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基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究被引量：5: 1; 作者俞阿龙黄惟一《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-458,共4页; 比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方... 展开更多; 关键词微硅加速度传感器函数连接型神经网络动态补偿遗传算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿被引量：1: 2; 作者姜乃松刘清《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页; 通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数... 展开更多; 关键词计量学微硅加速度传感器动态误差误差白化实时滤波; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计被引量：11: 3; 作者裘安萍苏岩 +1 位作者施芹黄丽斌《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2204-2207,共4页; 提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现I型支点形式的放大倍数略高于II型支点,并采用有限元... 展开更多; 关键词硅微振梁式加速度传感器微杠杆放大倍数; 在线阅读下载PDF 职称材料

压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真被引量：5: 4; 作者隋丽石庚辰《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页; 一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算。; 关键词压阻式硅微加速度传感器结构设计仿真工作原理受力分析灵敏度频率分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

微硅高g加速度传感器工艺研究被引量：1: 5; 作者张中平《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第4期1-3,共3页; 主要介绍在制作一种压阻式微硅高 g(g =9 8m/s2 ,微重力加速度值 )加速度传感器的过程中 ,所遇到的工艺问题及其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合 (SDB)、双面光刻及传感器几何图形的精确控制等关键技术。; 关键词高g加速度计光刻腐蚀键合微硅高g加速度传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械电容式加速度传感器测试电路研究被引量：4: 6; 作者杨苗苗陈德勇 +3 位作者王军波陈健毋正伟陈李《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2421-2424,共4页; 在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路... 展开更多; 关键词硅微加速度传感器微弱电容检测差分检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理: 7; 作者刘丹刘晓明《中国测试技术》 2005年第2期115-117,123,共4页; 测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。; 关键词测高g值的加速度硅微传感器温度补偿 MAX1457 或门信号处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用被引量：2: 8; 作者张铁头李杰《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第5期66-69,共4页; 提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性... 展开更多; 关键词模糊LS-SVM 微硅加速度传感器动态补偿仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1: 9; 作者费龙钟先信 +1 位作者温志渝徐涛《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期223-226,244,共5页; 微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。; 关键词微机械传感器计算机辅助设计敏感元件设计系统微机械结构硅微加速度传感器传感单元数据库工艺条件传感器阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究被引量：5: 1; 作者俞阿龙黄惟一; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-458,共4页; 文摘比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方法不依赖于传感器的动态模型 ,可根据传感器的动态响应数据 ,建立补偿模型 ,采用改进遗传神经网络搜索和优化补偿模型参数 ,既保留了遗传算法的全局搜索能力 ,又具有神经网络的鲁棒性和自学习能力 .介绍补偿原理及算法 ,给出动态补偿网络的数学模型 .结果表明 ,该补偿方法能克服FLNN收敛速度慢、容易陷入局部极小的缺陷 ,具有网络训练速度快、实时性好、良好的全局搜索能力、精度高。; 关键词微硅加速度传感器函数连接型神经网络动态补偿遗传算法; Keywords Dynamics Genetic algorithms Motion compensation Neural networks Silicon; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿被引量：1: 2; 作者姜乃松刘清; 机构南京师范大学计算机科学与技术学院江苏省信息安全技术工程研究中心; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页; 基金基金项目：国家自然科学基金（60474079）; 文摘通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数的无偏估计。补偿器参数的偏差和传感器频带的扩展将会使补偿器的输出信号出现严重失真和高频噪声干扰。为解决噪声对硅加速度传感器的动态补偿的影响，研究了一种新的动态补偿方法，该方法采用误差白化为代价函数的系统辨识方法得到补偿器的参数，可消除补偿器的参数在估计中的测量噪声影响，并通过卡尔曼实时滤波减小因传感器频带扩展所产生的高频噪声干扰。