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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计被引量：1: 1; 作者刘召军李坤 +3 位作者李云超胡旭文闫树斌张彦军《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页; 芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I... 展开更多; 关键词芯片原子钟(CSAC) 数字温控饱和吸收微电子机械系统(mems)原子气室氧化铟锡(ITO)加热玻璃; 在线阅读下载PDF 职称材料

芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装被引量：1: 2; 作者王锦曦闫树斌 +4 位作者苏浩杨啸宇罗云霞郭京华尔天《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页; 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^... 展开更多; 关键词微电子机械系统(mems) 芯片级原子钟(CSAC) 微通道铯(Cs)原子气室气密性; 在线阅读下载PDF 职称材料

环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）被引量：1: 3; 作者熊壮屈明山 +1 位作者张照云杨荷《微纳电子技术》北大核心 2018年第5期351-358,共8页; 基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效... 展开更多; 关键词微电子机械系统(mems) 谐振器力灵敏度原子力显微镜(AFM)探针品质因数谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器: 4; 作者仲逸飞林祖德刘景全《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第6期509-514,共6页; 碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄... 展开更多; 关键词微电子机械系统(mems) 微加热器碱金属原子钟氧化铟锡(ITO); 在线阅读下载PDF 职称材料

3D MIM电容器原子层沉积可控生长及电学性能: 5; 作者穆继亮徐方良 +2 位作者孙雅薇李芬丑修建《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期517-522,共6页; 为提高电容器的比电容,设计了基于三维（3D）结构的金属-绝缘体-金属（MIM）电容器。采用原子层沉积（ALD）技术制备电容器功能薄膜层,通过建立3D结构原子层沉积理论模型,拟合得到了原子层沉积过程中薄膜覆盖率与3D结构之间的依赖关系... 展开更多; 关键词原子层沉积(ALD) 三维结构金属-绝缘体-金属(MIM)电容器微电子机械系统(mems) 电学性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

核磁共振微陀螺的现状与发展被引量：11: 6; 作者李攀刘元正王继良《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第12期769-774,785,共7页; 基于核磁共振的微型陀螺仪以其小体积、低功耗、低成本等优势成为了惯性传感器领域新的研究热点。回顾了核磁共振陀螺仪的发展历程,并跟踪了国际上基于核磁共振的微型陀螺仪的最新研究动态。从核磁共振、光抽运和自旋交换碰撞三个方面... 展开更多; 关键词微型陀螺仪核磁共振(NMR) 原子自旋原子传感器微电子机械系统(mems); 在线阅读下载PDF 职称材料

