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应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证
1
作者 许鹏 聂靖宇 +1 位作者 王伟忠 李保岭 《微纳电子技术》 2025年第5期80-86,共7页
为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊... 为了延长电动汽车的续航能力,热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数(PTC)热敏电阻空调,应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统(MEMS)压阻式压力芯片,采用无引线倒装焊封装工艺,结合模块化装配的设计思路,开发了一款应用于汽车空调系统的压力温度传感器,并通过仿真手段证明了传感器的结构可靠性。通过对传感器进行测试,传感器的压力精度可以达到全温区±0.5%Vcc(Vcc为传感器供电电压),过载压力可达6 MPa,破裂压力达10 MPa。寿命测试后,传感器的误差范围依旧在±1%Vcc内。同时,传感器通过了功能测试和可靠性测试,应用前景广阔。 展开更多
关键词 热泵空调系统 压力温度传感器 模块化装配 压阻式微电子机械系统(mems) 无引线封装
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一种小体积MEMS传感器数据记录仪
2
作者 尚义航 赵凯明 +1 位作者 段俊萍 张斌珍 《微纳电子技术》 2025年第1期110-117,共8页
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传... 对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。 展开更多
关键词 传感器数据记录仪 微电子机械系统(mems) 小体积 高抗过载 低功耗
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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
3
作者 杨真 陈靖元 +4 位作者 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器
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MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
4
作者 袁婷 许高斌 +2 位作者 关存贺 马渊明 冯建国 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第4期469-474,共6页
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对... 微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对器件可靠性的影响,文章考虑材料的热膨胀系数和温度影响下的杨氏模量,利用COMSOL仿真获得的应力数据建立异质材料间的键合界面应力在不同温度、热膨胀系数和杨氏模量3种因素共同影响下的理论数学模型;并针对MEMS传感器中的硅-玻璃键合界面,基于相关键合强度数据,结合蒙特卡洛方法和应力强度干涉模型计算得到异质材料键合界面的可靠度。结果显示,异质材料键合界面的可靠度为0.992108,表明在服从韦布尔分布下的温度产生的应力不足以引起材料失效,此时器件的稳定性和可靠性较高,验证了所建模型的正确性和实用性,实现了对MEMS传感器退化行为的建模及预测。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性
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基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器
5
作者 解涛 袁宇鹏 李小飞 《微纳电子技术》 2025年第3期74-81,共8页
随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的... 随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的制备。该传感器的性能测试结果表明其具有高分辨率、良好的重复性与一致性,对体积分数低于10%的二氧化碳气体具有优良响应。此外,基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器既具有较强的抗干扰特性,对环境的适应性较强,又具备MEMS传感器体积小、易批量生产的优势。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 集成式 红外型 二氧化碳气体传感器
