期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到145篇文章
< 1 2 … 8 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
微电子-机械系统传感器及其应用 被引量：2
1
作者 潘中印 张传兆 +1 位作者 蒋立冬 曲学政 《物探装备》 2003年第4期217-219,222,共4页
微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或日微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低... 微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或日微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应。文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项。 展开更多
关键词 微电子-机械系统 传感器 地球物理勘探 地震勘探 噪声
在线阅读 下载PDF
微电子机械系统及其应用
2
作者 陈佳品 吴智政 《电子机械工程》 1996年第6期1-4,共4页
本文介绍了微电子机械系统及其技术的一般含义，并对微电子机械系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简单分析。
关键词 微电子机械系统 微传感器 微驱动器
在线阅读 下载PDF
微电子机械系统 被引量：4
3
作者 李拴庆 付士萍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1-5,共5页
概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统... 概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了ＭＥＭＳ技术的发展趋势与我国的发展现状。 展开更多
关键词 传感器 微电子机械系统 执行器
在线阅读 下载PDF
论微电子机械系统MEMS
4
作者 鄢云 《西安航空技术高等专科学校学报》 2004年第3期32-34,共3页
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;
关键词 微电子机械系统 集成 微传感器 微执行器 微结构器件 微系统
在线阅读 下载PDF
一种小体积MEMS传感器数据记录仪
5
作者 尚义航 赵凯明 +1 位作者 段俊萍 张斌珍 《微纳电子技术》 2025年第1期110-117,共8页
对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传... 对飞行器发射航行阶段的数据测试是目前研究的重要方向。数据记录仪作为一种可装载的数据采集装置,具有重要的研究价值。针对小型飞行器的数据采集工作,提出了一种具有小体积、低功耗、高性能以及高抗过载能力的微电子机械系统(MEMS)传感器数据记录仪。它能够对三轴角速度、加速度以及磁场数据进行同步测量。数据计算和实验测试结果表明,记录仪总体积为22.4 cm^(3),工作状态下的功耗仅为0.68 W。通过抗过载工艺使系统抗过载能力达到了18000g,实现了对于小体积、低功耗和高抗过载能力的特性要求。通过Labview软件对磁场数据进行测量及误差分析,得到线性度误差最大值仅为-1.14%,满足HMC1053三轴磁传感器线性度误差优于±1.8%的指标要求,能够实现对于小型飞行器发射航行过程中的数据采集,具有很高的可行性。 展开更多
关键词 传感器数据记录仪 微电子机械系统(MEMS) 小体积 高抗过载 低功耗
在线阅读 下载PDF
光纤FPI高温压力传感器的设计与仿真
6
作者 田野 曹咏弘 吕晶 《微纳电子技术》 2025年第2期105-115,共11页
航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析... 航空发动机的内部环境严苛,为保证发动机正常运行需要实时监测压气室、燃烧室等关键部位的动态压力信号和温度信号。基于法布里珀罗干涉原理,以蓝宝石作为材料,建立了传感器整体结构模型并级联光栅结构作为温度补偿,通过理论和仿真分析确定了传感器具体结构尺寸参数。利用有限元分析软件ANSYS对蓝宝石法布里珀罗干涉仪(FPI)光纤高温压力传感器模型进行了静态分析及温度/压力耦合分析,以模拟传感器在复合环境下的性能。传感器的压力灵敏度为2.216 2 nm/MPa,温度灵敏度为9.198 4 pm/℃,交叉灵敏度为0.017 1 MPa/℃,满量程精度为0.735%,在26~1 500℃范围内具有良好的热-机械性能,为今后蓝宝石高温压力传感器结构的优化与改进提供了一定的参考。 展开更多
关键词 光纤高温压力传感器 法布里珀罗干涉仪(FPI) 光栅 蓝宝石薄膜 微电子机械系统(MEMS)
在线阅读 下载PDF
浅谈MEMS技术——(微电子机械系统)
7
作者 Mike Dale 魏巍 《汽车维修与保养》 2002年第9期49-50,共2页
MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。
关键词 MEMS技术 微电子机械系统 汽车 传感器
在线阅读 下载PDF
博世已生产30多亿个微电子机械及流传感器
8
《汽车测试报告》 2013年第7期163-163,共1页
微电子机械系统（MEMS）可喻为现代移动设备的眼睛与耳朵——也是其所有的其它感言。博世正在使用这些微型高新助手引导车辆以及现代电子装置感知周围世界。博世用13年制造了10亿个MEMS传感器，在随后三年达到20亿个后仅用了18个月突破3... 微电子机械系统（MEMS）可喻为现代移动设备的眼睛与耳朵——也是其所有的其它感言。博世正在使用这些微型高新助手引导车辆以及现代电子装置感知周围世界。博世用13年制造了10亿个MEMS传感器，在随后三年达到20亿个后仅用了18个月突破30亿大关。 展开更多
关键词 微电子机械系统 MEMS传感器 博世 生产 移动设备 电子装置 车辆
在线阅读 下载PDF
MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用
9
作者 杨真 陈靖元 +4 位作者 张朕泽 祝梦娇 黄家宝 孙学成 雷冲 《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页
微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微型线圈 磁敏传感器 巨磁阻抗传感器 磁通门传感器
在线阅读 下载PDF
微机械加工技术在微传感器中的应用 被引量：7
10
作者 胡明 马家志 +1 位作者 邹俊 张之圣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第4期268-270,302,共4页
随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。
关键词 微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 MEMS 各向异性腐蚀 多晶硅
在线阅读 下载PDF
微阵列光寻址生化传感器系统性能研究 被引量：6
11
作者 韩泾鸿 梁卫国 +2 位作者 张虹 陈德勇 徐磊 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第6期831-837,共7页
该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性... 该文介绍一种基于电解质溶液-绝缘层-半导体(EIS)结构的光、机、电一体化的微阵列光寻址电位传感器系统(LAPS)。文中研讨了LAPS的基本原理和微阵列光寻址电位传感器系统的制造。通过实验证明了芯片厚度、调制频率、曲线线性度对系统性能的影响,获得多种生化参数的光寻址测试结果。 展开更多
关键词 LAPS 微电子机械系统 光寻址电位传感器 生化传感器 电解质溶液—绝缘层—半导体结构
