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硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计被引量：11: 1; 作者裘安萍苏岩 +1 位作者施芹黄丽斌《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2204-2207,共4页; 提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现I型支点形式的放大倍数略高于II型支点,并采用有限元... 展开更多; 关键词硅微振梁式加速度传感器微杠杆放大倍数; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计被引量：5: 2; 作者王帆董景新 +1 位作者赵淑明严斌《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第2期227-232,共6页; 针对硅微振梁式加速度计输出频率随环境温度漂移的问题,提出了抗温漂的硅微结构设计方法及相关工艺,降低了环境温度对输出的影响,在室温条件即可达到一定精度。通过建立"硅-玻璃"和"玻璃-陶瓷"耦合模型,分析了造成... 展开更多; 关键词硅微振梁式加速度计温度漂移抗温漂耦合设计半粘结封装; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微振梁式加速度计的温度检测及闭环控制被引量：5: 3; 作者王帆董景新赵淑明《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1590-1597,共8页; 为实现硅微振梁式加速度计系统芯片级温度测量及系统闭环,本文针对系统的非惯性结构部分提出了微机电系统(MEMS)结构温度的芯片级测量和闭环控制优化方法。与以温控罩的温度作为参考温度的方法不同,该方法提出了供芯片级温度测量的MEMS... 展开更多; 关键词硅微振梁式加速度计温度测量电容测量闭环控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1: 4; 作者赵江铭杨杰伟 +2 位作者孙俊杰吴晓铃陈晓阳《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1669-1673,共5页; 建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振... 展开更多; 关键词微型机电系统静电硅微多折叠梁谐振器横向振动模型试验研究谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析被引量：1: 5; 作者齐永光孔德义《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第7期9-11,14,共4页; 利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。; 关键词选择性探测痕量爆炸物探测微硅梁微悬臂梁微电子机械系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计被引量：11: 1; 作者裘安萍苏岩施芹黄丽斌; 机构南京理工大学机械工程学院东南大学仪器科学与工程系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2204-2207,共4页; 文摘提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现I型支点形式的放大倍数略高于II型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则.; 关键词硅微振梁式加速度传感器微杠杆放大倍数; Keywords micromechanical Silicon oscillating accelerometer micro leverage amplification factor; 分类号 U666.12 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计被引量：5: 2; 作者王帆董景新赵淑明严斌; 机构清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第2期227-232,共6页; 基金国家十二五预研资助项目(51309020201); 文摘针对硅微振梁式加速度计输出频率随环境温度漂移的问题,提出了抗温漂的硅微结构设计方法及相关工艺,降低了环境温度对输出的影响,在室温条件即可达到一定精度。通过建立"硅-玻璃"和"玻璃-陶瓷"耦合模型,分析了造成硅微振梁式加速度计温度漂移的原因。然后提出了"抗温漂耦合设计"的微结构和"半粘结封装"的封装工艺,降低了耦合模型中的理论温漂。利用加工出的原理样机进行实验,结果显示,采用抗温漂结构设计及封装工艺的原理样机,输出频率的温漂系数为-3.5×10-6/℃,室温下零偏稳定性为72.0μg。实验验证了抗温漂理论的可行性,可以满足室温下高精度硅微振梁式加速度计的设计要求。; 关键词硅微振梁式加速度计温度漂移抗温漂耦合设计半粘结封装; Keywords Accelerometers Design Experiments Glass Polybutadienes Silicon Temperature; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振梁式加速度计的温度检测及闭环控制被引量：5: 3; 作者王帆董景新赵淑明; 机构清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1590-1597,共8页; 基金国家预研基金资助项目(No.9140A09023110JW0102); 文摘为实现硅微振梁式加速度计系统芯片级温度测量及系统闭环,本文针对系统的非惯性结构部分提出了微机电系统(MEMS)结构温度的芯片级测量和闭环控制优化方法。与以温控罩的温度作为参考温度的方法不同,该方法提出了供芯片级温度测量的MEMS结构、工艺及配套电路,通过直接测量MEMS结构的温度完成实时补偿,从而提高了测量精度。该方法在闭环控制的前置电路中应用了二极管电容解调电路,与前期使用的跨阻或者跨导方案相比,对器件的要求从pA级降至nA级。运用时域方法求得二极管电路方案的解析解,提出参数优化设计方法,保证了电容测量输入与输出间的线性关系。最后,采用二阶最优模型对闭环控制的后置电路进行参数优化,控制了上电时间。配合硅微振梁式加速度计原理样机进行了实验。实验结果表明,温度补偿后的零偏稳定性为52.0μg,标度因子稳定性为16.0×10-6,分辨率为34.9μg。这些结果验证了本文理论的可行性。; 关键词硅微振梁式加速度计温度测量电容测量闭环控制; Keywords silicon resonant accelerometer temperature measurement capacitance detection close-loop control; 分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1: 4; 作者赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳; 机构郑州大学上海大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第14期1669-1673,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109) 上海市青年科技启明星计划项目(03QF14019) +1 种基金上海市应用材料研究与发展基金资助项目(AM0420); 文摘建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。; 关键词微型机电系统静电硅微多折叠梁谐振器横向振动模型试验研究谐振频率; Keywords MEMS silicon micro electrostatic resonators with multi--folded--beam suspensions transverse oscillating model experimental study resonance frequency; 分类号 TP112 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析被引量：1: 5; 作者齐永光孔德义; 机构中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第7期9-11,14,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60574093 50534050) 国家"863"计划资助项目(2007AA04Z341); 文摘利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。; 关键词选择性探测痕量爆炸物探测微硅梁微悬臂梁微电子机械系统; Keywords detection selectivity trace explosive detection micro silicon beam microcantilever MEMS; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计	裘安萍苏岩施芹黄丽斌	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	11	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计	王帆董景新赵淑明严斌	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硅微振梁式加速度计的温度检测及闭环控制	王帆董景新赵淑明	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究	赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析	齐永光孔德义	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料