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新型MEMS可变光衰减器的微磁执行器: 1; 作者吴茂松杨春生 +2 位作者茅昕辉赵小林蔡炳初《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第1期26-29,共4页; 探讨了新型可变光衰减器——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器的微磁驱动方式,从理论上分析了微磁执行器设计时应遵从的原理,讨论和设计了微磁执行器的各个参数,新开发了结合使用正胶(AZ-4000系列)和负胶(SU-8系列)的UV-LIGA工艺:在制作... 展开更多; 关键词微磁执行器微机电系统 MEMS 可变光衰减器电感器 VOA; 在线阅读下载PDF 职称材料

多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型被引量：5: 2; 作者方玉明黄庆安李伟华《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期2194-2196,共3页; 本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力磁耦合的缺点 .方... 展开更多; 关键词多级曲折磁芯微梁执行器力-磁耦合宏模型微机械; 在线阅读下载PDF 职称材料

超磁致伸缩微位移执行器的矢量阻抗分析模型被引量：5: 3; 作者贾振元王晓煜王福吉《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期870-877,共8页; 基于线性压磁方程、机电换能方程和阻抗分析理论,建立了超磁致伸缩执行器的矢量阻抗分析模型。模型中将执行器系统的矢量阻抗分为机械导纳和电气阻抗两部分讨论,在机械导纳中引入负载影响,将压磁系数定义为复常数,模拟磁滞效应;在电气... 展开更多; 关键词超磁致伸缩微位移执行器磁滞涡流矢量阻抗; 在线阅读下载PDF 职称材料

三层多级弯曲磁微执行器设计与研究被引量：1: 4; 作者郭永献贾建援 +1 位作者梁丽萍张大兴《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期412-415,共4页; 吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RFMEMS(射频微机电系统)电容式开关改进(或消除)不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究。... 展开更多; 关键词 MEMS 多级弯曲磁微执行器吸合; 在线阅读下载PDF 职称材料

