光的微电机系统在光通信网的应用

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作者 张煦 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期1-3,共3页

先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。

关键词 微电机系统 光通信网 波长路由器 光交叉连接 光交换

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微电机系统用TiNi形状记忆合金薄膜特性

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作者 蔡学章 《稀有金属快报》 CSCD 2002年第8期12-12,共1页

关键词 微电机系统 TiNi形态记忆合金薄膜 SMA

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微光电机械系统在光通信中的应用 被引量：3

3

作者 李文宇 马君显 杨淑雯 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 2002年第3期43-48,共6页

介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.

关键词 微光电机械系统 微电机械系统 光通信 光交换

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基于MEMS技术FDM 3D打印机自适应调平系统 被引量：6

4

作者 张毅 王莎 +2 位作者 李盼盼 王兴迪 周亚男 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期70-74,共5页

针对熔融沉积成型(FDM)3D打印机在使用过程中出现的打印模型粘接不牢、翘曲变形和抽丝等问题,基于微电机系统(MEMS)技术设计了一种4点式自适应调平系统。该系统利用MEMS双轴倾角传感器测量打印平台的倾角以确定位于最高点的调节点,运用... 针对熔融沉积成型(FDM)3D打印机在使用过程中出现的打印模型粘接不牢、翘曲变形和抽丝等问题,基于微电机系统(MEMS)技术设计了一种4点式自适应调平系统。该系统利用MEMS双轴倾角传感器测量打印平台的倾角以确定位于最高点的调节点,运用调平算法计算其它3个调节点的举升高度调节量,使用机电式调平机构采用逐高式调平方法实现打印平台的水平调节。研究表明,该系统具有原理简单,调平时间短,可靠性高等特点,能够满足3D打印机调平的性能指标要求,还可推广应用于其它各类调平系统。 展开更多

关键词 微电机系统技术 熔融沉积 3D打印机 调平系统

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射频系统中MEMS谐振器和滤波器 被引量：16

5

作者 李应良 潘武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期47-54,共8页

介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及... 介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望。 展开更多

关键词 射频系统 MEMS 谐振器 滤波器 微电机械系统

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CORBA技术在分布式微系统CAD设计中的运用 被引量：1

6

作者 汪成亮 肖沙里 +1 位作者 郑旭锋 李旭辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期194-198,共5页

MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重... MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重要性能 :语言无关性、平台无关性、模块的独立性、网络运用的稳定性 ,提出了构建于 CORBA( Common Object Request Broker Architecture)规范之上的分布式 MEMS 展开更多

关键词 微电机械系统 计算机辅助设计 CORBA MEMS CAD

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采用三向光纤照明成像的三维微结构观测系统 被引量：1

7

作者 张麟 陈涛 +1 位作者 刘世炳 左铁钏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第3期275-281,共7页

为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统。系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的... 为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统。系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的实时调节。通过自主设计的机械结构将光源、光纤、耦合头以及显微镜连接为一整体,实现光束入射方向、入射角和入射距离的任意调节。与通常的底部透射光照明系统进行实验比较,成像质量显著提高,不仅可以清晰观察目标对像的表面结构,还能得到立体感强的三维图像。针对面阵CCD显微测量系统的标定和标定误差问题,提出了螺旋微缝标定法。将螺旋测微计两铁钻形成的微缝作为标定的样本,配以适当的观测手段和计算方法,有效地消除或减小了各种误差,提高了系统的标定精度。通过系统标定和测量比较,系统的标定精度达到±0.0015μm,测量精度达到±1μm。实验结果表明,螺旋微缝标定法可以基本满足CCD测量系统标定的要求。 展开更多

关键词 微电机械系统 照明 电荷耦合器件 显微测量 标定误差

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微型电磁式振动能量采集器的结构设计与仿真研究 被引量：17

8

作者 赵志刚 丁旭升 +1 位作者 刘福贵 杨茁萌 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第8期255-260,共6页

随着大规模集成电路、无线传感网络的发展和对微机电技术研究的逐渐深入,基于微机电系统(MEMS)技术的微型电源具有广阔的应用前景。作为微型电源的一个分支,微型电磁式振动能量采集器可将环境中普遍存在的振动能转换为电能,从而可以长... 随着大规模集成电路、无线传感网络的发展和对微机电技术研究的逐渐深入,基于微机电系统(MEMS)技术的微型电源具有广阔的应用前景。作为微型电源的一个分支,微型电磁式振动能量采集器可将环境中普遍存在的振动能转换为电能,从而可以长期有效的为传感器件供电。简单介绍了电磁式振动能量采集器的物理模型和工作原理,研究了在正弦激励下采集器的振动特性,分析了采集器结构的固有频率与振动形式,并利用有限元法对结构进行优化,提出了一种复合式振动能量采集器结构并进行了仿真研究,该结构与传统单一永磁体结构相比,输出电压显著提高。 展开更多

