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一种微电容式传感器检测电路的分析与改进被引量：14: 1; 作者王斌黄晓东 +1 位作者秦明黄庆安《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期265-268,共4页; 介绍了一种本实验室开发的集成传感器,它实现了敏感电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现敏感电容值以及参考电容值与频率值的转换,通过对两频率求差来抑制各种共模干扰。对样片进行了... 展开更多; 关键词 MEMS 微电容式传感器接口电路频率输出; 在线阅读下载PDF 职称材料

低压低功耗CMOS微电容式传感器数字型接口电路研究被引量：5: 2; 作者王阳陈军宁 +1 位作者胡江张巧文《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期198-204,共7页; 针对便携、无线设备的低电压、低功耗需求,基于TSMC 0.18μm CMOS工艺设计提出一种面向CMOS微电容式传感器的接口转换电路。将敏感电容、参考电容与接口电路集成于同一芯片,可以将对湿度敏感的电容变化量线性转换为方波脉冲信号的宽度,... 展开更多; 关键词微电容式传感器接口电路脉冲宽度低压低功耗相对湿度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计被引量：7: 3; 作者程未曾晓鹭 +1 位作者卞剑涛冯勇建《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期75-77,共3页; 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了... 展开更多; 关键词微机电系统有限元分析加工工艺 MEMS技术微电容式加速度传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微变电容式传感器的设计与应用: 4; 作者郭银景康景利 +1 位作者杨阳唐富华《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期419-422,共4页; 微变电容式传感器是为边境线、狱墙等场合的需要而设计的.该设计以传输线理论为基础,采用FFT算法和相位微分法检测与处理信号,利用同轴电缆的低频特性高灵敏地探测被测量,利用其高频特性测量被测量产生的位置.该传感器在狱墙报警系统中... 展开更多; 关键词同轴电缆报警系统微变电容式传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：2: 5; 作者董林玺李寿洛 +4 位作者陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期501-507,共7页; 改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑... 展开更多; 关键词 MEMS 微电容式惯性传感器检测电容结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

道口车流量监测系统设计被引量：5: 6; 作者郭银景康景利 +3 位作者吕文红王燕唐富华杨阳《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第11期66-68,共3页; 一种基于同轴线的分布参数,以同轴线为敏感器件的微变电容式传感器研制成功并被应用到道口车流量监测系统中。该传感器由同轴电缆、单片机系统、高频检测电路和低频检测电路等几部分组成。根据同轴线的高频特性产生的脉冲信号的信息来... 展开更多; 关键词微变电容式传感器车流量监测脉冲信号车速监测工作原理; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测被引量：4: 7; 作者张睿潘理虎 +1 位作者陈立潮张永梅《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期234-240,共7页; 针对水下扇形扫描范围广、图像数据量有限引起的重建图像远场末端"裂缝"问题,本文在双立方漏点像素插值处理的基础上,提出了一种线性元素开运算和椭圆体元素闭运算的形态学串行算法,用于对重建图像的填充滤波。为了验证优化... 展开更多; 关键词微电容式超声传感器扇形扫描信号处理形态学水下探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

