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微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜被引量：4: 1; 作者王金刚马国佳 +2 位作者邓新绿李新唐祯安《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期429-431,共3页; 用微波ECR等离子体源离子注入 (PSII)法 ,在硅片 ( 10 0 )上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,工作气体采用CH4气体 ,研究了不同的气体流量对薄膜的影响。对制备的DLC薄膜 ,用拉曼光谱、FT IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键... 展开更多; 关键词类金刚石薄膜电子回旋共振微波ecr等离子体源离子注入法 DLC薄膜拉曼光谱纳米压痕; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断: 2; 作者吴桂林雷明凯 +2 位作者刘延伟马腾才张仲麟《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期30-30,共1页; 等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工大学材料工程系１１６０２４）采用ＯＥＳ技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微... 展开更多; 关键词低能离子注入等离子体特性等离子体源大连理工大学国家自然科学基金电子回旋共振低能氮离子注入材料工程系脉冲负偏压微波等离子; 在线阅读下载PDF 职称材料

Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8: 3; 作者张治国陈小锰 +3 位作者刘天伟徐军邓新禄董闯《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页; 利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;... 展开更多; 关键词非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ecr 等离子体密度等离子体参量电子温度功率变化变化关系电位变化最大值工艺参数量级溅射靶微波源片架; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响被引量：3: 4; 作者陈小锰邓新绿 +3 位作者张治国刘天伟丁万昱徐军《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期146-149,共4页; 为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度... 展开更多; 关键词等离子体特性 ecr 等离子体增强化学气相沉积微波膜性能等离子体密度结构和性能 DLC膜均方根粗糙度电子温度类金刚石膜工艺研究工作气压沉积条件变化曲线拉曼光谱探针法 CH4 表面; 在线阅读下载PDF 职称材料

电感耦合等离子体原子发射光谱法测定动物源抗癌中药中痕量铅被引量：4: 5; 作者刘冬莲《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期49-51,共3页; 以微波消解样品,在碱性铁氰化钾溶液中进行铅的氢化物发生反应。采用连续氢化物发生器,对电感耦合等离子体原子发射光谱法测定痕量铅的条件进行了研究,方法的检出限(3σ)为0.72μg·L-1,相对标准偏差(n=11)为1.22%,应用于动物源抗... 展开更多; 关键词电感耦合等离子体发射光谱法微波消解氢化物发生动物源抗癌中药铅; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜被引量：4: 1; 作者王金刚马国佳邓新绿李新唐祯安; 机构大连理工大学; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期429-431,共3页; 基金国家自然科学基金重点项目 5 0 13 5 0 40; 文摘用微波ECR等离子体源离子注入 (PSII)法 ,在硅片 ( 10 0 )上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,工作气体采用CH4气体 ,研究了不同的气体流量对薄膜的影响。对制备的DLC薄膜 ,用拉曼光谱、FT IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键结构。; 关键词类金刚石薄膜电子回旋共振微波ecr等离子体源离子注入法 DLC薄膜拉曼光谱纳米压痕; Keywords Diamond like carbon(DLC),ecr,Plasma source ion implantation(PSII), sp3; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断: 2; 作者吴桂林雷明凯刘延伟马腾才张仲麟; 机构大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室大连理工大学材料工程系; 出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期30-30,共1页; 基金国家自然科学基金; 文摘等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工大学材料工程系１１６０２４）采用ＯＥＳ技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源低能氮离子注入的等离子...; 关键词低能离子注入等离子体特性等离子体源大连理工大学国家自然科学基金电子回旋共振低能氮离子注入材料工程系脉冲负偏压微波等离子; 分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8: 3; 作者张治国陈小锰刘天伟徐军邓新禄董闯; 机构大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页; 基金中物院联合基金(10176005); 文摘利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。; 关键词非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ecr 等离子体密度等离子体参量电子温度功率变化变化关系电位变化最大值工艺参数量级溅射靶微波源片架; Keywords Electric discharges Electric field effects Electron cyclotron resonance Magnetron sputtering Microwaves Plasma diagnostics Plasma probes; 分类号 TB43 [一般工业技术] O531 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响被引量：3: 4; 作者陈小锰邓新绿张治国刘天伟丁万昱徐军; 机构大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期146-149,共4页; 基金国家自然科学基金(No.50135040 50390060); 文摘为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。; 关键词等离子体特性 ecr 等离子体增强化学气相沉积微波膜性能等离子体密度结构和性能 DLC膜均方根粗糙度电子温度类金刚石膜工艺研究工作气压沉积条件变化曲线拉曼光谱探针法 CH4 表面; Keywords Diamond like carbon films Electron cyclotron resonance Film growth Mechanical properties Microstructure Microwaves Plasma density Plasma probes; 分类号 O531 [理学—等离子体物理] TL612 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电感耦合等离子体原子发射光谱法测定动物源抗癌中药中痕量铅被引量：4: 5; 作者刘冬莲; 机构唐山师范学院化学系; 出处《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期49-51,共3页; 基金唐山市重点实验室项目(04360701B-12); 文摘以微波消解样品,在碱性铁氰化钾溶液中进行铅的氢化物发生反应。采用连续氢化物发生器,对电感耦合等离子体原子发射光谱法测定痕量铅的条件进行了研究,方法的检出限(3σ)为0.72μg·L-1,相对标准偏差(n=11)为1.22%,应用于动物源抗癌中药中痕量铅的测定,回收率在96.6%～100.1%之间。; 关键词电感耦合等离子体发射光谱法微波消解氢化物发生动物源抗癌中药铅; Keywords ICP-AES Microwave assisted digestion Hydride generation Anti-cancer traditional Chinese medicines prepared from animals Lead; 分类号 O657.31 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜	王金刚马国佳邓新绿李新唐祯安	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2003	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断	吴桂林雷明凯刘延伟马腾才张仲麟	《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1997	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体	张治国陈小锰刘天伟徐军邓新禄董闯	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响	陈小锰邓新绿张治国刘天伟丁万昱徐军	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电感耦合等离子体原子发射光谱法测定动物源抗癌中药中痕量铅	刘冬莲	《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心	2009	4	在线阅读下载PDF 职称材料