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基于立体成型法的微激励器静态特性分析
被引量：
1
1
作者
于殿泓
郭俊杰
+2 位作者
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可...
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。
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关键词
微激励器
立体成型
静电力
稳定平衡
微
机电
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职称材料
基于导重法的微静电激励器的优化设计研究
2
作者
王虎奇
陆洋
何海钊
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2015年第2期405-411,共7页
微静电激励器是一种有代表性的微机电器件,为了优化该器件结构的面积,以SUGAR软件作为分析器提出采用导重法对微机电系统器件进行优化设计,与国内外采用的遗传算法等自然模拟优化算法相比,计算效率大大提高。采用遗传算法需要上万次分析...
微静电激励器是一种有代表性的微机电器件,为了优化该器件结构的面积,以SUGAR软件作为分析器提出采用导重法对微机电系统器件进行优化设计,与国内外采用的遗传算法等自然模拟优化算法相比,计算效率大大提高。采用遗传算法需要上万次分析,本方法仅需六七次优化迭代,几十次分析即可找到最优解。表明导重法通过计算设计变量对优化目标函数的敏度来加快优化速度,避免了自然模拟法的逐个比较的繁琐,在工程产品优化设计上值得推广。
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关键词
微
静电
激励器
导重法
自然模拟法
优化设计
SUGAR
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职称材料
硬盘两级伺服磁头定位系统的鲁棒控制
被引量：
3
3
作者
程国扬
金文光
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第2期134-137,共4页
为实现更快捷和精确的硬盘磁头定位,在硬盘固有的音圈电机上附加一个压电微激励器,从而构成了硬盘两级伺服磁头定位系统。在控制系统的设计中,利用了压电微激励器的频率特性来估计其位移输出,进而估计音圈电机的输出位移;对音圈电机的...
为实现更快捷和精确的硬盘磁头定位,在硬盘固有的音圈电机上附加一个压电微激励器,从而构成了硬盘两级伺服磁头定位系统。在控制系统的设计中,利用了压电微激励器的频率特性来估计其位移输出,进而估计音圈电机的输出位移;对音圈电机的控制设计采用了一种积分增强的鲁棒完美跟踪(RPT)控制技术,实现快速、平稳和无静差的定点跟踪;微激励器环路的控制采用定值比例及滤波器,使得合并的位移输出能更快地跟踪目标磁道。仿真和实验结果验证了设计的有效性。
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关键词
硬盘
伺服系统
微激励器
跟踪控制
鲁棒控制
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职称材料
题名
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
被引量：
1
1
作者
于殿泓
郭俊杰
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
机构
西安理工大学机械与精密仪器学院
西安交通大学机械工程学院
日本国近畿大学理工学部
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目!(5 95 75 0 71) .
文摘
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。
关键词
微激励器
立体成型
静电力
稳定平衡
微
机电
Keywords
Lithography
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
基于导重法的微静电激励器的优化设计研究
2
作者
王虎奇
陆洋
何海钊
机构
广西科技大学机械工程学院
广西科技大学图书馆
出处
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2015年第2期405-411,共7页
基金
广西自然科学基金项目(2014GXNSFAA118337)
广西区教育厅项目(201203YB128)
广西工学院基金(院科博11Z11)
文摘
微静电激励器是一种有代表性的微机电器件,为了优化该器件结构的面积,以SUGAR软件作为分析器提出采用导重法对微机电系统器件进行优化设计,与国内外采用的遗传算法等自然模拟优化算法相比,计算效率大大提高。采用遗传算法需要上万次分析,本方法仅需六七次优化迭代,几十次分析即可找到最优解。表明导重法通过计算设计变量对优化目标函数的敏度来加快优化速度,避免了自然模拟法的逐个比较的繁琐,在工程产品优化设计上值得推广。
关键词
微
静电
激励器
导重法
自然模拟法
优化设计
SUGAR
Keywords
micro electrostatic actuator
guide weight method
natural simulation algorithm
opti- mization design
SUGAR
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
硬盘两级伺服磁头定位系统的鲁棒控制
被引量：
3
3
作者
程国扬
金文光
机构
新加坡国立大学电机工程系
清华大学自动化系
出处
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第2期134-137,共4页
文摘
为实现更快捷和精确的硬盘磁头定位,在硬盘固有的音圈电机上附加一个压电微激励器,从而构成了硬盘两级伺服磁头定位系统。在控制系统的设计中,利用了压电微激励器的频率特性来估计其位移输出,进而估计音圈电机的输出位移;对音圈电机的控制设计采用了一种积分增强的鲁棒完美跟踪(RPT)控制技术,实现快速、平稳和无静差的定点跟踪;微激励器环路的控制采用定值比例及滤波器,使得合并的位移输出能更快地跟踪目标磁道。仿真和实验结果验证了设计的有效性。
关键词
硬盘
伺服系统
微激励器
跟踪控制
鲁棒控制
Keywords
hard disk drive
servo system
microactuator
tracking control
robust control
分类号
TP273.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
于殿泓
郭俊杰
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于导重法的微静电激励器的优化设计研究
王虎奇
陆洋
何海钊
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
硬盘两级伺服磁头定位系统的鲁棒控制
程国扬
金文光
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2006
3
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职称材料
已选择
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