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热丝化学气相沉积法制备优质微米亚微米级单晶金刚石的研究被引量：1: 1; 作者张韬沈彬 +1 位作者孙方宏张志明《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第6期7-11,共5页; 利用热丝化学气相沉积法(HFCVD),在硅片衬底上进行微米级(>1μm)及亚微米级(<1μm)单晶金刚石的沉积研究。微米级金刚石是以高温高压法(HPHT)制备的1μm金刚石颗粒为籽晶,通过甩胶布晶的方法,在衬底上均匀分布晶种,并通过合理控... 展开更多; 关键词热丝化学气相沉积法微米级单晶金刚石沉积参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

热丝化学气相沉积法制备单晶金刚石的试验研究: 2; 作者张川刘栋栋 +1 位作者陆明孙方宏《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第3期279-285,F0003,共8页; 热丝化学气相沉积法沉积区域可达12英寸(30.48 cm),其具备大批量生产单晶金刚石的潜力。采用尺寸为3 mm×3 mm×1 mm,(100)取向的单晶金刚石为基体,利用热丝化学气相沉积法以甲烷和氢气为前驱体,同时通入少量氮气进行同质外延... 展开更多; 关键词热丝化学气相沉积法单晶金刚石工艺参数优化氮气掺杂; 在线阅读下载PDF 职称材料

CVD单晶金刚石的研究进展被引量：6: 3; 作者吴超马志斌 +1 位作者严垒高攀《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第1期57-63,共7页; 化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。近年来,MPCVD合成单晶金刚石在质量、速率、尺寸以及应... 展开更多; 关键词化学气相沉积单晶金刚石生长参数研究成果; 在线阅读下载PDF 职称材料

磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：5: 4; 作者王进 Sunny C.H.Kwok +3 位作者陈俊英杨萍黄楠 P.K.Chu 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期123-126,共4页; 应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DLC薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种... 展开更多; 关键词类金刚石薄膜磷掺杂性能研究等离子体浸没离子注入 DLC薄膜 diamond 制备 carbon 界面张力衰减全反射血小板粘附血液相容性沉积方法 like 俄歇能谱元素形成伸缩振动分析结果红外光谱水接触角薄膜表面微米级; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热丝化学气相沉积法制备优质微米亚微米级单晶金刚石的研究被引量：1: 1; 作者张韬沈彬孙方宏张志明; 机构上海交通大学机械与动力工程学院上海交友钻石涂层有限公司; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第6期7-11,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(NO.50975177 NO.51005154); 文摘利用热丝化学气相沉积法(HFCVD),在硅片衬底上进行微米级(>1μm)及亚微米级(<1μm)单晶金刚石的沉积研究。微米级金刚石是以高温高压法(HPHT)制备的1μm金刚石颗粒为籽晶,通过甩胶布晶的方法,在衬底上均匀分布晶种,并通过合理控制沉积工艺参数,在衬底上形成晶形完好的单晶金刚石。在沉积2 h后,可消除原HPHT籽晶缺陷,沉积6 h后,生长出晶形良好的立方八面体金刚石颗粒(约4μm);对于亚微米级单晶金刚石,是直接在衬底上进行合成,通过调控沉积参数(如衬底预处理方法,偏流大小,沉积时间)对单晶金刚石的分布密度和颗粒度进行控制,经过2 h的沉积,最终获得了0.7μm的二十面体单晶金刚石。; 关键词热丝化学气相沉积法微米级单晶金刚石沉积参数; Keywords hot filament chemical vapor deposition micro/submicro single crystal diamonds deposition parameters; 分类号 TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热丝化学气相沉积法制备单晶金刚石的试验研究: 2; 作者张川刘栋栋陆明孙方宏; 机构上海交通大学机械与动力工程学院; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第3期279-285,F0003,共8页; 基金国家自然科学基金项目“基于陶瓷中间过渡层的梯度渐变超纳米金刚石复合涂层制备新技术与应用基础研究”(项目编号:52175424); 文摘热丝化学气相沉积法沉积区域可达12英寸(30.48 cm),其具备大批量生产单晶金刚石的潜力。采用尺寸为3 mm×3 mm×1 mm,(100)取向的单晶金刚石为基体,利用热丝化学气相沉积法以甲烷和氢气为前驱体,同时通入少量氮气进行同质外延生长。结果表明,在热丝温度为2200℃、碳源浓度为4%、腔体气压为4 kPa的条件下,单晶金刚石以3.41μm/h的速度生长,表面无多晶、破口、孔洞等缺陷;外延层X射线衍射光谱在(400)面处峰值的半高宽为0.11°,低于基体的半高宽0.16°,证明外延层具有较高的晶体质量;氮气的引入可以提升单晶金刚石的生长速度,同时降低外延层的晶体质量,较高的氮气浓度还会使得单晶金刚石的生长模式转为岛状生长。; 关键词热丝化学气相沉积法单晶金刚石工艺参数优化氮气掺杂; Keywords hot filament chemical vapor deposition single crystal diamond optimization of deposition parameters nitrogen doping; 分类号 TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名CVD单晶金刚石的研究进展被引量：6: 3; 作者吴超马志斌严垒高攀; 机构武汉工程大学材料科学与工程学院; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第1期57-63,共7页; 基金国家自然科学基金项目(10875093); 文摘化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。近年来,MPCVD合成单晶金刚石在质量、速率、尺寸以及应用上取得了重大的进展,但是目前仍然有一个问题需要解决,即如何在保证质量的前提下大幅度提高单晶金刚石的生长速率。本文对CVD单晶金刚石过程中衬底的选择、表面加工与处理、基座的结构和沉积参数的选择进行了详细评述,并简要介绍了CVD单晶金刚石国内外研发成果。; 关键词化学气相沉积单晶金刚石生长参数研究成果; Keywords chemical vapor deposition （CVD） single crystal diamond growth parameter achievement; 分类号 TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：5: 4; 作者王进 Sunny C.H.Kwok 陈俊英杨萍黄楠 P.K.Chu; 机构西南交通大学材料科学与工程学院香港城市大学物理与材料系; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期123-126,共4页; 基金国家自然科学基金(No.50203011和No.30270392)资助; 文摘应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DLC薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种元素形成的化合物,衰减全反射傅里叶红外光谱(ATR-FTIR)的分析结果显示存在P-O-P和P-P-C的非对称伸缩振动。掺杂表面表现出强烈的亲水性(水接触角为16.9°),体外血小板粘附实验结果显示,P掺杂DLC薄膜表面粘附的血小板少且变形小,表现出的血液相容性优于热解碳和未改性DLCo。P-doped DLC薄膜与水的界面张力为2.7 nJ/cm2,具有较理想的接近于血细胞的界面张力,因此与血液保持了较高的相容性。; 关键词类金刚石薄膜磷掺杂性能研究等离子体浸没离子注入 DLC薄膜 diamond 制备 carbon 界面张力衰减全反射血小板粘附血液相容性沉积方法 like 俄歇能谱元素形成伸缩振动分析结果红外光谱水接触角薄膜表面微米级; Keywords Blood Deposition Ion implantation Mechanical properties Microstructure Phosphorus Plasmas; 分类号 TQ174.756 [化学工程—陶瓷工业] TN304.18 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	热丝化学气相沉积法制备优质微米亚微米级单晶金刚石的研究	张韬沈彬孙方宏张志明	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	热丝化学气相沉积法制备单晶金刚石的试验研究	张川刘栋栋陆明孙方宏	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	CVD单晶金刚石的研究进展	吴超马志斌严垒高攀	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS	2014	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究	王进 Sunny C.H.Kwok 陈俊英杨萍黄楠 P.K.Chu	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料