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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪被引量：17: 1; 作者周连群吴一辉 +3 位作者张平宣明贾宏光李正刚《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期637-642,共6页; 研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验... 展开更多; 关键词微硅片狭缝微小型光纤光谱仪微光机电系统分辨率波长标定公式; 在线阅读下载PDF 职称材料

应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪被引量：7: 2; 作者范玉吴一辉 +3 位作者宣明张平周连群庄须叶《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2724-2729,共6页; 为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。... 展开更多; 关键词阿达玛光谱仪微硅片狭缝阵列光通量阿达玛S型狭缝阵列阿达玛循环S型狭缝阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS技术的微型分光光度计被引量：5: 3; 作者周连群吴一辉 +3 位作者张平宣明李正刚贾宏光《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期990-997,共8页; 研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,... 展开更多; 关键词微硅片对准微硅片狭缝微型分光光度计微小型光纤光谱仪微光机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

阿达玛光谱仪的入射狭缝选择方法研究被引量：2: 4; 作者范玉吴一辉 +3 位作者宣明张平周连群刘永顺《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2581-2585,共5页; 为了确定光谱仪的入射多狭缝结构设计的可靠依据,研究了4种阿达玛S型狭缝阵列发生衍射后的光强分布。采用MEMS加工技术制作出最小狭缝单元为6μm×6μm的一体式微硅片阿达玛狭缝阵列,对3种S7型狭缝和一种S15型狭缝进行比较。首先利... 展开更多; 关键词阿达玛光谱仪微硅片狭缝阵列光通量阿达玛S型阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪被引量：17: 1; 作者周连群吴一辉张平宣明贾宏光李正刚; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期637-642,共6页; 基金国家863MEMS重大专题项目(No.2003AA-3-A19) (No.2004AA404250) 中国科学院二期创新资助项目; 文摘研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。; 关键词微硅片狭缝微小型光纤光谱仪微光机电系统分辨率波长标定公式; Keywords micro-silicon slit mini-fiber-spectrometer MOEMS resolution formula for wavelength calibration; 分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程] O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪被引量：7: 2; 作者范玉吴一辉宣明张平周连群庄须叶; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室中国科学院研究生院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2724-2729,共6页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA042102) 国家863高技术研究发展计划B项目(No.2006AA04Z367) 吉林省科技发展基金资助项目(No.20060335); 文摘为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果。结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪。; 关键词阿达玛光谱仪微硅片狭缝阵列光通量阿达玛S型狭缝阵列阿达玛循环S型狭缝阵列; Keywords Hadamard spectrometer micro-silicon-slit matrice luminous flux Hadamard S slit Hadamard cyclic-S slit; 分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS技术的微型分光光度计被引量：5: 3; 作者周连群吴一辉张平宣明李正刚贾宏光; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期990-997,共8页; 基金国家863MEMS重大专题资助项目(No.2004AA404250) 中国科学院二期创新资助项目; 文摘研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式,并进一步分析因折射率引起光强的变化对吸光度的影响。实验结果表明,该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差0.01介质,同时参比介质的不同仅仅对A-C曲线产生平移,而对相关系数和斜率无任何影响,通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于0.999,说明所研制的基于MEMS技术的微型分光光度计具有高度显著线性相关性。; 关键词微硅片对准微硅片狭缝微型分光光度计微小型光纤光谱仪微光机电系统; Keywords micro-silicon-fixer micro-silicon-slit micro-spectrophotometer mini-fiber-spectrometer MOEMS; 分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程] O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名阿达玛光谱仪的入射狭缝选择方法研究被引量：2: 4; 作者范玉吴一辉宣明张平周连群刘永顺; 机构中国科学院长舂光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2581-2585,共5页; 基金国家(863计划)项目(2007AA042102) 国家(863B计划)项目(2006AA04Z367) 吉林省科技发展技术项目(20060335)资助; 文摘为了确定光谱仪的入射多狭缝结构设计的可靠依据,研究了4种阿达玛S型狭缝阵列发生衍射后的光强分布。采用MEMS加工技术制作出最小狭缝单元为6μm×6μm的一体式微硅片阿达玛狭缝阵列,对3种S7型狭缝和一种S15型狭缝进行比较。首先利用阿达玛矩阵构造狭缝阵列的孔径函数,得到了衍射后的光强分布函数;然后运用Matlab软件对光强分布函数仿真,获得了各种狭缝衍射后的光强分布图及光通量对比。搭建了试验装置进行验证,试验表明实际衍射光强分布及光通量间的比值都与仿真结果相符。最后分析了狭缝结构参数对光强分布的影响,总结了S型狭缝阵列衍射规律。所提出的衍射光强分布方法,为光谱仪中入射狭缝的选择与设计提供了理论依据,为实际应用提供了有价值的参考。; 关键词阿达玛光谱仪微硅片狭缝阵列光通量阿达玛S型阵列; Keywords Hadamard spectrometer Micro-silicon-slits matrices Throughput Hadamard S slits; 分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程] O233.1 [理学—运筹学与控制论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪	周连群吴一辉张平宣明贾宏光李正刚	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	17	在线阅读下载PDF 职称材料
2	应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪	范玉吴一辉宣明张平周连群庄须叶	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于MEMS技术的微型分光光度计	周连群吴一辉张平宣明李正刚贾宏光	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	阿达玛光谱仪的入射狭缝选择方法研究	范玉吴一辉宣明张平周连群刘永顺	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料