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热致动硅微夹钳实验研究
被引量：
1
1
作者
张永宇
沈雪瑾
+1 位作者
赵江铭
陈晓阳
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期132-134,共3页
利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试...
利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.
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关键词
微热致动器
微
夹钳
多晶硅
微
机电系统
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职称材料
题名
热致动硅微夹钳实验研究
被引量：
1
1
作者
张永宇
沈雪瑾
赵江铭
陈晓阳
机构
上海大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期132-134,共3页
基金
国家自然科学基金资助重点项目(50135054)
上海市科技发展基金资助项目(0111nm020)
文摘
利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.
关键词
微热致动器
微
夹钳
多晶硅
微
机电系统
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TH112 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热致动硅微夹钳实验研究
张永宇
沈雪瑾
赵江铭
陈晓阳
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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