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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
6
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
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MEMS心音传感器及检测电路优化设计
7
作者 刘佳琦 张国军 +1 位作者 崔建功 史鹏程 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期102-111,共10页
对基于微电子机械系统(MEMS)技术的心音传感器声敏结构进行了优化且设计了其检测电路。首先,针对心音信号的特点,设计了二次集成的扁平状仿生纤毛结构,对该结构进行仿真,确定了纤毛的尺寸参数和梁上最大应力1.2×10^(5) N/m^(2),对... 对基于微电子机械系统(MEMS)技术的心音传感器声敏结构进行了优化且设计了其检测电路。首先,针对心音信号的特点,设计了二次集成的扁平状仿生纤毛结构,对该结构进行仿真,确定了纤毛的尺寸参数和梁上最大应力1.2×10^(5) N/m^(2),对纤毛进行特征频率仿真,在硅油域中结果为711 Hz;其次由扁平状纤毛结构X轴接收噪声时梁上的应力仿真结果可知该结构具有抗干扰能力;最后设计了后端的放大电路和滤波电路并对传感器封装后进行测试。测试结果表明,该结构的信噪比达到了27 dB,较传统的圆柱形纤毛提高了35%,且其抗干扰能力也优于传统的圆柱形纤毛。优化过后的MEMS心音传感器具有抗干扰、低噪声、低成本、采集的信号不失真等优势,可为临床心音信号的采集提供关键核心部件。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems)技术 心音传感器 处理电路 心音信号 信噪比
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MEMS振动传感器快速自动标定系统 被引量：1
8
作者 李博 王娟 沈路 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第7期453-457,共5页
针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用... 针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用振动台、标准传感器、上位机电脑以及后台程序建立了MEMS振动传感器自动标定系统;通过数字编程接口,可以实现振动传感器的自动标定。最后,以中国电子科技集团公司第十三研究所研制MSA1000系列振动传感器作为试验对象,对传感器的偏值、标度因数、幅频及相频特性进行了标定和比对测试,充分验证了此种方法的效果和正确性,有效提高了MEMS振动传感器的标定效率。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 振动传感器 自动标定 静态参数 动态参数
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粒子群优化算法在MEMS压力传感器电桥电阻计算与零偏补偿中的应用
9
作者 王帆 王津津 +1 位作者 王伟忠 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第8期142-149,共8页
采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补... 采用粒子群优化(PSO)算法对微机电系统(MEMS)压力传感器电桥电阻进行了优化设计和验证。基于PSO算法的基本原理,建立电桥参数模型,充分利用冗余的测量数据配置优化条件,通过迭代运算得到了传感器惠斯通电桥电阻数值解,并将其作为零偏补偿的依据。然后根据计算和测试结果进行了零偏补偿,对补偿后结果进行了验证。结果表明,计算输出零偏值与实测输出零偏值之间的相对误差<1%;补偿后传感器的零偏值控制在0.5mV以内,实测零偏满量程误差≤0.1%。研究证明采用该算法模型可有效计算出MEMS压力传感器的电桥电阻参数,基于其计算结果的补偿方案可提升传感器电桥精度。 展开更多
关键词 压力传感器 惠斯通电桥 微机电系统(mems) 粒子群优化(PSO)算法 零偏补偿
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基于MEMS传感器的车辆防侧翻系统研究 被引量：1
