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微空心阴极维持放电获取大体积放电等离子体的实验研究
被引量：
1
1
作者
何寿杰
李金浩
+3 位作者
李菁
张喜旺
王鹏
李庆
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期1152-1159,共8页
为在高气压下获得稳定的大体积辉光放电等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极获取电子源,引入第2阳极设计为微空心阴极维持放电(MCSD)发生装置,实验研究了微空心阴极维持辉光放电的放电图像、伏安特性曲线以及气压、第1和第...
为在高气压下获得稳定的大体积辉光放电等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极获取电子源,引入第2阳极设计为微空心阴极维持放电(MCSD)发生装置,实验研究了微空心阴极维持辉光放电的放电图像、伏安特性曲线以及气压、第1和第2阳极间距以及第2阳极偏置电压对MCSD放电特性的影响。在此实验条件下可以获得长度为3~5 cm,体积高于10 cm^(3),电子数密度为10^(11)cm^(-3)量级的辉光放电等离子体。实验结果表明,随着阴极电流的增加,源自MHCD和第2阳极方向的辉光放电逐渐向放电轴向中心处汇聚,并最终形成MCSD放电。MCSD的形成为MHCD放电与第2阳极辉区放电相互作用的过程。MCSD放电中存在明显的迟滞效应,MCSD湮灭电流明显小于击穿阈值电流。第2阳极偏置电压对MCSD的击穿阈值的影响较大,但是对湮灭电流的影响较小。第2阳极偏置电压越低,MCSD放电的迟滞效应越明显。
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关键词
微空心阴极维持放电
第2阳极
迟滞效应
大体积等离子体
电子数密度
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职称材料
微空心阴极维持放电的实验研究
被引量：
4
2
作者
夏广庆
Nader Sadeghi
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期21-24,共4页
为在高气压下形成大体积均匀等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极,引入另一阳极而设计为微空心阴极维持放电(MCSD)的发生装置。实验研究了MCSD的产生放电条件,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系发射光谱的方...
为在高气压下形成大体积均匀等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极,引入另一阳极而设计为微空心阴极维持放电(MCSD)的发生装置。实验研究了MCSD的产生放电条件,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系发射光谱的方法测量了MCSD中羽流区不同位置的气体温度。研究表明,当等离子体阴极电流增加到一个临界值(约为0.5～1mA)以后,在等离子体阴极与诱导阳极之间才会出现大体积辉光放电,羽流区气体温度在实验条件下约为500K。MCSD减缓了辉光向弧光的转变,在高气压下可产生稳定的大体积辉光放电。
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关键词
微空心阴极维持放电
气体温度
高气压辉光
放电
光学发射光谱
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职称材料
新颖的微空心阴极放电及其性质研究
3
作者
江超
王又青
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期10-12,共3页
介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了—种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成“微空心阴极维持的辉光放电”,MHCD作为放电的阴极,金属针作为放电的阳极。利用该...
