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题名微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究
被引量：5
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作者
邱燕飞
王成勇
宋月贤
王军
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机构
广东工业大学机电学院
新南威尔士大学
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2009年第3期32-37,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(504750450)
广东省科技计划国际合作项目(2003C50115)
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文摘
采用微磨料气射流加工技术(MAJM),对普通硅酸盐玻璃进行微流道槽加工。对通过掩膜加工与非掩膜加工效果相比较,得出在掩膜加工过程中,由于磨料的二次反弹冲蚀作用,所加工出的槽,槽壁较陡;在掩膜加工过程中,改变喷射距离、喷射压力、喷嘴移动速度和磨料流量四个加工参数,对加工槽的轮廓、加工过程中的材料去除率、磨料的流量效应进行研究,得出当喷射距离为4 mm,喷射压力为0.5 MPa,喷嘴移动速度为1.0 mm/s,磨料流量为0.117 g/s时,加工效果最好。通过倾斜喷射与掩膜加工相结合,研究了磨料磨粒的二次反弹冲蚀现象,为复杂三维微结构的加工,提供了一种新方法。
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关键词
微磨料空气射流
微流道
掩膜
加工轮廓
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Keywords
micro abrasive jet machining
micro channel
masking
structure profile
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
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