10
作者 张昊堃 聂鹏鹏 刘敏丰 《电子科技》 2013年第5期6-8,共3页
车辆侧翻事故对生命财产造成威胁,因此基于MEMS传感器文中设计了一种经济实用的车辆侧翻预警系统。该系统由数据采集模块、中央数据处理单元以及侧翻报警单元构成。中央数据处理单元主要由STM32嵌入式处理器构成。该系统采用嵌入式设计... 车辆侧翻事故对生命财产造成威胁,因此基于MEMS传感器文中设计了一种经济实用的车辆侧翻预警系统。该系统由数据采集模块、中央数据处理单元以及侧翻报警单元构成。中央数据处理单元主要由STM32嵌入式处理器构成。该系统采用嵌入式设计,体积小、功耗低,能实现长时间监测预警。 展开更多
关键词 mems传感器 STM32处理器 侧翻检测 预警系统
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用于海洋三维温度场监测的MEMS温压一体式传感器
11
作者 曹书野 张弛 +4 位作者 和欣 黄健 周继明 吴梦希 刘军山 《微纳电子技术》 CAS 2024年第10期91-99,共9页
海水温度和深度信息的采集在水文、气象、渔业、生态保护等领域具有重要意义。基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种用于海水温度及深度检测的温压一体式传感器。该传感器采用双面设计,利用薄膜式铂电阻传感单元和压阻式压力传感单元分... 海水温度和深度信息的采集在水文、气象、渔业、生态保护等领域具有重要意义。基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种用于海水温度及深度检测的温压一体式传感器。该传感器采用双面设计,利用薄膜式铂电阻传感单元和压阻式压力传感单元分别检测温度和深度信息。两种传感单元均可通过MEMS工艺进行制作,且制作工艺互相兼容,因此,该传感器具有尺寸小、易于大批量制造、可与CMOS集成等优点。经对该传感器性能进行测试,温度传感单元在0~40℃范围内的电阻温度系数为0.27%/℃,测量精度为±0.04℃,同一批次样品电阻温度系数标准偏差为±0.0049%/℃;压力传感单元的量程为0~10 MPa,在该量程范围内其有良好的线性度(R^(2)=0.9993)、灵敏度(14.14 mV/MPa)和批量一致性(灵敏度的标准偏差为±0.896 mV/MPa)。此外,利用温度传感单元信号对压力传感单元在不同温度下的输出电压进行温度-压力解耦,解耦后压力传感单元在5~35℃温度范围内的最大相对误差由8.42%降低至1.07%。开发的MEMS温压一体式传感器满足了海水温度和深度检测的性能需求,有望解决海洋三维温度场监测的难题,在海洋环境保护和水文信息采集等领域有着广泛的应用前景。 展开更多
关键词 温度传感器 压力传感器 微机电系统(mems)传感器 海洋环境检测 多传感信号解耦
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基于MEMS传感器的运动辅助训练系统 被引量：1
12
作者 赵文楠 王明磊 《现代电子技术》 2022年第4期50-54,共5页
针对传统运动辅助训练系统存在的运动辅助训练方法匮乏、教练的指导效率低的问题,文中提出一种基于MEMS传感器的运动辅助训练系统。利用MEMS传感器的工作原理,通过运动辅助训练系统逻辑框架设计和运动辅助训练传感器设计完成系统的硬件... 针对传统运动辅助训练系统存在的运动辅助训练方法匮乏、教练的指导效率低的问题,文中提出一种基于MEMS传感器的运动辅助训练系统。利用MEMS传感器的工作原理,通过运动辅助训练系统逻辑框架设计和运动辅助训练传感器设计完成系统的硬件设计。同时,通过提取运动轨迹特征并结合卡尔曼滤波方法,对运动员手臂运动姿态角进行计算,对运动员姿态估计算法进行设计,最终完成系统的软件设计,从而实现运动辅助训练系统的设计。实验测试结果表明,基于MEMS传感器的运动辅助训练系统不仅可以增加运动辅助训练方法的数量,还可以提高教练的指导效率,从而大大提高运动辅助训练系统的性能。文中设计系统对运动捕捉技术的推广和其在辅助训练领域的应用具有重要意义。 展开更多
关键词 运动辅助训练 mems传感器 运动轨迹 姿态角计算 姿态估计算法 特征提取 系统测试
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MEMS传感器在听诊系统模型体位检测中的应用
13
作者 李兴山 李宇红 张平川 《煤炭技术》 CAS 北大核心 2013年第5期198-199,共2页
