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UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用被引量：6: 1; 作者马雅丽刘文开 +1 位作者刘冲杜立群《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1228-1233,共6页; 研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺... 展开更多; 关键词细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶微注塑模具型腔微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

超声时效技术在微注塑模具制作中的应用被引量：4: 2; 作者杜立群李成斌 +1 位作者李永辉于同敏《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1250-1256,共7页; 针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题,提出将超声时效技术应用于微注塑模具的制作工艺。首先,利用紫外光刻工艺制备了电铸胶膜,在显影前使用自制的超声时效装置对胶膜进行超... 展开更多; 关键词超声时效技术微注塑模具 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶内应力; 在线阅读下载PDF 职称材料

UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔: 3; 作者马雅丽刘文开 +1 位作者路学成刘冲《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期478-483,共6页; 设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化... 展开更多; 关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶微细电铸微注塑模具型腔; 在线阅读下载PDF 职称材料

线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具被引量：5: 4; 作者钟金明伍晓宇 +3 位作者徐斌罗烽李积彬阮双琛《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期988-995,共8页; 采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先,在脉冲宽度为10μs,脉冲间隔为40μs,线切割电流为0.28A,电压为60V的条件下,对100μm... 展开更多; 关键词三维微结构微注塑模具线切割真空压力热扩散焊; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤针头座注塑模具设计被引量：2: 5; 作者付宏生沈建新刘华刚《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期65-67,共3页; 以牙科治疗机上最细一款的光纤针头座为例介绍其注塑模具设计过程,包括型腔数及模架确定、浇注系统设计、抽芯方式确定、冷却及推出方式确定,重点探讨了成型直径0.26 mm微孔用细镶针的加工等技术难点及解决方案,并分析了该模具的经济效... 展开更多; 关键词光纤针头座注塑模具微孔定位精度尺寸公差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用被引量：6: 1; 作者马雅丽刘文开刘冲杜立群; 机构军事交通学院军事物流系大连理工大学机械工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1228-1233,共6页; 基金国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13); 文摘研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺过程中的溶胀现象、匀胶不平整和去除困难等问题进行分析,提出在掩膜板图形四周增设封闭的宽度为20μm的隔离带来减少图形四周SU-8厚胶体积,改善了该处胶模的热溶胀变形,使铸层的尺寸误差由原来的35μm降低到10μm,300μm高的微柱体侧壁陡直。隔离带的引入有效地提高了铸层图形的尺寸和形状精度。由于采用了刮胶的匀胶工艺和发烟硫酸去除SU-8胶的方法,消除了"边缘水珠效应",彻底去除了SU-8胶。采用提出的方法可获得铸层质量好,与基底结合强度高的微注塑模具型腔。; 关键词细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶微注塑模具型腔微结构; Keywords cell culture device UV-LIGA technology SU-8 thick photoresist micro-injection mold cavity microstructure; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] Q-337 [生物学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超声时效技术在微注塑模具制作中的应用被引量：4: 2; 作者杜立群李成斌李永辉于同敏; 机构大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1250-1256,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51075057 50675025); 文摘针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题,提出将超声时效技术应用于微注塑模具的制作工艺。首先,利用紫外光刻工艺制备了电铸胶膜,在显影前使用自制的超声时效装置对胶膜进行超声处理。然后,采用无背板生长方法在38CrNiMnMo模具钢基底上直接进行镍金属的电铸生长,讨论并解决了工艺过程中遇到的SU-8胶浮胶变形、非圆形基片的匀胶、胶膜中的气泡以及微电铸层结合不牢等问题。最后,制作出微通道宽度和高度分别为80μm和35μm的微注塑模具。实验结果表明,超声时效技术的使用避免了由于SU-8胶内应力过大引起的破裂、变形甚至从基底脱落等缺陷,增强了UV-LIGA技术制作微注塑模具的能力,提高了制作微注塑模具的成功率。; 关键词超声时效技术微注塑模具 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶内应力; Keywords ultrasonic stress relief technology microinjection mold UV-LIGA process l SU-8 photo-resist~ internal stress; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TB559 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔: 3; 作者马雅丽刘文开路学成刘冲; 机构军事交通学院军事物流系大连理工大学机械工程学院; 出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期478-483,共6页; 基金 "十一五"国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13); 文摘设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的SU-8胶的建议工艺条件：固定边框厚度进行刮胶;梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5-6.0h;紫外光接触式曝光,剂量630mJ/cm2;85℃中烘15min,显影20min.针对Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数,将电流密度和pH分别控制在3A/dm2以下和3.8-4.4.最终成功获得高质量的微注塑模具型腔.; 关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶微细电铸微注塑模具型腔; Keywords UV-LIGA technology SU-8 photoresist micro-electroforming micro-injection moldcavity; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具被引量：5: 4; 作者钟金明伍晓宇徐斌罗烽李积彬阮双琛; 机构深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室深圳大学广东省高校先进光学精密制造技术重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期988-995,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51175348 No.51375315 +3 种基金 No.51405306) No.JCYJ20140418095735629); 文摘采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构。分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具。首先,在脉冲宽度为10μs,脉冲间隔为40μs,线切割电流为0.28A,电压为60V的条件下,对100μm厚的铜箔进行线切割,获得了多层二维微结构。然后,在热扩散温度为850℃,热扩散时间为10h,压力为1.0μPa的工艺参数作用下,对多层铜箔二维微结构进行真空压力热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加形成微模具,并制备了六棱台微型腔模具及微型级联齿轮模具。实验结果表明:三维微模具表面形貌较好,制作结果较理想,与设计模型基本相符。最后,通过超声模压成型分别获得了二阶和三阶的塑料级联齿轮。这些微塑件质量良好,验证了该工艺方法的可行性。; 关键词三维微结构微注塑模具线切割真空压力热扩散焊; Keywords 3D micro-structure micro-injection mold Wire Electrical Discharge Mechining（WEDM） vacuum pressure thermal diffusion welding; 分类号 TG76 [金属学及工艺—刀具与模具]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤针头座注塑模具设计被引量：2: 5; 作者付宏生沈建新刘华刚; 机构北京电子科技职业学院北京莱比德精密模具有限责任公司; 出处《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期65-67,共3页; 文摘以牙科治疗机上最细一款的光纤针头座为例介绍其注塑模具设计过程,包括型腔数及模架确定、浇注系统设计、抽芯方式确定、冷却及推出方式确定,重点探讨了成型直径0.26 mm微孔用细镶针的加工等技术难点及解决方案,并分析了该模具的经济效益、社会效益及推广应用前景。; 关键词光纤针头座注塑模具微孔定位精度尺寸公差; Keywords light minute pinhead seat, injection mould, tiny hole, orientation precision, dimension tolerance; 分类号 TP333.81 [自动化与计算机技术—计算机系统结构] TG385.2 [金属学及工艺—金属压力加工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用	马雅丽刘文开刘冲杜立群	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	超声时效技术在微注塑模具制作中的应用	杜立群李成斌李永辉于同敏	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔	马雅丽刘文开路学成刘冲	《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具	钟金明伍晓宇徐斌罗烽李积彬阮双琛	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	光纤针头座注塑模具设计	付宏生沈建新刘华刚	《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料