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题名微热流矢量传感器的声号筒增敏结构设计
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作者
郝涛涛
郭世旭
胡清扬
王萧博
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机构
中国计量大学原位计量教育部重点实验室
浙江省计量科学研究院国家市场监管重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CSCD
北大核心
2024年第12期2029-2036,共8页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(11904346)。
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文摘
为了能有效提高微热流矢量传感器的灵敏度,同时不改变其“8”字指向性,设计了一种微型声振速号筒结构,可以在不增加电噪声的前提下,实现微热流MEMS传感器在工作频段内的物理增敏,且对MEMS芯片起到保护作用。通过COMSOL中的热粘性声学模块,建立声号筒仿真模型对理论方程进行求解,选择最优的双锥管型结构;改变声号筒的尺寸参数,确定声号筒的加工尺寸;将MEMS技术加工的微热流传感器和微米级精度3D打印的声号筒组合成联合增敏单元进行空气声学性能测试。最终实验表明:声号筒增敏结构可提供12 dB@200 Hz的灵敏度增益,联合增敏单元有良好的“8”字指向性,横向抑制比为26.09 dB@500 Hz。
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关键词
微热流矢量传感器
声号筒增敏结构
联合增敏单元
MEMS
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Keywords
u-flown vector sensor
acoustic horn sensitization structure
Joint sensitization unit
MEMS
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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