; 关键词计量学微硅加速度传感器动态误差误差白化实时滤波; Keywords Metrology Micro-silicon accelerometer Dynamic error Error whitening Real time filtering; 分类号 TB934 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计被引量：11: 3; 作者裘安萍苏岩施芹黄丽斌; 机构南京理工大学机械工程学院东南大学仪器科学与工程系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2204-2207,共4页; 文摘提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计算公式,发现I型支点形式的放大倍数略高于II型支点,并采用有限元方法进行了仿真;分析了支点刚度以及输出轴刚度对放大倍数的影响;提出了微杠杆结构设计的原则.; 关键词硅微振梁式加速度传感器微杠杆放大倍数; Keywords micromechanical Silicon oscillating accelerometer micro leverage amplification factor; 分类号 U666.12 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真被引量：5: 4; 作者隋丽石庚辰; 机构北京理工大学机电工程学院; 出处《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页; 文摘一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算。; 关键词压阻式硅微加速度传感器结构设计仿真工作原理受力分析灵敏度频率分析; Keywords accelerometer sensitivity resonant frequency cross sensitivity; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微硅高g加速度传感器工艺研究被引量：1: 5; 作者张中平; 机构东南大学微电子中心; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第4期1-3,共3页; 文摘主要介绍在制作一种压阻式微硅高 g(g =9 8m/s2 ,微重力加速度值 )加速度传感器的过程中 ,所遇到的工艺问题及其解决方法。并较详细地叙述了涉及到的键合 (SDB)、双面光刻及传感器几何图形的精确控制等关键技术。; 关键词高g加速度计光刻腐蚀键合微硅高g加速度传感器; Keywords High-g Accelerometer Lithography Etching Silicon Direct Bonding; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械电容式加速度传感器测试电路研究被引量：4: 6; 作者杨苗苗陈德勇王军波陈健毋正伟陈李; 机构中国科学院电子所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2421-2424,共4页; 文摘在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点,并提出了一种微电容检测的改进电路,用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明,微加速度计灵敏度为1.63V/gn,可以检测到10-17F量级的电容值.; 关键词硅微加速度传感器微弱电容检测差分检测; Keywords silicon capacitive accelerometer weak capacitance detection differential measurement; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理: 7; 作者刘丹刘晓明; 机构电子科技大学机械工程学院; 出处《中国测试技术》 2005年第2期115-117,123,共4页; 基金 "十五"军事预研项目 (18 8 1 2 ); 文摘测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。; 关键词测高g值的加速度硅微传感器温度补偿 MAX1457 或门信号处理; Keywords Micro array accelerometer Temperature compensation,MAX1457 Or gate Signal process; 分类号 TP39 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用被引量：2: 8; 作者张铁头李杰; 机构河南职业技术学院信息工程系郑州大学体育学院现代教育技术中心; 出处《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第5期66-69,共4页; 文摘提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性动态补偿过程中易出现的局部极小问题,又减小在标准LS-SVM中一些非主要数据对模型精度的影响,在测试领域中有较好的应用前景。; 关键词模糊LS-SVM 微硅加速度传感器动态补偿仿真; Keywords fuzzy LS-SVM micro-silicon aceelerometer sensors dynamic compensation simulation; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1: 9; 作者费龙钟先信温志渝徐涛; 机构重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期223-226,244,共5页; 基金国家教委博士点基金; 文摘微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。; 关键词微机械传感器计算机辅助设计敏感元件设计系统微机械结构硅微加速度传感器传感单元数据库工艺条件传感器阵列; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究	俞阿龙黄惟一	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿	姜乃松刘清	《计量学报》 CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计	裘安萍苏岩施芹黄丽斌	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	11	在线阅读下载PDF 职称材料
4	压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真	隋丽石庚辰	《探测与控制学报》 CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	微硅高g加速度传感器工艺研究	张中平	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2002	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微机械电容式加速度传感器测试电路研究	杨苗苗陈德勇王军波陈健毋正伟陈李	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理	刘丹刘晓明	《中国测试技术》	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
8	模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用	张铁头李杰	《中国测试》 CAS 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	微机械传感器计算机辅助设计系统	费龙钟先信温志渝徐涛	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1995	1	在线阅读下载PDF 职称材料