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新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制被引量：5: 1; 作者贾书海李以贵 +4 位作者杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1004-1006,共3页; 设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采... 展开更多; 关键词微机电系统微电磁驱动器微细加工光开关; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3: 2; 作者张永华王艳 +3 位作者丁桂甫马骏赵小林蔡炳初《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第12期85-88,共4页; 提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。... 展开更多; 关键词微电子机械系统电磁型微驱动器双稳态有限元法仿真分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型微机电系统光开关研制被引量：2: 3; 作者贾书海赵小林 +3 位作者杨春生张琛蔡炳初冯建智《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1468-1471,共4页; 介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关... 展开更多; 关键词光纤通信光开关微机电系统微电磁驱动器; 在线阅读下载PDF 职称材料

端面摇摆式微型电机研究被引量：2: 4; 作者梁静秋姚劲松《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第4期76-80,共5页; 提出了一种低速大力矩的微型电磁电机———端面摇摆式微型电磁电机。其工作原理为：在旋转电磁力的作用下，电机锥形转子在定子的内锥面上作纯滚动，从而产生输出轴的转动。我们采用精密机械的精细加工技术制作了外径为Φ５ｍｍ电... 展开更多; 关键词端面摇摆微型电磁电机微电磁驱动器; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型的微机械可变式光衰减器: 5; 作者李文军赵小林蔡炳初《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2003年第3期52-55,51,共5页; 介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片 ,使其插入两根准直的单模光纤的间隙中 ,依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用... 展开更多; 关键词微电子机械系统微机械光衰减器电磁微驱动器平面线圈光纤通信波分复用制造工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制被引量：5: 1; 作者贾书海李以贵杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初; 机构上海交通大学微纳米科学与技术研究院; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1004-1006,共3页; 基金中国博士后科学基金资助项目(B3180A) 上海市光科技启动计划资助项目(012261012); 文摘设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。; 关键词微机电系统微电磁驱动器微细加工光开关; Keywords micro-electro-mechanical system (MEMS) electromagnetic micro actuator micro-processing technique optical fiber switch; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析被引量：3: 2; 作者张永华王艳丁桂甫马骏赵小林蔡炳初; 机构上海交通大学微纳科学技术研究院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第12期85-88,共4页; 基金国家"863"计划资助项目(2003AA404140) 国家自然科学基金资助项目(10377009) 教育部科学技术研究重大项目(0307); 文摘提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。通电线圈用来实现器件的姿态转换。对设计的器件进行了电磁仿真分析,验证了器件的双稳态机制,分析表明:铁芯的存在对器件功能有决定性的影响。; 关键词微电子机械系统电磁型微驱动器双稳态有限元法仿真分析; Keywords micro-electro-mechanical systems （MEMS） electromagnetic microactuator bistable finite element method（ FEM ） simulation; 分类号 TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型微机电系统光开关研制被引量：2: 3; 作者贾书海赵小林杨春生张琛蔡炳初冯建智; 机构上海交通大学微纳米技术研究院; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1468-1471,共4页; 基金上海市光科技启动计划资助项目(012261012) 中国博士后基金(B3180A); 文摘介绍了几种新型微机电系统(MEMS)光开关的设计、制造和性能.研制了一种摆动式微电磁驱动器,用其驱动反射镜切入和切出光路.在此基础上,研制了1×2、2×2、1×4和1×8四种典型的MEMS光开关,达到了较好的性能.这些光开关可广泛应用于光纤通信系统.; 关键词光纤通信光开关微机电系统微电磁驱动器; Keywords Design Microactuators Microelectromechanical devices Optical communication; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名端面摇摆式微型电机研究被引量：2: 4; 作者梁静秋姚劲松; 机构中国科学院长春光学精密机械研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第4期76-80,共5页; 基金国家攀登计划 B 资助; 文摘提出了一种低速大力矩的微型电磁电机———端面摇摆式微型电磁电机。其工作原理为：在旋转电磁力的作用下，电机锥形转子在定子的内锥面上作纯滚动，从而产生输出轴的转动。我们采用精密机械的精细加工技术制作了外径为Φ５ｍｍ电机样机。经测试，其转速范围为２０－８６０ｒ／ｍｉｎ，扭矩输出大于１０μ Ｎｍ。实验结果表明，这种微型电机在相同的输入功率下，比同体积的其他电机有更大的力矩输出，因此具有广泛的应用前景。; 关键词端面摇摆微型电磁电机微电磁驱动器; Keywords Top face sway, Micro electromagnet motor, Micro electromagnet drivers; 分类号 TM384 [电气工程—电机]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型的微机械可变式光衰减器: 5; 作者李文军赵小林蔡炳初; 机构上海交通大学信息存储研究中心; 出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2003年第3期52-55,51,共5页; 基金上海市科技发展基金 ( 995 6 14 0 0 3)资助项目。; 文摘介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片 ,使其插入两根准直的单模光纤的间隙中 ,依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器 ,并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明 ,当传输的光波长为 15 5 0nm时 ,该衰减器的平均插入损耗为 2 5dB ,衰减范围为 2 5～ 4 5dB ,回波损耗为 4 0dB。; 关键词微电子机械系统微机械光衰减器电磁微驱动器平面线圈光纤通信波分复用制造工艺; Keywords MEMS, Micro-machine, Variable optical attenuator, Electromagnetic micro-actuator, Planar coil; 分类号 TN929.11 [电子电信—通信与信息系统] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制	贾书海李以贵杨春生赵小林丁桂甫张琛蔡炳初	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析	张永华王艳丁桂甫马骏赵小林蔡炳初	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	新型微机电系统光开关研制	贾书海赵小林杨春生张琛蔡炳初冯建智	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	端面摇摆式微型电机研究	梁静秋姚劲松	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	1999	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种新型的微机械可变式光衰减器	李文军赵小林蔡炳初	《高技术通讯》 EI CAS CSCD	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料