关键词 振动能量采集器 有限元 微电源 微电机系统

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MEMS显示技术 被引量：4

9

作者 耿卫东 刘会刚 商广辉 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期230-234,共5页

由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技... 由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器。讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向。 展开更多

关键词 数字微镜器件 光栅光阀 干涉调制显示器 微电机系统

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基于SU-8胶的新型被动式微型阀 被引量：3

10

作者 张丛春 郭泰 丁桂甫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期1011-1016,共6页

为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而... 为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动,借鉴人体心脏瓣膜的结构,设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料,用ANSYS仿真了不同厚度(10,15,20μm)的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力,进而确定了合适的阀门膜片厚度。利用微细加工技术,集成加工了微型阀,并由此确定和优化了微型阀的加工工艺。用去离子水作为介质测试了微型阀的过流特性,在正向压力为11.7kPa的压力作用下,测得A、B型被动式微阀的正向流速分别为1.66ml/min和1.35ml/min。对测试数据的分析表明,设计的微型阀有线性控制的潜能。以SU-8胶作为结构材料的微型阀不仅性能较好,同时具有生物兼容性,可扩展微型阀的应用范围。 展开更多

关键词 微电机系统 微流控 被动式微阀 SU-8

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MEMS传感器在岩溶塌陷物理模拟试验监测中应用研究 被引量：4

11

作者 吴迪 王金晨 +3 位作者 杨彦鑫 吴远斌 娄万鹏 蔺文博 《安全与环境学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期800-811,共12页

针对岩溶塌陷地下土体位移监测难度大的问题,提出了一种基于微电机系统(Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)传感器的监测方法。采用时域积分算法处理MEMS加速度数据,先去除噪声和直流分量,通过多项式拟合去除趋势项,从而获取位移... 针对岩溶塌陷地下土体位移监测难度大的问题,提出了一种基于微电机系统(Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)传感器的监测方法。采用时域积分算法处理MEMS加速度数据,先去除噪声和直流分量,通过多项式拟合去除趋势项,从而获取位移监测数据,通过定距试验分析算法误差。设计了2组室内模型试验,一组将MEMS传感器集中布设于稳定区,另一组多布设于塌陷区,对不同埋深土体的位移进行监测,结合粒子图像测速设备(Particle Image Velocimetry,PIV)实测数据分析误差,验证利用MEMS传感器监测土体位移的适用性和实用性。结果表明:根据MEMS的加速度时程,通过时域积分算法能有效获得土体的位移,MEMS传感器可用于岩溶塌陷的实时监测;分析得到岩溶塌陷地下土体位移规律,土体位移的变化与塌陷源位置相关,随着土体高度的增加,位移逐渐减小,而处于塌陷源正上方的土体水平位移几乎为0;工程中可针对已经发生的塌陷和有可能发生的塌陷2种工况,分别将MEMS传感器埋设在稳定区和塌陷区,进行实时监测,保障生命财产安全。提出的方法为岩溶塌陷的监测提供了新的思路,也为MEMS传感器在岩土工程中的应用奠定了基础。 展开更多

关键词 安全工程 地面沉陷 模型试验 微电机系统(MEMS)传感器 位移监测

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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术 被引量：25

12

作者 王向军 王峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期511-513,共3页

讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干... 讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干问题进行了详细的讨论 ,显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一 ,而精密数字成像是必须解决的问题之一。研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题。 展开更多

关键词 视觉计量 微电机械系统 纳米基准 显微精密成像 微型机械 尺寸控制

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新型MEMS气体传感器及其理论模型

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作者 严俊 陈向东 +2 位作者 李辉 苏凤 罗雪松 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期435-439,共5页

提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成。应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气... 提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成。应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体载荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式。理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单,无须加热,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成。 展开更多

关键词 压阻式 气体传感器 理论模型 硅薄膜 微电机系统 聚合物

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光可变衰减器的研究进展 被引量：3

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作者 李鹰 江晓清 +1 位作者 李锡华 王明华 《光通信研究》 北大核心 2004年第4期67-70,共4页

光可变衰减器(VOA)作为波分复用(WDM)网络中关键的功率管理器件,能够实现信道均衡和自动增益控制功能.微电机械系统(MEMS)型和热光型VOA以其衰减范围宽、功耗低、体积小、易于集成等优点成为研究重点,热光特性极佳的聚合物材料则成为最... 光可变衰减器(VOA)作为波分复用(WDM)网络中关键的功率管理器件,能够实现信道均衡和自动增益控制功能.微电机械系统(MEMS)型和热光型VOA以其衰减范围宽、功耗低、体积小、易于集成等优点成为研究重点,热光特性极佳的聚合物材料则成为最引人注目的热光材料.文章对已有的VOA器件作了概括分类,介绍了各种MEMS型VOA,还从热光材料的角度,总结了聚合物材料的研究成果,对已见报道的基于聚合物的各种热光型VOA进行了重点的描述和分析.最后给出了VOA的两种网络实例. 展开更多