临床医学听诊系统模型的体位不同,听诊效果也不一样,为了检测出模型的体位信息,在听诊系统模型的不同部位安装小巧而灵敏的MEMS加速度传感器,精确检测出模型的坐、卧、俯、仰等多种体位,然后经单片机PIC32处理后将体位信息通过蓝牙传输... 临床医学听诊系统模型的体位不同,听诊效果也不一样,为了检测出模型的体位信息,在听诊系统模型的不同部位安装小巧而灵敏的MEMS加速度传感器,精确检测出模型的坐、卧、俯、仰等多种体位,然后经单片机PIC32处理后将体位信息通过蓝牙传输给上位机,上位机将声音数据通过蓝牙传输给PIC32 CPU,再经过解码和功放,由喇叭发出体状态声音信号,大大提高了听诊系统的应用效果。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 听诊系统 无线传输
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基于MEMS传感器的车载组合定位系统设计
14
作者 李鑫 孟翔飞 王燚 《常熟理工学院学报》 2016年第4期51-57,共7页
车载组合定位是现代汽车常用的定位方式,它通过集成化的传感器及卫星定位系统,实时定位车辆位置,在现代错综复杂的城市交通中有着广泛的应用.本文以微小型车载组合定位系统为对象,设计了基于ARM嵌入式系统的微小型车载组合定位系统,借助... 车载组合定位是现代汽车常用的定位方式,它通过集成化的传感器及卫星定位系统,实时定位车辆位置,在现代错综复杂的城市交通中有着广泛的应用.本文以微小型车载组合定位系统为对象,设计了基于ARM嵌入式系统的微小型车载组合定位系统,借助MEMS传感器设计的惯性导航系统、GPS导航及相应的融合算法,实现对车辆的实时高精度的定位. 展开更多
关键词 车载组合定位系统 嵌入式系统 mems传感器 卡尔曼滤波
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电动汽车热泵空调系统用MEMS压力温度传感器 被引量：4
15
作者 王伟忠 许旭 +2 位作者 刘聪聪 付志杰 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1102-1107,共6页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简单、成本低的平膜结构。结合MEMS加工工艺,利用低温硅-硅键合技术、硅通孔(TSV)技术实现了压敏电阻的芯片级介质隔离。设计了传感器的全金属密封结构,搭建了汽车热管理核心热泵空调系统台架,并进行了长期可靠性验证。结果表明,该传感器的基本性能良好,全温区(-40~135℃)传感器压力精度<0.3%FS,可长期应用于新能源电动汽车热管理核心热泵空调系统。 展开更多
关键词 压力温度传感器 微电子机械系统(mems) 硅通孔(TSV) 全金属密封结构 新能源电动汽车
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MEMS微波功率传感器的系统级建模 被引量：4
16
作者 孙国琛 张志强 +1 位作者 刘佳琦 郑从兵 《电子器件》 CAS 北大核心 2021年第6期1353-1359,共7页
提出了一种基于力-电和热-电原理的MEMS微波功率传感器,并依次对基于力-电转换原理的电容式MEMS微波功率传感器和基于热-电转换原理的热电式MEMS微波功率传感器进行建模。其一是通过采用挠度方程对力-电转换原理部分的固支梁建立力-电模... 提出了一种基于力-电和热-电原理的MEMS微波功率传感器,并依次对基于力-电转换原理的电容式MEMS微波功率传感器和基于热-电转换原理的热电式MEMS微波功率传感器进行建模。其一是通过采用挠度方程对力-电转换原理部分的固支梁建立力-电模型;二是通过采用热传导方程对热-电转换原理部分的温度分布建立二维热-电模型。最后将微波功率等效为均方根电压,以固支梁形变量为线索串联起力-电和热-电转换原理部分,研究微波功率、力-电转换原理部分的固支梁形变以及热-电转换原理部分的热电势之间关系,进而得到包含多物理场的系统级模型。对于电容式传感器,解析模型仿真结果与HFSS仿真结果具有较好的一致性,验证了其模型的有效性;而对于热电式传感器,衬底膜的厚度越薄,热电堆的冷热两端温差越高,进而输出热电势越大。结果表明,该MEMS微波功率传感器在30 GHz~35 GHz时插入损耗S_(11)在-0.1 dB~-0.3 dB范围内,反射损耗S_(11)小于-18 dB;当输入微波功率分别为160 mW和320 mW时,热电势在32 GHz时分别为42.41 mV和84.85 mV,在40 GHz时分别为40.03 mV和79.11 mV。 展开更多
关键词 mems 微波功率传感器 热-电 力-电 系统级建模
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基于MEMS惯性传感器变形监测系统研究
17
作者 徐云乾 袁明道 +3 位作者 包腾飞 潘展钊 李培聪 李昊 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期886-891,共6页
