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TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究
被引量：
15
1
作者
刘剑霜
郭鹏飞
李伙全
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2012年第2期78-80,共3页
针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论...
针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。
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关键词
TCAD技术
微电子实验教学
虚拟
实验
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职称材料
题名
TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究
被引量：
15
1
作者
刘剑霜
郭鹏飞
李伙全
机构
扬州大学物理科学与技术学院
出处
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2012年第2期78-80,共3页
基金
扬州大学自然科学基金资助项目(2006XJJ02)
扬州大学教改基金资助项目(2011-12)
文摘
针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。
关键词
TCAD技术
微电子实验教学
虚拟
实验
Keywords
technology CAD
microelectronic experimental teaching
virtual experiments
分类号
G434 [文化科学—教育技术学]
N45 [自然科学总论]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究
刘剑霜
郭鹏飞
李伙全
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2012
15
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