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题名基于氦质谱检漏技术的SiC衬底微管检测设备
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作者
周立平
刘慧强
王琪
李明
张继光
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机构
山西烁科晶体有限公司
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出处
《半导体技术》
2025年第9期972-980,共9页
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基金
国家重点研发计划(2021YEB3601102)。
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文摘
为解决SiC衬底微管缺陷检测精度低、效率差的问题,研制了基于氦质谱检漏技术的SiC衬底微管检测设备。该设备以PFEIFFER公司的ASM 340型检漏仪作为检测核心、西门子S7-1200系列可编程逻辑控制器(PLC)作为控制核心、节卡机器人股份有限公司的JAKA Zu@7型机器人作为自动搬运系统,实现SiC衬底微管缺陷的全自动检测。使用ANSYS Workbench仿真平台对衬底密封结构进行受力分析和计算仿真,以确保衬底在大气压作用下不会碎裂。该设备检测到的漏率最低值为3.0×10^(-10)Pa·m^(3)/s,测试速度为2.5 min/片,均显著优于漏液检测法;重复测试数据偏差小于10%,结果稳定可靠。通过瑕疵微管检测仪和奥林巴斯显微镜对SiC衬底湿法腐蚀前后状态进行检测,发现视觉技术无法准确识别贯穿微管缺陷。该设备可以显著提高SiC衬底微管的检测精度与效率,降低检测成本,对于提升SiC衬底质量具有重要意义。
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关键词
SiC衬底
微管缺陷
氦质谱检漏技术
计算仿真
西门子可编程逻辑控制器(PLC)
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Keywords
SiC substrate
micropipe defect
helium mass spectrometry leak detection technology
computational simulation
Siemens programmable logic controller(PLC)
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分类号
TN307
[电子电信]
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