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LIGA技术进展
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1
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作者
陈迪
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期57-58,共2页
ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先...
ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯...
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关键词
LIGA技术
三维微器件
微电铸
同步辐射光源
微米纳米科学
技术进展
光刻胶
掩模板
微加速度传感器
深度光刻
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题名
LIGA技术进展
被引量：
1
1
作者
陈迪
机构
上海交通大学信息存储研究中心
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期57-58,共2页
文摘
ＬＩＧＡ技术进展陈迪（上海交通大学信息存储研究中心）ＬＩＧＡ是德文Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ和Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ三个词的缩写，是由Ｘ光深度光刻、微电铸和微塑铸三个工艺组成的制造三维微器件的先进制造技术。８０年代初由德国卡尔斯...
关键词
LIGA技术
三维微器件
微电铸
同步辐射光源
微米纳米科学
技术进展
光刻胶
掩模板
微加速度传感器
深度光刻
分类号
TH70 [机械工程—精密仪器及机械]
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1
LIGA技术进展
陈迪
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
1
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