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柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 被引量:4
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作者 吴澄 陈迪 +4 位作者 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1035-1040,共6页
设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现... 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求. 展开更多
关键词 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图
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连续流动式PCR芯片相关技术研究进展 被引量:7
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作者 章春笋 徐进良 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期114-118,123,共6页
微电子机械系统 (microeletromechanicalsystem,MEMS)技术的兴起及其在生物化学领域的广泛应用 ,推动了聚合酶链式反应 (polymerasechainreaction,PCR)热循环装置越来越微型化 ,各种PCR微芯片/装置被开发。本文主要介绍了基于MEMS技术... 微电子机械系统 (microeletromechanicalsystem,MEMS)技术的兴起及其在生物化学领域的广泛应用 ,推动了聚合酶链式反应 (polymerasechainreaction,PCR)热循环装置越来越微型化 ,各种PCR微芯片/装置被开发。本文主要介绍了基于MEMS技术的连续流动式PCR(continuous_flowPCR)芯片/微装置的相关技术 ,包括基底材料的选择、通道表面钝化技术、微细加工技术、封接技术以及系统检测技术等 。 展开更多
关键词 连续流动式PCR芯片技术 微电子机械系统技术 基底材料选择 表面钝化 微细加工 封接技术
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电化学传感器及其在芯片实验室中的应用 被引量:14
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作者 刘长春 崔大付 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第7期1-3,6,共4页
芯片实验室是一种微型化的生化分析仪器 ,而电化学传感器具有灵敏度高、易微型化、功耗小、成本低的特点 ,特别是它与目前的微电子机械系统技术兼容 ,因此它在芯片实验室发展过程显示出了诱人的应用前景。介绍了电化学传感器的原理、分... 芯片实验室是一种微型化的生化分析仪器 ,而电化学传感器具有灵敏度高、易微型化、功耗小、成本低的特点 ,特别是它与目前的微电子机械系统技术兼容 ,因此它在芯片实验室发展过程显示出了诱人的应用前景。介绍了电化学传感器的原理、分类及其在芯片实验室中的应用。 展开更多
关键词 电化学传感器 芯片实验室 生化分析仪器 微电子机械系统技术
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