题名芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计被引量：1: 1; 作者刘召军李坤李云超胡旭文闫树斌张彦军; 机构中北大学电子测试技术国防科技重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室北京动力机械研究所; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页; 基金国家重点研发计划资助项目(2017YFB0503200) 山西省自然基金资助项目(201701D121065) 领域基金公开项目(61400030601); 文摘芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。; 关键词芯片原子钟(CSAC) 数字温控饱和吸收微电子机械系统(mems)原子气室氧化铟锡(ITO)加热玻璃; Keywords chip scale atomic clock ( CSAC ) digital temperature control saturated absorption mems atomic vapor cell ITO heating glass; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装被引量：1: 2; 作者王锦曦闫树斌苏浩杨啸宇罗云霞郭京华尔天; 机构中北大学仪器与电子学院中北大学电气与控制工程学院浙江水利水电学院电气工程学院; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(61975189,61675185) 科技部国家重点研发计划资助项目(2017YFB0503200)。; 文摘为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^(-9)Pa·cm^(3)/s。采用L-Edit软件设计掩膜版,通过光刻工艺在光刻胶上制作所需图形,采用感应耦合等离子体刻蚀(ICPE)法将结构转移到硅片表面,刻蚀出微通道和两个腔室,其中一个腔室为反应腔,另一个为光学腔。通过低温阳极键合工艺封装原子气室,划片后即可得到玻璃-硅-玻璃三明治结构的气室。按照GJB548A-96标准(方法1014.2密封)的相关规定对MEMS气室先后进行了氦气细检和氟油粗检,测试结果验证了工艺的适用性,成品率达到96.08%。同时,搭建实验平台,测试了吸收谱线,得到了良好的谱线图。; 关键词微电子机械系统(mems) 芯片级原子钟(CSAC) 微通道铯(Cs)原子气室气密性; Keywords micro-electromechanical system(mems) chip-scale atomic clock(CSAC) microchannel cesium(Cs)atomic vapor cell hermeticity; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）被引量：1: 3; 作者熊壮屈明山张照云杨荷; 机构中国工程物理研究院电子工程研究所; 出处《微纳电子技术》北大核心 2018年第5期351-358,共8页; 基金 Chinese National Natural Science Foundation(61404121); 文摘基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。; 关键词微电子机械系统(mems) 谐振器力灵敏度原子力显微镜(AFM)探针品质因数谐振频率; Keywords micro-electromechanical system （mems） resonator force sensitivityl atomic force microscope （AFM） probe quality factors resonance frequency; 分类号 TH742.9 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器: 4; 作者仲逸飞林祖德刘景全; 机构微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第6期509-514,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(61728402)。; 文摘碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一种可用于双腔体蒸气腔室的微型加热器,并利用仿真估算了微加热器的加热效果。基于微电子机械系统(MEMS)薄膜制备工艺,利用溅射沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜与Cr/Au薄膜,利用剥离工艺将薄膜图形化后制备了微加热器的结构。经过光学、热学和电学测试可知,该微加热器在700~900 nm波长内能够保持80%以上的透光率;在外接电压不低于4 V时,能为碱金属蒸气腔室提供100℃以上的工作温度;在5~10 min的预热时间后,该微加热器的加热范围可以覆盖双腔体蒸气腔室75%以上的区域。该微加热器很好地满足了多腔体蒸气腔室的使用需求。; 关键词微电子机械系统(mems) 微加热器碱金属原子钟氧化铟锡(ITO); Keywords micro-electromechanical system(mems) micro heater alkali metal atomic clock indium tin oxide(ITO); 分类号 TN303 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名3D MIM电容器原子层沉积可控生长及电学性能: 5; 作者穆继亮徐方良孙雅薇李芬丑修建; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室北方自动控制技术研究所; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期517-522,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(61471326); 文摘为提高电容器的比电容,设计了基于三维（3D）结构的金属-绝缘体-金属（MIM）电容器。采用原子层沉积（ALD）技术制备电容器功能薄膜层,通过建立3D结构原子层沉积理论模型,拟合得到了原子层沉积过程中薄膜覆盖率与3D结构之间的依赖关系。基于该模型优化了工艺参数,制备了不同介质层厚度的电容器,并对器件进行了C-V和I-V特性测试,得到电容器击穿场强和介电常数均值分别为6.68 MV/cm和7.95。同时,制备的3D MIM电容器的比电容达到212.5 fF/μm2,相比常规平面电容器,其电容密度提高了一个数量级。且该电容器击穿场强和介电常数与薄膜厚度之间具有良好的线性关系,表明理论模型合理,实现了基于3D结构的原子层沉积薄膜可控生长。; 关键词原子层沉积(ALD) 三维结构金属-绝缘体-金属(MIM)电容器微电子机械系统(mems) 电学性能; Keywords atomic layer deposition （ALD） three-dimensional structure metal-insulator-metal（MIM） capacitor micro-electromechanical system （mems） electrical property; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名核磁共振微陀螺的现状与发展被引量：11: 6; 作者李攀刘元正王继良; 机构西安飞行自动控制研究所; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第12期769-774,785,共7页; 基金十二五支撑项目(61901060301); 文摘基于核磁共振的微型陀螺仪以其小体积、低功耗、低成本等优势成为了惯性传感器领域新的研究热点。回顾了核磁共振陀螺仪的发展历程,并跟踪了国际上基于核磁共振的微型陀螺仪的最新研究动态。从核磁共振、光抽运和自旋交换碰撞三个方面介绍了核磁共振微陀螺的理论基础和主要涉及的物理效应。针对核磁共振微陀螺的不同结构对其进行分类,并从工作原理和性能参数等方面分别进行了阐述。最后,分析了核磁共振微陀螺的应用领域,对其发展趋势和实际应用所面临的挑战进行了展望,并指出磁抑制和磁屏蔽技术将会成为制约核磁共振微陀螺实际应用的难点。; 关键词微型陀螺仪核磁共振(NMR) 原子自旋原子传感器微电子机械系统(mems); Keywords microgyroscope nuclear magnetic resonance （NMR） atomic spin atom sensor mi-cro-electromechanical system （mems）; 分类号 V241.557 [航空宇航科学与技术—飞行器设计] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计	刘召军李坤李云超胡旭文闫树斌张彦军	《半导体技术》 CAS 北大核心	2019	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装	王锦曦闫树斌苏浩杨啸宇罗云霞郭京华尔天	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）	熊壮屈明山张照云杨荷	《微纳电子技术》北大核心	2018	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于MEMS工艺的碱金属蒸气腔室微加热器	仲逸飞林祖德刘景全	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	3D MIM电容器原子层沉积可控生长及电学性能	穆继亮徐方良孙雅薇李芬丑修建	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	核磁共振微陀螺的现状与发展	李攀刘元正王继良	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2012	11	在线阅读下载PDF 职称材料