水下CMUT动态性能仿真与测试的研究被引量：3: 8; 作者张睿解丹 +3 位作者马健喆潘理虎张永梅陈立潮《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期501-507,共7页; 目前CMUT以其频带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点成为水下超声传感器在研究及应用推广方面的一个新热点。主要开展了对CMUT动态性能的仿真与测试。首先利用SIMULINK对CMUT发射和接收性能进行动态仿真分析,并建立实验平台... 展开更多; 关键词微电容式超声传感器动态性能仿真测试探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种微电容式传感器检测电路的分析与改进被引量：14: 1; 作者王斌黄晓东秦明黄庆安; 机构东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期265-268,共4页; 基金国家自然科学基金重点项目资助课题(90607002); 文摘介绍了一种本实验室开发的集成传感器,它实现了敏感电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现敏感电容值以及参考电容值与频率值的转换,通过对两频率求差来抑制各种共模干扰。对样片进行了测试,输出频率与理论值有较大的偏差。通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因。最后,给该电路设计了启动电路,改进了CMOS开关控制电路,重新对电路的结构进行了设计,实现了与实验室新一代传感器的集成。; 关键词 MEMS 微电容式传感器接口电路频率输出; Keywords MEMS capacitive sensor interface circuit frequency output; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低压低功耗CMOS微电容式传感器数字型接口电路研究被引量：5: 2; 作者王阳陈军宁胡江张巧文; 机构浙江万里学院电子信息学院安徽大学电子科学与技术学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期198-204,共7页; 基金宁波市自然基金项目(2013A610010 2013A610008) 浙江省自然基金项目(LY14F040002); 文摘针对便携、无线设备的低电压、低功耗需求,基于TSMC 0.18μm CMOS工艺设计提出一种面向CMOS微电容式传感器的接口转换电路。将敏感电容、参考电容与接口电路集成于同一芯片,可以将对湿度敏感的电容变化量线性转换为方波脉冲信号的宽度,并直接输出数字信号。实验仿真结果显示在1.5V电源供压下电路消耗的功耗仅为1.95mW,转换分辨率达到4.38μs/pF,与同类接口电路相比具有线性度好、有效减少电容间失配和对温度与工艺角变化不敏感等优点。; 关键词微电容式传感器接口电路脉冲宽度低压低功耗相对湿度; Keywords micro-capacitive sensor interface circuit pulse width low-voltage low-power relative humidity; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计被引量：7: 3; 作者程未曾晓鹭卞剑涛冯勇建; 机构厦门大学萨本栋微机电研究中心; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期75-77,共3页; 文摘给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。; 关键词微机电系统有限元分析加工工艺 MEMS技术微电容式加速度传感器; Keywords micro capacitance MEMS finite element analysis(FEA) fabrication process; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微变电容式传感器的设计与应用: 4; 作者郭银景康景利杨阳唐富华; 机构北京理工大学机电工程学院; 出处《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期419-422,共4页; 文摘微变电容式传感器是为边境线、狱墙等场合的需要而设计的.该设计以传输线理论为基础,采用FFT算法和相位微分法检测与处理信号,利用同轴电缆的低频特性高灵敏地探测被测量,利用其高频特性测量被测量产生的位置.该传感器在狱墙报警系统中的应用结果表明,微变电容式传感器最大定位相对误差小于6.0%,误警率小于0.3%,漏警率小于0.2%.; 关键词同轴电缆报警系统微变电容式传感器; Keywords coaxial-cable alarm system micro-variation capacitance sensor; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：2: 5; 作者董林玺李寿洛陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲; 机构杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室东芝水电设备有限公司; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期501-507,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目资助(60506015) 浙江省自然科学基金资助项目资助(Y107105); 文摘改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器。通过实例计算,证明了该结果。; 关键词 MEMS 微电容式惯性传感器检测电容结构; Keywords MEMS Micro capacitive inertial sensor Structure of detecting capacitance; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM53 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名道口车流量监测系统设计被引量：5: 6; 作者郭银景康景利吕文红王燕唐富华杨阳; 机构北京理工大学机电工程学院北京理工大学管理与经济学院; 出处《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第11期66-68,共3页; 文摘一种基于同轴线的分布参数,以同轴线为敏感器件的微变电容式传感器研制成功并被应用到道口车流量监测系统中。该传感器由同轴电缆、单片机系统、高频检测电路和低频检测电路等几部分组成。根据同轴线的高频特性产生的脉冲信号的信息来判断车型;依据同轴线的低频特性产生的脉冲信号的信息,比较准确地判断出车速和车流量等信息。论述了道口车流量监测系统的原理与应用,实验结果表明利用微变电容式传感器设计的道口车流量监测系统具有较好的应用效果。; 关键词微变电容式传感器车流量监测脉冲信号车速监测工作原理; Keywords micro-change capacitive sensor road monitoring vehicle flux; 分类号 U491.116 [交通运输工程—交通运输规划与管理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测被引量：4: 7; 作者张睿潘理虎陈立潮张永梅; 机构太原科技大学计算机科学与技术学院北方工业大学计算机学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期234-240,共7页; 基金国家杰出青年科学基金项目(61525107) 国家自然科学基金项目(61371143) +3 种基金山西省科技攻关项目(20141039) 太原科技大学博士科研启动基金项目(20162036); 文摘针对水下扇形扫描范围广、图像数据量有限引起的重建图像远场末端"裂缝"问题,本文在双立方漏点像素插值处理的基础上,提出了一种线性元素开运算和椭圆体元素闭运算的形态学串行算法,用于对重建图像的填充滤波。为了验证优化方法的性能,制定了CMUT阵列水下扫描探测方案,并搭建了相应探测系统,实验验证了该形态学串行运算算法实现了重建图像的填充,提高了信噪比和连续性,为水下探测目标识别提供有力依据。; 关键词微电容式超声传感器扇形扫描信号处理形态学水下探测; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer sector scanning signal processing morphology under-water detecting; 分类号 TB565 [交通运输工程—水声工程] TN957.52 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名水下CMUT动态性能仿真与测试的研究被引量：3: 8; 作者张睿解丹马健喆潘理虎张永梅陈立潮; 机构太原科技大学计算机科学与技术学院北京华龙通科技有限公司北方工业大学计算机学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期501-507,共7页; 基金国家杰出青年科学基金项目(61525107) 山西省中科院科技合作项目(20141101001) +5 种基金 201801121011) 全国高等学校计算机教育研究会2019年度课题(CERACU2019R02); 文摘目前CMUT以其频带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点成为水下超声传感器在研究及应用推广方面的一个新热点。主要开展了对CMUT动态性能的仿真与测试。首先利用SIMULINK对CMUT发射和接收性能进行动态仿真分析,并建立实验平台,以仿真结果作为依据对CMUT动态性能进行了测试,同时实现了CMUT水下初步探测。本研究为CMUT的设计提供了有利的依据。; 关键词微电容式超声传感器动态性能仿真测试探测; Keywords capacitive micromachined ultrasonic transducer dynamic performance simulation testing detecting; 分类号 TB565 [交通运输工程—水声工程] TN957.5 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种微电容式传感器检测电路的分析与改进	王斌黄晓东秦明黄庆安	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	14	在线阅读下载PDF 职称材料
2	低压低功耗CMOS微电容式传感器数字型接口电路研究	王阳陈军宁胡江张巧文	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计	程未曾晓鹭卞剑涛冯勇建	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2003	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微变电容式传感器的设计与应用	郭银景康景利杨阳唐富华	《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析	董林玺李寿洛陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	道口车流量监测系统设计	郭银景康景利吕文红王燕唐富华杨阳	《传感器技术》 CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
7	基于形态学串行运算的CMUT水下扇形扫描探测	张睿潘理虎陈立潮张永梅	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
8	水下CMUT动态性能仿真与测试的研究	张睿解丹马健喆潘理虎张永梅陈立潮	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料