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微电容超声换能器的前端专用集成电路设计 被引量:2
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作者 杜以恒 何常德 张文栋 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第4期251-256,共6页
针对微电容超声换能器(CMUT)微弱电流信号检测的要求,设计了一种用于CMUT的前端专用集成电路——运算放大器(OPA)电路。运算放大器电路采用两级放大结构,第一级采用全差分折叠-共源共栅结构,输出级采用AB类控制的轨到轨输出级,在运算放... 针对微电容超声换能器(CMUT)微弱电流信号检测的要求,设计了一种用于CMUT的前端专用集成电路——运算放大器(OPA)电路。运算放大器电路采用两级放大结构,第一级采用全差分折叠-共源共栅结构,输出级采用AB类控制的轨到轨输出级,在运算放大器电路反相输入端和输出端通过一个反馈电阻实现CMUT电流信号到电压信号的转换。采用GlobalFoundries 0.18μm的标准CMOS工艺进行了仿真设计和流片,芯片尺寸为226μm×75μm。仿真结果表明,运算放大器的开环增益为62 dB,单位增益带宽为30 MHz,在3 MHz处的输入参考噪声电压为2.9μV/Hz^(1/2),电路采用±3.3 V供电,静态功耗为11 mW。测试结果表明仿真与实测结果相符,该运算放大器电路能够实现CMUT微弱电流信号检测功能。 展开更多
关键词 专用集成电路(ASIC) 运算放大器(OPA) 微电容超声换能器(CMUT) 弱电流信号 互补型金属氧化物半导体(CMOS)
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微电容超声换能器阵列的信号采集电路与应用
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作者 郭明 何常德 +1 位作者 郑永秋 张文栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第12期73-75,共3页
设计了一种基于微电容超声换能器(CMUT)16阵列的信号采集系统,用大容量FLASH做临时存储介质,利用USB总线传输能力上传采集数据。实验表明:该采集系统具有通道一致性好、采样精度高的特点,以6 MHz的采样率同步采集到16通道400 k Hz超声... 设计了一种基于微电容超声换能器(CMUT)16阵列的信号采集系统,用大容量FLASH做临时存储介质,利用USB总线传输能力上传采集数据。实验表明:该采集系统具有通道一致性好、采样精度高的特点,以6 MHz的采样率同步采集到16通道400 k Hz超声信号。开展了水下超声测距和超声成像等应用研究,对采集数据进行线性标度转换和带通滤波等预处理,为微电容超声换能器的应用提供硬件支持。 展开更多
关键词 微电容超声换能器 同步采集 数据预处理 超声测距 超声成像
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水下探测微电容超声波换能器线阵设计与封装 被引量:6
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作者 张睿 潘理虎 +4 位作者 陈立潮 张永梅 薛晨阳 张文栋 何常德 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期123-129,225-226,共8页
提出一种应用于水下探测的低频微电容超声波换能器阵列。在分析微电容超声波换能器阵列复合结构和工作原理的基础上,建立了换能器阵元和一维线阵的指向性表达式,并通过分析结构参数对指向性的影响,确定了阵列几何参数。针对微电容超声... 提出一种应用于水下探测的低频微电容超声波换能器阵列。在分析微电容超声波换能器阵列复合结构和工作原理的基础上,建立了换能器阵元和一维线阵的指向性表达式,并通过分析结构参数对指向性的影响,确定了阵列几何参数。针对微电容超声波换能器水下应用需求,研究了阵列水下封装方法,通过封装结构设计和封装材料的选取,完成了换能器阵列水密封装。同时,制定了换能器阵列性能测试方案,并搭建了相应的测试、探测系统,经测试换能器线阵-3dB主瓣宽度为5°,最大旁瓣级为-13.5dB,可实现水下1m范围内的目标清晰探测。实验表明,提出的微电容超声波换能器阵列设计和封装方法合理,为改善微电容超声波换能器阵列水下探测性能提供了设计依据。 展开更多
关键词 电容超声换能器 阵列设计 阵列封装 水下探测
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新型电容式传感器的设计与优化 被引量:1
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作者 史兆强 李明 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期105-108,113,共5页
首先,基于微电容式超声波换能器(CMUT)建模理论,依据CMUT的电学特性和机械特性,构建了等效电路模型和平行板电容模型;然后,给出了CMUT薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系数等关键的特性参量表达式,完善了CMUT理论体系,确定... 首先,基于微电容式超声波换能器(CMUT)建模理论,依据CMUT的电学特性和机械特性,构建了等效电路模型和平行板电容模型;然后,给出了CMUT薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系数等关键的特性参量表达式,完善了CMUT理论体系,确定了结构尺寸;最后,针对CMUT设计主要用到的Ansys有限元仿真分析方法存在的操作复杂、运算时间长等问题,提出了一种利用Simulink状态模型对CMUT特性的动态仿真分析的方法。通过对CMUT发射/接收动态系统模型的建立,实现了其性能的仿真与分析,为后续实际应用提供了重要的理论指导,同时该动态系统模型为CMUT设计提供了一种简单、高效的方法,提高了CMUT结构设计与分析的效率。 展开更多
关键词 电容超声换能器 SIMULINK模型 动态系统
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