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题名微小型高压力流体电磁控制阀
被引量：3
- 1
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作者
范瑞丽
李勇
陈旭鹏
叶雄英
周兆英
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期452-455,460,共5页
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基金
"973"项目"微米尺度流体输运相关问题研究"(G19990 3 3 10 6)资助项目
"863"项目"微执行器研究"(2 0 0 2AA40 42 90 )资助项目
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文摘
用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理 ,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成 ,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化 ,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为 0～5atm ,阀的驱动响应时间小于 5ms,流量控制分辨率达到 9μL/ pulse 。
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关键词
电磁控制阀
微小型阀
微流体控制系统
工作性能
流体压力
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Keywords
microvalve
micro fluidic control
high pressure resistance
electromagnetic actuator
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分类号
TH134
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名基于MEMS的微型泵技术研究
被引量：11
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作者
崔建国
郑小林
侯文生
彭承琳
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机构
重庆大学
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出处
《中国医疗器械杂志》
CAS
2004年第3期190-193,共4页
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基金
"863"项目--基于MEMS的人体消化道诊疗系统(2002AA404190)资助
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文摘
基于硅微结构的微流体控制系统——微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物,医学、化工、电子、航空等领域。综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法。
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关键词
微机电系统
微流体控制系统
微型泵
驱动原理
形状记忆合金
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Keywords
MEMS
micro fluidic controlling system
micro pump
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分类号
TH772.2
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名基于硅结构的微混合器研究进展与应用
被引量：2
- 3
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作者
张仁元
黄金
李昌明
柯秀芳
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机构
广东工业大学材料与能源学院
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期67-69,共3页
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文摘
阐述了微混合器的一般概念,从不同角度对微混合器进行分类,综述了微混合器的国内外研究现状,从尺度效应、表面效应和多相流等3个方面分析了微混合器研究过程中存在的问题和今后的研究方向,就微混合器在生物芯片和微小型化学化工机械系统中的应用作了简要说明,展望了微混合器的研究前景。
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关键词
微混合器
尺度效应
表面效应
微机电系统
硅结构
微流体控制系统
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Keywords
microfluidic
micromixer
silicon structure
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分类号
O657
[理学—分析化学]
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