针对水库大坝野外无人值守环境中的低成本表面变形监测场景,该文基于微机电系统(MEMS)惯性传感器建立了从传感到云端的监测系统,面向应用场景中的实际需求,基于星形自组网网络拓扑设计了高可靠冗余通信链路。针对长时无人值守的表面变... 针对水库大坝野外无人值守环境中的低成本表面变形监测场景,该文基于微机电系统(MEMS)惯性传感器建立了从传感到云端的监测系统,面向应用场景中的实际需求,基于星形自组网网络拓扑设计了高可靠冗余通信链路。针对长时无人值守的表面变形监测需求,从传感、供能和通信等方面进行了工程设计。面向应用场景中的恶劣环境(如雨、雪、暴晒、高温、高寒等),设计了防水等级达IP68的外壳防护结构。环境试验和现场测试表明,该文设计的基于MEMS惯性传感器的变形监测系统具有稳定、精确的表面变形监测指标,以及可靠、高频的数据通信能力。 展开更多
关键词 水库大坝 变形监测 微机电系统(mems) 惯性传感器
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仿鱼类侧线系统的MEMS尾流探测传感器的设计与制备
18
作者 乔庆宇 孔祥正 +3 位作者 武淑峰 张国军 杨玉华 王任鑫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1058-1069,共12页
根据鱼类侧线系统的仿生学原理研制了一种具有二维矢量性的微电子机械系统(MEMS)尾流探测传感器,解决了现有的人工侧线传感器大多只能检测一维流场的问题。这种尾流探测传感器的核心敏感元件(纤毛十字梁结构)采用MEMS技术制备,通过在十... 根据鱼类侧线系统的仿生学原理研制了一种具有二维矢量性的微电子机械系统(MEMS)尾流探测传感器,解决了现有的人工侧线传感器大多只能检测一维流场的问题。这种尾流探测传感器的核心敏感元件(纤毛十字梁结构)采用MEMS技术制备,通过在十字梁上布置压敏电阻组成惠斯通电桥将尾流信号转化成电压信号。基于侧线管道神经丘的压力梯度感知机制,运用有限元分析软件设计了仿鱼类侧线管道的导流封装帽。通过模拟尾流环境对传感器样品进行灵敏度和矢量性测试。结果表明,传感器的灵敏度为107 mV·(m/s)^(-1),检测阈值为0.3 m/s。此外,矢量性测试结果验证了MEMS尾流探测传感器具有矢量性。这种尾流探测传感器可以应用于水下无人潜航器的尾流探测跟踪,这将对海洋勘测具有重要意义。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 尾流探测传感器 侧线系统 压力梯度 矢量性
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MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析 被引量：2
19
作者 徐洋 《科技创新与应用》 2020年第16期90-91,共2页
分析MEMS光纤压力传感器特性,进行检测电路系统设计分析。在设计中主要通过STC89C52单片机作为检测电路系统。光电转换器件为OPT101,通过进行处理可以有效地提升测试的精准性。在测试中,通过单片机进行处理,在液晶屏上显示结果,与电脑连... 分析MEMS光纤压力传感器特性,进行检测电路系统设计分析。在设计中主要通过STC89C52单片机作为检测电路系统。光电转换器件为OPT101,通过进行处理可以有效地提升测试的精准性。在测试中,通过单片机进行处理,在液晶屏上显示结果,与电脑连接,输入到信息。 展开更多
关键词 mems光纤压力传感器 检测电路系统 设计分析
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基于MEMS传感器的TPMS系统开发与实现
20
作者 陆宇 沈立 +2 位作者 陈建广 陈宏铭 程玉华 《中国集成电路》 2013年第4期65-70,共6页
本文介绍了基于MEMS传感器的TPMS系统解决方案。文中首先讨论了压阻式MEMS气压传感器和指标参数,随后从底层芯片设计和整体系统应用方案开发不同层次,描述了该系统各个组成部分的软硬件设计和物理实现,最后给出了实际系统测试验证数据... 本文介绍了基于MEMS传感器的TPMS系统解决方案。文中首先讨论了压阻式MEMS气压传感器和指标参数,随后从底层芯片设计和整体系统应用方案开发不同层次,描述了该系统各个组成部分的软硬件设计和物理实现,最后给出了实际系统测试验证数据。实验结果表明,系统可以有效测量气压、温度、电池电压数据,各项指标参数满足国标GB/T26149-2010要求,可以满足安装TPMS的车辆使用需要。 展开更多
关键词 mems传感器 TPMS系统 GB/T26149-2010
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