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题名双膜桥微波MEMS开关
被引量：6
- 1
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作者
朱健
郁元卫
陆乐
贾世星
张龙
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机构
东南大学仪器科学与工程系
南京电子器件研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期382-384,共3页
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文摘
介绍了一种双膜桥微波MEMS开关 ,给出了开关的设计与优化方法 ,建立了开关的仿真模型 ,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品 ,其主要结构为硅衬底上制作CPW金属传输线电极和介质层 ,然后制作具有微电感结构的金属膜桥 ,提高了开关隔离度。利用HFSS软件仿真的结果表明 ,该开关在微波低频段 (3～ 6GHz)有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为 :插损小于 0 .3dB ,隔离度大于 4 0dB ,驱动电压小于 2 4V。
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关键词
双膜桥微波mems开关
微机电系统
射频开关
高隔离度
微电感结构
开关隔离度
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Keywords
mems
RF switch
high isolation
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分类号
TM564
[电气工程—电器]
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题名RF/微波无线系统中的MEMS技术
被引量：6
- 2
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作者
云振新
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机构
国营
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第2期6-11,共6页
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文摘
着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统。
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关键词
RF/微波mems元件
RF/微波无线系统
mems技术
微机电系统
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Keywords
RF/microwave components
RF/microwave wireless system
mems technology
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分类号
TN925
[电子电信—通信与信息系统]
TH－39
[机械工程]
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题名微波电路互联与制造技术
被引量：2
- 3
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作者
周德俭
吴兆华
高建凯
王艳
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机构
桂林电子工业学院
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出处
《电子工艺技术》
2003年第4期143-146,共4页
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文摘
介绍微波电路CAD与优化、微波集成电路及其制造、微波互联材料与工艺、微波MEMS等微波电路互联与制造新工艺、新技术的国内外研究和发展动态。
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关键词
微波电路
互联
制造技术
发展动态
CAD
微波mems
微波集成电路
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Keywords
Microwave circuit
Interconnection
Manufacture
Development
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN454
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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