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题名基于MXT9030的微电容加速度计系统搭建
被引量：2
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作者
姚庭伟
陈祥发
柴宏玉
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机构
北京时代民芯科技有限公司西安分部
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出处
《电子技术应用》
北大核心
2015年第2期174-176,共3页
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文摘
阐述了三明治式电容微加速度计的工作原理,并在此基础上介绍了一种具体的三明治式微加速度计的设计:采用一种通用的电容读取电路MXT9030实现对电容式微加速度传感器的信号检测,通过微控制器的控制,调节MXT9030电路的内部参数,使加速度计系统具有良好的线性度及灵敏度。实验结果表明,该设计可满足较大范围内的电容差分信号输入,并具有良好的检测灵敏度和线性度。
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关键词
微电容加速度计
MEMS
MXT9030
微控制器
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Keywords
micro-capacitive accelerometer
MEMS
MXTg030
MCU
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名梳状电容微加速度计结构设计和分析
被引量：1
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作者
黄书琴
郝永平
张德智
王健
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机构
沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心
沈阳理工大学装备工程系
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2004年第4期21-24,共4页
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文摘
阐述了双侧梳状电容微加速度计的基本结构和工作原理,运用了计算机辅助软件对其进行建模和仿真,借助该模型分析了在 1g 加速下梁的长度变化对系统灵敏度的影响和系统对正弦激脉冲输入信号的响应特性,为加速度计的结构优化设计提供了依据。
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关键词
梳齿状电容微加速度计
灵敏度
建模和仿真
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Keywords
capacitive micro-accelerometer
sensitivity
modeling and simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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