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题名微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究
被引量：17
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作者
宋文荣
于国飞
孙宝玉
王延风
何惠阳
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
吉林大学机械科学与工程学院
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第3期271-275,共5页
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文摘
利用磁悬浮技术将铁磁性平台悬浮在磁场中 ,通过线性电机无接触驱动 ,结合控制技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向力两个磁悬浮系统合二为一 ,即结构简单 ,控制容易又能获得精确的导向精度。选用线性同步电机 ,避免了感应电机磁场感应所产生的法向力对平台的振动作用 ,有利于悬浮系统的控制。悬浮系统无接触 ,无摩擦 ,克服了磨损、金属粉尘及油脂污染等问题 ;无接触线性驱动减少了机械联结件 ,消除了联结间隙 ,减轻了重量 ,能有效提高动态响应频率和定位精度 ;这些使定位平台能够满足现代信息产业对超洁净制作环境和高精度。
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关键词
微电子制造领域
磁悬浮
定位平台
线性电机
无接触驱动
HOPF分叉
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Keywords
magnetic levitation
position stage
linear motors
non_contact drive
Hopf bifurcation
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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