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一种优化的微测热辐射计热学参数性能测试分析方法
被引量：
4
1
作者
刘子骥
吕坚
+2 位作者
郑兴
蒋亚东
王涛
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期183-187,共5页
优化的微测热辐射计热学参数的测试方法,与传统测试方法相比,能够实现热导和响应时间的精确测量,克服热学参数评估依赖仿真的缺陷,且该方法易于实现,工程应用性强.通过对研制的微测热辐射计性能进行相应的测试,确定了该测试方法准确、可靠.
关键词
微测热辐射计
测
试
热
导
热
容
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职称材料
微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究
被引量：
3
2
作者
许旻
崔敬忠
贺德衍
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期419-422,共4页
用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜 .利用X射线衍射 ,X射线光电子谱 ,原子力显微镜 ,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试 .结果表明 ,沉积薄膜的电阻温度系数大于 1.8% /℃ ,方块电阻为 2...
用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜 .利用X射线衍射 ,X射线光电子谱 ,原子力显微镜 ,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试 .结果表明 ,沉积薄膜的电阻温度系数大于 1.8% /℃ ,方块电阻为 2 2± 5kΩ/□ .
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关键词
氧化钒薄膜
射频磁控反应溅射法
X射线衍射
原子力显
微
镜
分光光度计
电阻温度系数
微测热辐射计
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职称材料
基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
被引量：
1
3
作者
郑兴
刘子骥
+4 位作者
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期326-331,共6页
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏...
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏层、吸收层应力分别为+200 Mpa、+200 Mpa、+200 Mpa、0 Mpa、-400 Mpa的最佳应力组合,最小微桥单元形变(0.0385μm).通过各膜层残余应力控制,制备出基于该优化微桥单元结构的320×240太赫兹焦平面阵列,获得与仿真结果相符的极小形变微桥.
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关键词
太赫兹
微测热辐射计
力学仿真
残余应力
正交实验设计
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职称材料
题名
一种优化的微测热辐射计热学参数性能测试分析方法
被引量：
4
1
作者
刘子骥
吕坚
郑兴
蒋亚东
王涛
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期183-187,共5页
基金
国家自然科学基金(608206021)~~
文摘
优化的微测热辐射计热学参数的测试方法,与传统测试方法相比,能够实现热导和响应时间的精确测量,克服热学参数评估依赖仿真的缺陷,且该方法易于实现,工程应用性强.通过对研制的微测热辐射计性能进行相应的测试,确定了该测试方法准确、可靠.
关键词
微测热辐射计
测
试
热
导
热
容
Keywords
microbolometer
test
thermal conductance
thermal capacitance
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究
被引量：
3
2
作者
许旻
崔敬忠
贺德衍
机构
兰州大学物理科学技术学院
兰州物理所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期419-422,共4页
文摘
用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜 .利用X射线衍射 ,X射线光电子谱 ,原子力显微镜 ,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试 .结果表明 ,沉积薄膜的电阻温度系数大于 1.8% /℃ ,方块电阻为 2 2± 5kΩ/□ .
关键词
氧化钒薄膜
射频磁控反应溅射法
X射线衍射
原子力显
微
镜
分光光度计
电阻温度系数
微测热辐射计
Keywords
vanadium oxide
thin films
microbolometer
TCR
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
被引量：
1
3
作者
郑兴
刘子骥
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期326-331,共6页
基金
国家自然科学基金创新研究群体科学基金(61421002)
国家自然科学基金(61235006、61501092)
中央高校基本科研业务费项目(ZYGX2015KYQD016)~~
文摘
桥面多层膜系残余应力匹配是消除太赫兹微测辐射热计微桥结构形变的重要手段.仿真建立了像元尺寸为35μm×35μm微桥单元有限元模型.基于实验设计(DOE)正交法,采用IntelliSuite软件进行应力仿真,获得支撑层、钝化层、电极层、热敏层、吸收层应力分别为+200 Mpa、+200 Mpa、+200 Mpa、0 Mpa、-400 Mpa的最佳应力组合,最小微桥单元形变(0.0385μm).通过各膜层残余应力控制,制备出基于该优化微桥单元结构的320×240太赫兹焦平面阵列,获得与仿真结果相符的极小形变微桥.
关键词
太赫兹
微测热辐射计
力学仿真
残余应力
正交实验设计
Keywords
THz microbolometer
mechanical simulation
residual stress
orthogonal design of experiment
分类号
O441 [理学—电磁学]
O451 [理学—无线电物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种优化的微测热辐射计热学参数性能测试分析方法
刘子骥
吕坚
郑兴
蒋亚东
王涛
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究
许旻
崔敬忠
贺德衍
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于DOE策略的多层薄膜残余应力对太赫兹微桥形变的影响
郑兴
刘子骥
顾德恩
苟君
马家锋
黎威志
吴志明
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
在线阅读
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职称材料
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