期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用
被引量：
6
1
作者
马雅丽
刘文开
+1 位作者
刘冲
杜立群
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期1228-1233,共6页
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺...
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺过程中的溶胀现象、匀胶不平整和去除困难等问题进行分析,提出在掩膜板图形四周增设封闭的宽度为20μm的隔离带来减少图形四周SU-8厚胶体积,改善了该处胶模的热溶胀变形,使铸层的尺寸误差由原来的35μm降低到10μm,300μm高的微柱体侧壁陡直。隔离带的引入有效地提高了铸层图形的尺寸和形状精度。由于采用了刮胶的匀胶工艺和发烟硫酸去除SU-8胶的方法,消除了"边缘水珠效应",彻底去除了SU-8胶。采用提出的方法可获得铸层质量好,与基底结合强度高的微注塑模具型腔。
展开更多
关键词
细胞培养器
UV-LIGA技术
SU-8胶
微注塑模具型腔
微
结构
在线阅读
下载PDF
职称材料
UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔
2
作者
马雅丽
刘文开
+1 位作者
路学成
刘冲
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期478-483,共6页
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化...
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的SU-8胶的建议工艺条件：固定边框厚度进行刮胶;梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5-6.0h;紫外光接触式曝光,剂量630mJ/cm2;85℃中烘15min,显影20min.针对Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数,将电流密度和pH分别控制在3A/dm2以下和3.8-4.4.最终成功获得高质量的微注塑模具型腔.
展开更多
关键词
UV-LIGA技术
SU-8胶
微
细电铸
微注塑模具型腔
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用
被引量：
6
1
作者
马雅丽
刘文开
刘冲
杜立群
机构
军事交通学院军事物流系
大连理工大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期1228-1233,共6页
基金
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13)
文摘
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺过程中的溶胀现象、匀胶不平整和去除困难等问题进行分析,提出在掩膜板图形四周增设封闭的宽度为20μm的隔离带来减少图形四周SU-8厚胶体积,改善了该处胶模的热溶胀变形,使铸层的尺寸误差由原来的35μm降低到10μm,300μm高的微柱体侧壁陡直。隔离带的引入有效地提高了铸层图形的尺寸和形状精度。由于采用了刮胶的匀胶工艺和发烟硫酸去除SU-8胶的方法,消除了"边缘水珠效应",彻底去除了SU-8胶。采用提出的方法可获得铸层质量好,与基底结合强度高的微注塑模具型腔。
关键词
细胞培养器
UV-LIGA技术
SU-8胶
微注塑模具型腔
微
结构
Keywords
cell culture device
UV-LIGA technology
SU-8 thick photoresist
micro-injection mold cavity
microstructure
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
Q-337 [生物学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔
2
作者
马雅丽
刘文开
路学成
刘冲
机构
军事交通学院军事物流系
大连理工大学机械工程学院
出处
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期478-483,共6页
基金
"十一五"国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13)
文摘
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的SU-8胶的建议工艺条件：固定边框厚度进行刮胶;梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5-6.0h;紫外光接触式曝光,剂量630mJ/cm2;85℃中烘15min,显影20min.针对Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数,将电流密度和pH分别控制在3A/dm2以下和3.8-4.4.最终成功获得高质量的微注塑模具型腔.
关键词
UV-LIGA技术
SU-8胶
微
细电铸
微注塑模具型腔
Keywords
UV-LIGA technology
SU-8 photoresist
micro-electroforming
micro-injection moldcavity
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TN305 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用
马雅丽
刘文开
刘冲
杜立群
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔
马雅丽
刘文开
路学成
刘冲
《大连理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