静磁微执行器模型研究进展被引量：1: 5; 作者方玉明李伟华《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期692-696,共5页; 磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景。综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域... 展开更多; 关键词磁微执行器分布参数宏模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型: 6; 作者郄军建方玉明徐琳《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期448-451,共4页; Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复重新建模,工作量大,因而需要一个解析模型。对于平行平板式磁微执行器,给出了详细的漏磁阻模型。将漏磁... 展开更多; 关键词 PULL-IN 磁微执行器漏磁阻耦合场分析有限元法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型MEMS可变光衰减器的微磁执行器: 1; 作者吴茂松杨春生茅昕辉赵小林蔡炳初; 机构上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第1期26-29,共4页; 文摘探讨了新型可变光衰减器——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器的微磁驱动方式,从理论上分析了微磁执行器设计时应遵从的原理,讨论和设计了微磁执行器的各个参数,新开发了结合使用正胶(AZ-4000系列)和负胶(SU-8系列)的UV-LIGA工艺:在制作了光纤定位槽的基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层,涂布正胶,紫外光刻得到电镀模具,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯;在完成下层和中层后,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台,即涂布负胶覆盖较下层结构,光刻开出了通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求。并运用该工艺实现了微磁执行器。; 关键词微磁执行器微机电系统 MEMS 可变光衰减器电感器 VOA; Keywords microelectromechanical system(MEMS) variable optical attenuator actuator inductor; 分类号 TN715 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型被引量：5: 2; 作者方玉明黄庆安李伟华; 机构东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期2194-2196,共3页; 基金国家"8 63"计划项目 (No .2 0 0 2AA431 0 1 0 ) 江苏省高校自然科学研究计划资助项目 (No .0 3KJB51 0 0 89); 文摘本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力磁耦合的缺点 .方程组的复杂程度 (阶数 )与所取的模态阶数相关 .计算结果同实验数据对比表明 ,模型有足够的精度。; 关键词多级曲折磁芯微梁执行器力-磁耦合宏模型微机械; Keywords magnetic microactuator with a multilevel meander force-magnetic coupling mems macromodel cantilever beam; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超磁致伸缩微位移执行器的矢量阻抗分析模型被引量：5: 3; 作者贾振元王晓煜王福吉; 机构大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期870-877,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.50775021) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(No.NCET-04-0265); 文摘基于线性压磁方程、机电换能方程和阻抗分析理论,建立了超磁致伸缩执行器的矢量阻抗分析模型。模型中将执行器系统的矢量阻抗分为机械导纳和电气阻抗两部分讨论,在机械导纳中引入负载影响,将压磁系数定义为复常数,模拟磁滞效应;在电气阻抗中,通过在求解的超磁致伸缩材料内部磁场引入涡流影响项来模拟系统的非线性特性;两部分之和得出超磁致伸缩微位移执行器系统的矢量阻抗。实验结果显示,模型计算的系统矢量阻抗值与测量值间幅值误差约7%,相位误差约7.7%,表明所建立的模型能够近似描述系统在精密加工场合时的阻抗特性,可为超磁致伸缩微位移执行器的设计、控制和性能优化提供指导。; 关键词超磁致伸缩微位移执行器磁滞涡流矢量阻抗; Keywords Giant Magnetostrictive Micro-displacement Actuator （GMA） hysteresis eddy current vector impedance; 分类号 TH703.27 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三层多级弯曲磁微执行器设计与研究被引量：1: 4; 作者郭永献贾建援梁丽萍张大兴; 机构西安电子科技大学机电工程学院航天长征火箭技术有限公司; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期412-415,共4页; 文摘吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RFMEMS(射频微机电系统)电容式开关改进(或消除)不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究。仿真结果表明:磁动势控制模型中,当所串联的中磁极厚度h1=0时,漏磁阻对临界吸合角度θPI无影响,θPI为系统最大旋转角度θmax的44%,θPI随h1增大而增大,随漏磁阻减小而减小,并且θPI/θmax存在极限值约为0.724;磁通控制模型中无论是否考虑漏磁阻,h1大小对临界吸合角度无影响,θPI/θmax≈0.723。; 关键词 MEMS 多级弯曲磁微执行器吸合; Keywords MEMS multilevel meander magnetic microactuator pull-in; 分类号 O482.5 [理学—固体物理] O441.3 [理学—电磁学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静磁微执行器模型研究进展被引量：1: 5; 作者方玉明李伟华; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期692-696,共5页; 基金国家“863”计划项目(2006AA04z302) 国家自然科学基金项目(60806036) 江苏省高校自然科学研究计划资助项目(08KJB510014); 文摘磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景。综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域,不能通过简单的电-磁类比得到相应的磁微执行器的各类模型。讨论了磁微执行器的各种典型的pull-in模型。这些模型对磁微执行器的设计、分析与优化具有重要的参考和实用价值。; 关键词磁微执行器分布参数宏模型; Keywords magnetostatic microactuators distributed-parameter macromodel; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型: 6; 作者郄军建方玉明徐琳; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期448-451,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60806036) 2010年度江苏省高校"青蓝工程"资助项目; 文摘 Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复重新建模,工作量大,因而需要一个解析模型。对于平行平板式磁微执行器,给出了详细的漏磁阻模型。将漏磁阻的解析式带入到Pull-in方程组中便可得到一对考虑了漏磁影响的Pull-in参数。利用有限元法对器件的Pull-in特性进行了仿真。将考虑漏磁影响的理论值和不考虑漏磁影响的理论值分别与有限元分析结果做对比,结果表明,不考虑漏磁影响时,Pull-in参数的误差随着极板间距的增大而增大。利用漏磁阻模型求出的Pull-in参数具则有良好的精度,并且相对误差不随极板间距的增大而增大。; 关键词 PULL-IN 磁微执行器漏磁阻耦合场分析有限元法; Keywords Pull-in magnetic micro actuator leakage reluctance coupled-field analysis finite element method （FEM）; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型MEMS可变光衰减器的微磁执行器	吴茂松杨春生茅昕辉赵小林蔡炳初	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型	方玉明黄庆安李伟华	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	超磁致伸缩微位移执行器的矢量阻抗分析模型	贾振元王晓煜王福吉	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	三层多级弯曲磁微执行器设计与研究	郭永献贾建援梁丽萍张大兴	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	静磁微执行器模型研究进展	方玉明李伟华	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型	郄军建方玉明徐琳	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料