关键词 光可变衰减器 微电机械系统 热光效应 聚合物

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MEMS表面加工中材料层厚度电学测试结构

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作者 钱晓霞 李伟华 《南京信息工程大学学报（自然科学版）》 CAS 2013年第6期522-526,共5页

微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS器件的机构性能和结构的纵向移动范围,因此对材料层厚度进行测试和工艺控制监视是极具意义的.当前的材料... 微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS器件的机构性能和结构的纵向移动范围,因此对材料层厚度进行测试和工艺控制监视是极具意义的.当前的材料层厚度测试大多采用光机械的方法,因其测试方法复杂、设备昂贵、测试时间长且很难集成到一个工艺控制监视(PCM)系统中,提出一种新颖的材料层厚度电学测试结构,该测试结构具有结构简单、测量方便并且便于MEMS测试系统集成的特点.通过软件对测试结构和测试模型进行闭环验证,结果表明,模拟值与理论值有较好的一致性. 展开更多

关键词 微电机系统 表面加工 材料层 电测量

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用于光网络的OADM研究概况

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作者 陈明 唐天同 杨铸 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期26-27,共2页

介绍了基于不同机理实现OADM的研究现状。它们分别是:基于光纤Bragg 光栅和Mach-Zehnder干涉仪的OADM;基于光纤光栅的OADM;基于光纤光开关(FOS)结构与微电机械系统(MEMS)相结合实现的OADM;在LiNbO3上的集成声光2×2开关/OADM;还预... 介绍了基于不同机理实现OADM的研究现状。它们分别是:基于光纤Bragg 光栅和Mach-Zehnder干涉仪的OADM;基于光纤光栅的OADM;基于光纤光开关(FOS)结构与微电机械系统(MEMS)相结合实现的OADM;在LiNbO3上的集成声光2×2开关/OADM;还预见了在不久将来可能实现的基于带隙光子晶体结构的光分叉复用器。 展开更多

关键词 OADM 光纤光栅 Mach—Zehnder干涉仪 光纤光开关 微电机械系统 LiNb03 带隙光子晶体

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一种光开关集成可调衰减器的设计与应用

17

作者 李天文 胡薇 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2008年第4期55-57,共3页

介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准直器,具有良好的光学性能和可靠性指标。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析以及相关... 介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准直器,具有良好的光学性能和可靠性指标。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析以及相关试验结果。对于该器件的灵活应用,介绍了一种PLC技术的,新型、实用、低成本的ROADM设计方案。 展开更多

关键词 微电机系统 光开关 可调光衰减器 可重构的光分插复用器件

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硅基微静电马达

18

作者 孙夕庆 李志坚 刘理天 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期22-25,共4页

本文介绍了硅基微静电马达的设计考虑、制作工艺和测量结果，该马达结构上的改进主要体现在两方面：通过在微马达转子的下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测，这对于研究微马达动力学和构成ＭＥＭＳ有着重要的意义；利用复合膜... 本文介绍了硅基微静电马达的设计考虑、制作工艺和测量结果，该马达结构上的改进主要体现在两方面：通过在微马达转子的下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测，这对于研究微马达动力学和构成ＭＥＭＳ有着重要的意义；利用复合膜牺牲层技术制成了一种锥状轴承，该轴承能够减小马达的摩擦力矩，微静电马达转子直径分１００μｍ和１２０μｍ两种，定子与转子极之间的空气间隙有２μｍ、３μｍ和４μｍ三种。初步测量结果表明该马达的最小启动电压为９３Ｖ，最高平衡转速达２３９ｒｐｓ。 展开更多

关键词 微电机 电动机 微电机械系统 硅基

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Silicon optical MEMS:optical components and sensors 被引量：4

19

作者 Kazuhiro Hane 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期632-633,共2页

关键词 光学元件 传感器 硅光微电机械系统

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欢迎订阅《光机电信息》(月刊)

20

《中国光学》 EI CAS 2003年第5期120-120,共1页

《光机电信息》是一份为工程师、研究者、科学家和技术专家提供国内外有关光学、光电子学和精密机械综合消息的月刊。它从技术和商业两方面报道和分析上述领域的最新研究进展和发展趋势,其特点是信息量大且传播速度快。完整的报道范围... 《光机电信息》是一份为工程师、研究者、科学家和技术专家提供国内外有关光学、光电子学和精密机械综合消息的月刊。它从技术和商业两方面报道和分析上述领域的最新研究进展和发展趋势,其特点是信息量大且传播速度快。完整的报道范围《光机电信息》以全方位的视角瞄准国际前沿,紧盯国内外光机电领域发展热点和焦点,每期以专题形式发布。主要报道光学、光电子学、光电工程、精密机械、激光、光通信、光学仪器、发光学、显示技术、医用光学、光学材料、微纳技术、微电机械系统、先进加工制造技术等诸多读者感兴趣的领域。 展开更多

关键词 电信息 光电子学 光机电 微电机械系统 研究进展 技术专家 发展趋势 机械综合 光学仪器 工程师

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