介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了—种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成“微空心阴极维持的辉光放电”,MHCD作为放电的阴极,金属针作为放电的阳极。利用该放电结构进行了空气的放电实验,产生了高气压大体积高电流密度的辉光放电等离子体,用于工业上的多种等离子体加工中;如果用稀有气体放电则能够用来作为微型准分子激光器的增益介质。在200Torr气压下,获得了稳定的空气直流放电,等离子体中电子密度估计在1011到1012cm-3之间,测得放电电流范围;8mA-30mA。测得放电V-I特性曲线,它有典型的微空心阴极维持的辉光放电的特点.估计的气体放电温度为2000K左右。
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关键词
气体
放电
微
空心
阴极
放电
微
空心
阴极
维持
的辉光
放电
电子密度
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职称材料
题名
微空心阴极维持放电获取大体积放电等离子体的实验研究
被引量：
1
1
作者
何寿杰
李金浩
李菁
张喜旺
王鹏
李庆
机构
河北大学物理科学与技术学院
河北大学生命科学与绿色发展研究院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期1152-1159,共8页
基金
国家自然科学基金(51777051)
河北省高等学校科学研究项目(ZD2020197)
河北大学大学生创新资助项目(2020218)。
文摘
为在高气压下获得稳定的大体积辉光放电等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极获取电子源,引入第2阳极设计为微空心阴极维持放电(MCSD)发生装置,实验研究了微空心阴极维持辉光放电的放电图像、伏安特性曲线以及气压、第1和第2阳极间距以及第2阳极偏置电压对MCSD放电特性的影响。在此实验条件下可以获得长度为3~5 cm,体积高于10 cm^(3),电子数密度为10^(11)cm^(-3)量级的辉光放电等离子体。实验结果表明,随着阴极电流的增加,源自MHCD和第2阳极方向的辉光放电逐渐向放电轴向中心处汇聚,并最终形成MCSD放电。MCSD的形成为MHCD放电与第2阳极辉区放电相互作用的过程。MCSD放电中存在明显的迟滞效应,MCSD湮灭电流明显小于击穿阈值电流。第2阳极偏置电压对MCSD的击穿阈值的影响较大,但是对湮灭电流的影响较小。第2阳极偏置电压越低,MCSD放电的迟滞效应越明显。
关键词
微空心阴极维持放电
第2阳极
迟滞效应
大体积等离子体
电子数密度
Keywords
micro-hollow cathode sustained discharge
second anode
hysteresis effect
large volume plasma
electron density
分类号
O646.9 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
微空心阴极维持放电的实验研究
被引量：
4
2
作者
夏广庆
Nader Sadeghi
机构
大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室
约瑟夫·傅里叶大学&法国国家科学研究中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期21-24,共4页
基金
辽宁省博士科研启动基金项目(20101020)
大连理工大学引进人才启动基金项目(3014-893309)
国家留学基金委项目([2006]3074)资助
文摘
为在高气压下形成大体积均匀等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极,引入另一阳极而设计为微空心阴极维持放电(MCSD)的发生装置。实验研究了MCSD的产生放电条件,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系发射光谱的方法测量了MCSD中羽流区不同位置的气体温度。研究表明,当等离子体阴极电流增加到一个临界值(约为0.5～1mA)以后,在等离子体阴极与诱导阳极之间才会出现大体积辉光放电,羽流区气体温度在实验条件下约为500K。MCSD减缓了辉光向弧光的转变,在高气压下可产生稳定的大体积辉光放电。
关键词
微空心阴极维持放电
气体温度
高气压辉光
放电
光学发射光谱
Keywords
Micro-hollow cathode sustained discharge（MCSD）
Gas temperature
High pressure glow discharge
Optical emission spectroscopy（OES）
分类号
O461.2 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
新颖的微空心阴极放电及其性质研究
3
作者
江超
王又青
机构
华中科技大学激光技术国家重点实验室
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期10-12,共3页
基金
湖北师范学院一般项目(2003B20)
文摘
介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了—种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成“微空心阴极维持的辉光放电”,MHCD作为放电的阴极,金属针作为放电的阳极。利用该放电结构进行了空气的放电实验,产生了高气压大体积高电流密度的辉光放电等离子体,用于工业上的多种等离子体加工中;如果用稀有气体放电则能够用来作为微型准分子激光器的增益介质。在200Torr气压下,获得了稳定的空气直流放电,等离子体中电子密度估计在1011到1012cm-3之间,测得放电电流范围;8mA-30mA。测得放电V-I特性曲线,它有典型的微空心阴极维持的辉光放电的特点.估计的气体放电温度为2000K左右。
关键词
气体
放电
微
空心
阴极
放电
微
空心
阴极
维持
的辉光
放电
电子密度
Keywords
gas discharge
microhollow cathode discharge
microhollow cathode sustained glow discharge
electron density
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微空心阴极维持放电获取大体积放电等离子体的实验研究
何寿杰
李金浩
李菁
张喜旺
王鹏
李庆
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
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职称材料
2
微空心阴极维持放电的实验研究
夏广庆
Nader Sadeghi
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
新颖的微空心阴极放电及其性质研究
江超
王又青
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
已选择
0
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