在线阅读 下载PDF
一种基于SOI技术的MEMS电容式压力传感器 被引量：6
12
作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期345-350,共6页
利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电... 利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电容和参考电容差动输出形式,可以有效减小温度漂移和重力误差对压力测量准确度的影响。比较了无岛和有岛两种敏感膜的性能差异。为了提高传感器性能,利用成熟的MEMS加工工艺制作了SOI敏感电容极板,并利用硅-硅键合工艺实现了真空腔体。传感器采用标准塑封封装后,采用高低温压力测量系统进行了性能测试。测试结果表明,传感器量程达到30-120 kPa,非线性0.04%-0.09%,分辨率1 Pa。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 电容式压力传感器 高精度 绝缘体上硅(SOI) 硅-硅键合
在线阅读 下载PDF
基于微结构PDMS介质层的电容式柔性阵列压力传感器 被引量：14
13
作者 王瑞荣 侯鹏飞 +2 位作者 刘继军 李晓红 陈瞳 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第5期389-393,418,共6页
提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层... 提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层的传感器性能进行了测试。测试结果表明,采用微结构PDMS为介质层明显提高了传感器的灵敏度,当介质层厚度为0.5 mm时,0～5 kPa和5～20 kPa下传感器的灵敏度分别为0.18 kPa-1和0.02 kPa-1,同时传感器具有良好的重复性(>1 000次)、快速的响应时间(<200 ms)和低的检测极限(约为5.5 Pa)。该传感器能够准确、灵活地监测外部压力的变化和分布,适用于未来智能机器人中电子皮肤的应用。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 电容式传感器 微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS) 阵列 灵敏度
在线阅读 下载PDF
MEMS振动传感器快速自动标定系统 被引量：1
14
作者 李博 王娟 沈路 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第7期453-457,共5页
针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用... 针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定。首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用振动台、标准传感器、上位机电脑以及后台程序建立了MEMS振动传感器自动标定系统;通过数字编程接口,可以实现振动传感器的自动标定。最后,以中国电子科技集团公司第十三研究所研制MSA1000系列振动传感器作为试验对象,对传感器的偏值、标度因数、幅频及相频特性进行了标定和比对测试,充分验证了此种方法的效果和正确性,有效提高了MEMS振动传感器的标定效率。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 振动传感器 自动标定 静态参数 动态参数
在线阅读 下载PDF
一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器 被引量：2
15
作者 任臣 杨拥军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期325-331,共7页
为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准... 为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80μA。电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118 dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz。芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10^(-5)。该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能。 展开更多
关键词 专用集成电路(ASIC) 微电子机械系统(MEMS) 三级运算放大器 密勒补偿 高精度电容传感器
在线阅读 下载PDF
新型微机电系统的光纤传感器设计及应用 被引量：1
16
作者 吴勇翀 刘艳峰 《光通信技术》 北大核心 2016年第6期47-49,共3页
设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm... 设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器。 展开更多
关键词 微电子机械系统 传感器 MIM波导 微纳光纤
在线阅读 下载PDF
微电子机械技术的研究和发展趋势 被引量：3
17
作者 余丹铭 梁利华 许杨剑 《电子机械工程》 2005年第1期5-9,共5页
MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。
关键词 微电子机械系统 微传感器 发展趋势
在线阅读 下载PDF
MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究 被引量：4
18
作者 黄雨濛 戚昊琛 +1 位作者 胡智文 张鉴 《电子科技》 2015年第1期186-189,共4页
介绍了MEMS电容式压力传感器检测电路的5种实现方式:脉宽调制法、运算放大器法、电荷注入法、调频法和AC运放法。并从稳定性、测量灵敏度及抗杂散性等方面介绍了不同方式下检测电路的优缺点,为MEMS电容式压力传感器提供了参考。
关键词 微电子机械系统 电容压力传感器 检测电路 优缺点
在线阅读 下载PDF
高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
19
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
在线阅读 下载PDF
基于气体热对流的微机械倾角传感器综述 被引量：3
20
作者 陈辰 韩秋实 张福学 《北京信息科技大学学报（自然科学版）》 2009年第4期35-38,共4页
针对MEMS技术和气体热对流倾角传感器技术的结合,介绍了基于气体热对流的微机械倾角传感器的国内外研究现状和发展趋势;着重分析该种传感器的原理和性能特点,特别是融合了MEMS技术和气体热对流敏感机理的优点:使传感器具有体积小、重量... 针对MEMS技术和气体热对流倾角传感器技术的结合,介绍了基于气体热对流的微机械倾角传感器的国内外研究现状和发展趋势;着重分析该种传感器的原理和性能特点,特别是融合了MEMS技术和气体热对流敏感机理的优点:使传感器具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、可批量生产、优良的抗振动和抗冲击能力等特性。对基于气体热对流的微机械倾角传感器的进一步研究将有益于提高倾角传感器的性能和扩大其使用范围。 展开更多
关键词 热对流 气体摆 倾角传感器 微电子机械系统 加速度计
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 8 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部