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新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制
被引量：
1
1
作者
牛蒙年
丁辛芳
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1997年第1期75-81,共7页
报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积...
报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积为８ｍｍｘ６ｍｍ，微流通池体积为０．７ｍｍｘ５．０ｍｍ×０．３ｍｍ，当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池ｐＨ－ＩＳＦＥＴ流动注入分析（ＦＩＡ）系统。实验结果表明，该集成传感器和ＦＩＡ系统具有响应快、耗样液量少等特点，且稳定性和可靠性大为提高。
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关键词
传感器
微流通池
pH-ISFET传感器
流动注入分析
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职称材料
题名
新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制
被引量：
1
1
作者
牛蒙年
丁辛芳
机构
东南大学
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1997年第1期75-81,共7页
文摘
报道了一种新型微流通池ｐＥ－ＩＳＦＥＴ集成传感器，该集成传感器采用常规ＩＣ工艺、微加工技术和键合技术，实现微流通池、四对长臂式ＩＳＦＥＴ／ＲＥＦＥＴ传感器（差分测量用）和Ｔｉ／Ａｕ膜伪参考电极芯片一体化结构，芯片面积为８ｍｍｘ６ｍｍ，微流通池体积为０．７ｍｍｘ５．０ｍｍ×０．３ｍｍ，当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池ｐＨ－ＩＳＦＥＴ流动注入分析（ＦＩＡ）系统。实验结果表明，该集成传感器和ＦＩＡ系统具有响应快、耗样液量少等特点，且稳定性和可靠性大为提高。
关键词
传感器
微流通池
pH-ISFET传感器
流动注入分析
Keywords
pH-ISFET integrated sensor, micro flow-through cell, Ti/Au filmpseudo-reference electrode, ISFET/REFET structure, FIA system
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH832 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制
牛蒙年
丁辛芳
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1997
1
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参考文献
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