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驱动方式对微流体陀螺仪输出信号的影响
被引量：
2
1
作者
赵燕
苏岩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期889-893,共5页
研究了不同驱动方式下微流体陀螺仪敏感信号的检测方法及其特性。介绍了陀螺仪的工作原理,给出了两种驱动方式下的信号检测方案。直流电压驱动时,敏感到直流流速,经过差动电桥放大后,可得输出电压。交流电压驱动时,敏感到交流流速,用相...
研究了不同驱动方式下微流体陀螺仪敏感信号的检测方法及其特性。介绍了陀螺仪的工作原理,给出了两种驱动方式下的信号检测方案。直流电压驱动时,敏感到直流流速,经过差动电桥放大后,可得输出电压。交流电压驱动时,敏感到交流流速,用相干检测方法提取有用信号,通过低通滤波、放大,最终得到正比于外界输入角速度的直流电压。实验数据分析可得:交流电压驱动时,输出信号的标度因数为17.05μV/(°)s-1,标度因数非线性为5.725%,标度因数对称性为4.52%,零偏及零偏稳定性为1 066°/s和14.3°/s;直流驱动时指标分别为400.8μV/(°)s-1、12.129%、15.29%、4 803°/s和43.5°/s。结果表明:从综合指标方面看交流电压驱动方式和相关检测方案下测量效果最佳。
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关键词
微流体陀螺
驱动方式
信号测量
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职称材料
MEMS流体陀螺的研究进展
2
作者
秦奎
张卫平
陈文元
《现代电子技术》
2010年第10期172-174,共3页
随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和...
随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和超流体陀螺,气体对流陀螺和射流微陀螺属于常用的典型流体陀螺,而ECF流体陀螺和超流体陀螺属于新型的流体陀螺,分别分析了它们的原理和应用情况,并对它们的应用前景进行了展望,微流体陀螺将在惯性导航和自动控制等方面发挥越来越重要的作用。
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关键词
MEMS技术
惯性器件
微流体陀螺
惯性导航
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职称材料
题名
驱动方式对微流体陀螺仪输出信号的影响
被引量：
2
1
作者
赵燕
苏岩
机构
南京工业职业技术学院电气与自动化系
南京理工大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期889-893,共5页
基金
国家973工程资助项目(No.51326010404)
国家自然科学基金资助项目(No.10572039)
文摘
研究了不同驱动方式下微流体陀螺仪敏感信号的检测方法及其特性。介绍了陀螺仪的工作原理,给出了两种驱动方式下的信号检测方案。直流电压驱动时,敏感到直流流速,经过差动电桥放大后,可得输出电压。交流电压驱动时,敏感到交流流速,用相干检测方法提取有用信号,通过低通滤波、放大,最终得到正比于外界输入角速度的直流电压。实验数据分析可得:交流电压驱动时,输出信号的标度因数为17.05μV/(°)s-1,标度因数非线性为5.725%,标度因数对称性为4.52%,零偏及零偏稳定性为1 066°/s和14.3°/s;直流驱动时指标分别为400.8μV/(°)s-1、12.129%、15.29%、4 803°/s和43.5°/s。结果表明:从综合指标方面看交流电压驱动方式和相关检测方案下测量效果最佳。
关键词
微流体陀螺
驱动方式
信号测量
Keywords
micro-fluidic gyroscope
drive modes
signal measurement
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
MEMS流体陀螺的研究进展
2
作者
秦奎
张卫平
陈文元
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《现代电子技术》
2010年第10期172-174,共3页
基金
国家自然科学基金(60876083)
上海市人才发展资金项目(047)
文摘
随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和超流体陀螺,气体对流陀螺和射流微陀螺属于常用的典型流体陀螺,而ECF流体陀螺和超流体陀螺属于新型的流体陀螺,分别分析了它们的原理和应用情况,并对它们的应用前景进行了展望,微流体陀螺将在惯性导航和自动控制等方面发挥越来越重要的作用。
关键词
MEMS技术
惯性器件
微流体陀螺
惯性导航
Keywords
MEMS technology
inertial devices
micro-fluid gyroscope
inertial navigation
分类号
V241.6 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
驱动方式对微流体陀螺仪输出信号的影响
赵燕
苏岩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
MEMS流体陀螺的研究进展
秦奎
张卫平
陈文元
《现代电子技术》
2010
0
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职称材料
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