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微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律被引量：2: 1; 作者方莉俐秦桂芳方向前《兰州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期80-83,共4页; 用微波等离子化学气相沉积方法 (CVD片 )用丙酮—氢气混合气体作为原料 ,在单晶硅的(111)面和人造单晶金刚石的 (10 0 )面上 ,生长出了优质金刚石薄膜 ,并对薄膜的生长规律进行了研究 .; 关键词金刚石薄膜合成微波cvd法生长规律; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波等离子体CVD法在非平面基体上生长金刚石膜: 2; 作者满卫东孙蕾 +1 位作者汪建华谢鹏《工具技术》北大核心 2008年第2期12-14,共3页; 介绍了在微波等离子体CVD装置中,用甲烷和氢气作为原料,在非平面基体(如钨丝、钻头、铣刀等)上生长金刚石薄膜的研究。在金刚石沉积过程中,由于"尖端效应",在基体的尖端很难沉积出金刚石膜。在采用金属丝屏蔽后,克服了"... 展开更多; 关键词非平面基体金刚石薄膜微波等离子体cvd法; 在线阅读下载PDF 职称材料

CVD金刚石涂层附着性能研究: 3; 作者杨仕娥边超 +4 位作者马丙现李会军王小平姚宁张兵临《郑州大学学报（理学版）》 CAS 2003年第1期36-39,51,共5页; 采用微波等离子体 CVD(MPCVD)法在 YG6 硬质合金基体表面沉积金刚石涂层 ,在金刚石的形核和生长阶段分别采用不同的沉积条件 ,研究了分步沉积工艺对金刚石涂层形核、质量及其附着性能的影响 .结果表明 :采用分步优化的沉积工艺 ,可明显... 展开更多; 关键词金刚石涂层形核密度附着性能微波等离子体cvd法沉积工艺切削工具附着力; 在线阅读下载PDF 职称材料