期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微电子-机械系统传感器及其应用
被引量：
2
1
作者
潘中印
张传兆
+1 位作者
蒋立冬
曲学政
《物探装备》
2003年第4期217-219,222,共4页
微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或日微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低...
微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或日微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应。文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项。
展开更多
关键词
微电子-机械系统
传感器
地球物理勘探
地震勘探
噪声
在线阅读
下载PDF
职称材料
温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响
2
作者
张沛然
朱健
姜理利
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期69-74,共6页
介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品,常温下(25°C)先测定样品的驱动电压和射频特性,再将样品置于温度恒定的烘箱中热烘1h,取出后在常温条件下测定其机械形貌及电学...
介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品,常温下(25°C)先测定样品的驱动电压和射频特性,再将样品置于温度恒定的烘箱中热烘1h,取出后在常温条件下测定其机械形貌及电学性能。烘箱的温度从50°C变化到200°C,步进50°C。针对每个温度做一轮实验,最后将所得数据进行对比。实验结果表明,温度对于开关的射频性能影响极其微弱,但驱动电压对于温度却有较强的依赖性。分析认为,当温度变化时,悬臂梁结构的翘曲是影响驱动电压变化的主要因素。最后提出了几种可以提高结构温度稳定性的方法。
展开更多
关键词
射频
-
微电子
机械系统
开关
温度
悬臂梁
驱动电压
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微电子-机械系统传感器及其应用
被引量：
2
1
作者
潘中印
张传兆
蒋立冬
曲学政
机构
西安石油勘探仪器总厂
出处
《物探装备》
2003年第4期217-219,222,共4页
文摘
微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或日微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应。文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项。
关键词
微电子-机械系统
传感器
地球物理勘探
地震勘探
噪声
Keywords
MEMS sensor low noise principle
分类号
P631.43 [天文地球—地质矿产勘探]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响
2
作者
张沛然
朱健
姜理利
机构
南京电子器件研究所
微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期69-74,共6页
文摘
介绍了温度对悬臂梁式RF-MEMS开关的影响。以南京电子器件研究所研制的悬臂梁式RF-MEMS开关为实验样品,常温下(25°C)先测定样品的驱动电压和射频特性,再将样品置于温度恒定的烘箱中热烘1h,取出后在常温条件下测定其机械形貌及电学性能。烘箱的温度从50°C变化到200°C,步进50°C。针对每个温度做一轮实验,最后将所得数据进行对比。实验结果表明,温度对于开关的射频性能影响极其微弱,但驱动电压对于温度却有较强的依赖性。分析认为,当温度变化时,悬臂梁结构的翘曲是影响驱动电压变化的主要因素。最后提出了几种可以提高结构温度稳定性的方法。
关键词
射频
-
微电子
机械系统
开关
温度
悬臂梁
驱动电压
Keywords
RF
-
MEMS switches
temperature
cantilever
actuation voltage
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
TN385 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微电子-机械系统传感器及其应用
潘中印
张传兆
蒋立冬
曲学政
《物探装备》
2003
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
温度对悬臂梁静电驱动RF-MEMS开关性能的影响
张沛然
朱健
姜理利
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
