿
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